Устройство для крепления затравочного кристалла

Авторы патента:

C30B15/32 - держатели затравочных кристаллов, например зажимные патроны

Устройство для крепления затравочного кристалла в установке для выращивания кристаллов, содержащее затравкодержатель, соединенный гибким элементом с механизмом вращения и перемещения, отличающееся тем, что, с целью улучшения вертикальной ориентации затравочного кристалла, соединение затравкодержателя и гибкого элемента выполнено в виде сцепленных пластин с отверстиями, сопряженными в точке подвеса остроугольными кромками, одна пластина установлена на затравкодержателе с возможностью перемещения в горизонтальной плоскости, а другая пластина прикреплена к гибкому элементу.

Кристаллодержатель для крепления затравок при выращивании кристаллов // 159795

Устройство для выращивания монокристаллов // 2102541

Способ выращивания легированных кристаллов ниобата лития состава, близкого к стехиометрическому, и устройство для его реализации // 2367730

Изобретение относится к технологии выращивания монокристаллов методом Чохральского

Узел крепления нагретого тела на штоке в герметичной камере // 2434082

Изобретение относится к области выращивания высококачественных чистых монокристаллических материалов, прежде всего полупроводниковых, и может быть использовано, в частности, в установках для получения бездислокационных монокристаллов кремния разного диаметра и длины методами бестигельной зонной плавки (БЗП), Чохральского и другими

Узел крепления нагретого тела на штоке в герметичной камере // 2440446

Изобретение относится к области выращивания высококачественных, чистых монокристаллических материалов, прежде всего - полупроводниковых и может быть использовано, в частности, при получении бездислокационных монокристаллов кремния разного диаметра и длины методом бестигельной зонной плавки

Устройство для выращивания кристаллов из расплава // 2088702

Изобретение относится к оборудованию для получения полупроводниковых материалов и может быть использовано в установках для выращивания монокристаллов на затравку, например, кремния методом Чохральского

Установка для получения стержней поликристаллического кремния // 2095494

Изобретение относится к получению полупроводниковых материалов, в частности к получению стержней поликристаллического кремния как исходного сырья для выращивания монокристаллов кремния

Затравкодержатель для выращивания кристаллов // 1604868

Изобретение относится к технологии получения монокристаллов тугоплавких оксидов методом Чохральского

Затравкодержатель // 1636485

Изобретение относится к устройствам для выращивания монокристаллов методом Чохральского и может быть использовано в электронной технике