Способ получения бессеребряных изображений

 

ОПИС Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

СоюзФСоветскнх

Социалистнческик

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 251077 (21) 2537167/23-04 (51) M ) л.

G 03 С 1/72 с присоединением заявки ¹ (23) Приоритет—

Государственный комитет

СССР ио делам изобретений и откр ыти й

Опубликовано 150980. Бюллетень ¹ 34

Дата опубликования описания 150980 (53) УДК 771. 5 (088.8) (72) Авторы изобретения

P.È.Êàëåíäàðåâ, Б.A.Oëüøâàíãåð, A.È.Ñàçoíoâ н Я.A.Ýéäóñ (71) Заявитель

Латвийский ордена Трудового Красного Знамени государственный университет им. П.Стучки (54) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ БЕССЕРЕБРЯНЫХ ИЗОБРАЖЕНИЙ

Изобретение относится к способам получения бессеребряных изображений на слоях элементарного мышьяка и может быть использовано при записи информации в микроэлектронике, ра- 5 диологии, фотографии и других областях техники, где требуется минимальное время между экспонированием светочувствительного материала и получением готового стабильного изоб- т0 ражения.

Известен способ получения бессеребряных изображений путем нанесения на подложку из раствора слоя диэлектрической аллотропной модификации 15 мышьяка и экспонирования. В результате экспонирования на освещенных участках слоя происходит фазовый переход аллотропной модификации мьваьяка в полупроводниковую и образование 20 изображения (11 .

Недостатком этого способа является малая разрешающая способность полученного изображения.

Наиболее близким к предлагаемому 25 является способ получения бессеребряных изображений путем нанесения на подложку из раствора слоя диэлек грической аллотропной модификации мышьяка, удаления растворителя, экс- 30

2 понирования и фиксирования полученного изображения сероуглеродом или бензолом (21 .

Недостатком указанного способа является то, что полученные им изображения обладают неудовлетворительно низкой разрешающей способностью и высокой плотностью вуали.

Цель изобретения — повышение разрешающей способности и снижение плотности вуали изображения.

Поставленная цель достигается тем, что в способе получения бессеребряных иэображений путем нанесения на подложку слоя диэлектрической аллотропной модификации мышьяка, экспонирования и фиксирования, операцию нанесения слоя мышьяка проводят вакуумным напылением при температуре подложки — (80-60)оС, а фиксирование — нагреванием слоя до 3545 С со скоростью 5-110 С/мин.

Пример. Стеклянную подложку охлаждают в вакууме порядка 10 торр до температуры — (80-60) С. На подложку напыляют слой диэлектрической аллотропной модификации мышьяка при температуре испарителя около 300 С о в течение 1,5-2,5 мин. На полученный чувствительный слой проецируют изоб4

763841*. ° 4

° ф ражение и производят экспозицию oico- - ", .. „,уфуачн к носителях) параметр вуало 2 ° 10 Дж/см . Подложку c ïåëó÷åâ - ли овадий выбирают в виде (1-A), ным на чувствительном слое изображу-а " - где A - альбедо вуали. Для предлонием нагревают до 35-45ОC 1 мин. По- женного способа, где изображение лученное изображение стабильно и мо- получают на прозрачном носителе, жет храниться неограниченно долго. параметр вуалирования выбирают в

В таблице представлена сравни- виде (1-Т), где Т вЂ” оптическое протельная характеристика образцов мате- пускание вуали. Соотношение (1-Т) или риала, полученного и обработанного (1-А) характеризует изменение вуали согласно предложенному и известному при получении иэображения по предлоспособу. женному и известному способу.

Оценку величины вуали проводят Предлагаемый способ позволяет следующим образом. понизить плотность вуали и значительДля известного (эа который взят но повысить разрешающую способность способ получения изображений на не- изображения.

Условия получения изображения

Свойства

Конечная температура при фиксировании, OC

Ско-. рость нагрева подложки при фиксации, .ОС/мин

Температура под" ложки ,при напылении, ОС

Разрешающая способность

1 мм

Чувствительность

Дж/см

Вуаль

Способ

Известный

2 10 0,38

5 10 4 0,23

3 ° 10 + 0,32

22

Предлагаемый

1 б 10 0,11

-80

2000

4 ° 10 4

-62

2000

0,07

2,10-4 0 04

4 10 0,08

-70

2000

110

-60

2000

2 ° 10

-60

2000

0,10

2 ° 10

-80

110

2000

0,05

Формула изобретения

ВНИИПИ Заказ 6600/15 Тираж 526 Подписное

Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Способ получения бессеребряных иэображений путем нанесения на подложку слоя диэлектрической.аллотропной модификации мышьяка, экспонирования и фиксирования, о т л и ч а юшийся тем, что, с целью увеличения разрешающей способности и снижения плотности вуали изображения, слой диэлектрической аллотропной модификации мышьяка наносят на подложку вакуумным напылением при температуре подложки — (80-60) С, а фиксирование производят нагреванием слоя до температуры 35-45ОC со скоростью 5-110 С/мин.

55 Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

Р 483042, кл. G 01 Т 1/00, 1974.

2. Авторское свидетельство СССР О В 593569, кл. G 03 С 1/72, 1976 (прототип).