Способ измерения диаметров микро-каналов

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Соаетскик

Социалистических

Респубпик

1 >800631

Ф

1 ,/=(61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 260978 (21) 2667624/25-28 с присоединением заявки ¹ (23) Приоритет

Опубликовано 300181. Бюллетень Йо 4

Дата опубликования описания 300181 (51)М. Кл з

G 01 В 13/08

Государственный комитет

СССР по делам изобретений и открытий (53) УДК 531. 717.1 (088. 8) (72) Авторы изобретения

И.П.Титов, В.И.Абрамов, С.В. (71) заявители (541 СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ДИАМЕТРОВ МИКРОКАНАЛОВ

Изобретени= "относится к измерительной технике.

Известен способ измерения диаметров микроканалов, заключающийся в том, что изделие погружают в жидкость, 5 создают избыточное давление газа в канале до выхода пузырько» из конца канала, погруженного в жидкость, и измеряют диаметр образующихся пузырьков газа в жидкости в момент отрыва их от канала (1 ).

Однако данный способ имеет ограниченный диапазон измеряемых диаметров (от 500 до 1000 мк 1, так как размер образующихся пузырьков газа в 15 жидкости весьма слабо зависит от.— внутреннего диаметра канала и параметров жидкости б и р, большую погрешность в определении величины диаметра канала (более 2000), обус- 20 ловленную значительным искажением сферической формы пузырька при его измерении под слоем жидкости.

Цель изобретения — расширение диапазона измеряемых диаметров и повышение точности измерения.

Указанная цель достигается тем, что изменяют давление в канале и фиксируют его в момент исчезновения мениска на погруженном в жидкость кой- 30 це канала, о диаметре канала судят по зависимости

46 (1)

P где d — диаметр измеряемого канала;

0 — коэффициент поверхностного натяжения жидкости;

p — давление, при котором происходит исчезновение мениска.

Как видно из зависимости, давление газа, при котором мениск входит внутрь канала или начинается выделение газа из канала, обратно пропорционально диаметру канала.

Следовательно, диапазон измеряемых диаметров практически ограничен только диапазоном измеряемых давлений и минимально фиксируемым мениском. .Сущность способа заключается в следующем. для измерения внутреннего диаметра капилляра один из концов капилляра погружают в жидкость, а в другой конец подают сжатый газ. Повышают давление газа в канале и фиксируют значение давления в момент выхода дениска из капилляра. Снижают давление газа в канале и фиксируют его значение в момент исчезновения ме"

800631

Формула изобретения

Составитель В.Гордеев

Техред A.Áàáèíåö Корректор М.Шарошн

Редактор М. Лысогорова

Заказ 10394/47 Тираж 653 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, E-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4 инска. В моменты появления и исчезновения мениска давление газа равно лапласову давлению, вызванному силами Поверхностного натяжения. По зависимости (1) рассчитывают значение внутреннего диаметра капилляра.

Результаты расчетов могут быть определены известными способами, например по методу наименьших квадратов.

Способ измерения диаметров микро= каналов в изделиях, заключающийся в том, что изделие погружают в жидкость и создают избыточное давление газа в канале, о т л и ч а ю щ и и с я тем, что, с целью расширения диапазона измеряемых диаметров и повышения точности измерения, изменяют давление в канале и фиксируют его в момент исчезновения мениска на погруженном в жидкость конце канала, о диаметре канала судят по зависимосTH йб

Р где 4 — диаметр измеряемого канала, б — коэффициент поверхностного

to натяжения жидкости, р — давление, при котором происходит исчезновение мениска.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1$ 1. Ланис В.А., Левина A.Н. Техника вакуумных испытаний. М.-Л., Госэнергоиздат, 1963, с. 133-134 (прототип).