Токопроводящая паста

 

ОП ИСАНИЕ изоьеетиния

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советскик

Социелмстическин

Реслублкк ()785899 (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 27.07.78 (21) 2648748/18-21 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет— (51) M Кл з

Н O l В 1/02

Гееуднротвеиный кокитет

СССР по делам изобретений н открытий

Опубликовано 07.12.80. Бюллетень ¹ 45

Дата опубликования описания 15.12.80 (53) УДК 621.316..8 (088.8) В. П. Комаров, Т. И. Слепцова, Л. М. Сальникова, P. Г. Айнштейн, Г. П. Морозов и Б. П. Лиховецкий (72) Авторы изобретения (71) Заявитель

ОКБ при заводе «Экситон» (54) ТОКОПРОВОДЯЩАЯ ПАСТА

Изобретение относится к микроэлектронике, в частности к технологии получения материалов для пленочных проводников, применяемых в микроэлектронике и технике

СВЧ.

Известны токопроводящие пасты для толстопленочных проводников и контактных площадок с различным содержанием компонентов (1). К ее погрешностям следует отнести большие потери в СВЧ диапазоне.

Наиболее близкой к изобретению по технической сущности является токопроводящая паста, содержащая серебро, палладий, стекло и органическую связку — лавандовое масло и этилцеллюлоза (2).

За счет применения в качестве органической связки лавандового масла и этилцеллюлозы улучшаются ее реалогические (печатные) свойства, что позволяет увеличить плотность проводниковой разводки.

Однако применение в составе пасты палладия, уменьшает проводимость пасты и увеличивает удельные потери в СВЧ диапазоне.

Целью изобретения является уменьшение удельного сопротивления и уменьшение удельных потерь в СВЧ диапазоне.

Достигается это тем, что известная токопроводящая паста, включающая серебро, стеклофритту, лавандовое масло и этилцеллюлозу, содержит исходные компоненты в следующем соотношении, вес %:

Серебро 55 — 80

Стеклофритта 2 — 15

Лавандовое масло 10 — 25

Этилцеллюлоза 1 — 7

Ниже приведены примеры приготовления токопроводящей пасты предлагаемого состава с различным содержанием исходных компонентов и характеристики пленочных проводников, изготовленных из нее.

Пример 1. Компоненты перемешивают и растирают на валковой пастотерке в течение

30 — 40 мин при следующем соотношении, вес. %:

Серебро 55

Стекло 15

Лавандовое масло 23

Этилцеллюлоза 7

Полученную пасту наносят через трафарет на диэлектрическую подложку и вжигают при 820 С в течение 10 мин. Удельное сопротивление проводников 0,084 Ом/а. а

785899

Формула изобретения

1О

Составитель В.Ленская

Техред А. Бойкас Корректор О. Ковинская

Тираж 844 Подписное

Редактор Е. Гончар

Заказ 8852/54

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретении и открытий! 13035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП «Патент», г. Ужгород, ул. Проектная, 4 удельные потери в СВЧ диапазоне 36—

40 дб/п.

Пример 2. Компоненты перемешивают и растирают на валковой пастотерке в течение

30 — 40 мин, при следующем соотношении вес. %. Серебро 67,7

Стекло 7,5

Лавандовое масло 20,0

Этилцеллюлоза 5,0.

Удельное сопротивление проводников

0,0032 Ом/и, а удельные потери в СВЧ диапазоне 9 — 12 дб/и.

Пример 8. Компоненты перемешивают и растирают на валковой пастотерке в течение 30 — 40 мин при следующем соотношении, вес о/о.

Серебро 80

Стекло 4

Лавандовое масло 14

Этилцеллюлоза 2.

Удельное сопротивление проводников—

0,0026 Ом/и, а удельные потери в СВЧ диапазоне — 5 — 8 дб/и.

Как видно из приведенных примеров, токопроводящая паста, не содержащая в своем составе палладия, имеет значительно меньшие удельные сопротивления и удельные потери в СВЧ диапазоне, что делает ее наиболее предпочтительной для использования в микроэлектронике и для изготовления

СВЧ микросхемы.

Применение токопроводя щей пасты с улучшенными реалогическими характеристиками, где в качестве проводящей фазы используют только серебро, позволяет значительно расширить частотный диапазон

СВЧ толстопленочных микросхем.

Токопроводящая паста, включающая серебро, стеклофритту, лавандовое масло и этилцеллюлозу, отличающаяся тем, что, с целью уменьшения удельного сопротивления удельных потерь в СВЧ диапазоне, она содержит исходные компоненты в следующем соотношении, вес. о/о..

Серебро 55 — 80

Стеклофритта 2 — 15 др Лавандовое масло 10 — 25

Этил целлюлоза 1 — 7.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР № 423177, кл. Н 01 В 1/04, 1972.

2. Авторское свидетельство СССР № 547839, кл. Н 01 В 1/00, 1977 (прототип).