Способ измерения шероховатостиповерхности

 

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советскмк

Соцмалмстмческмк

Республмк (1808834 (61) Дополнительное к авт. саид-ву (22) Заявлено 04.04.7 9 (21) 2746258/25-28 с присоединением заявки РЙ (23) Приоритет (5E)M. Кл.

О 01 В 7/34

Гоеудерстеенный комитет

Опубликовано 28.02.81,Бюллетень J% 8 по делам изобретений н отнрытнй (53) УЛК 621.317.

;39:531.717 (088.8) Дата опубликования описания 15.0З.81 (72) Автор изобретения

Э";

ttt (f

Apt

H. В. Татаринова!

J

Московский ордена Трудового Красного Знамени.ннженерно-. физический институт (71) Заявитель (54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ШЕРОХОВАТОСТИ

ПОВЕРХНОСТИ

Изобретение относится к контрольноизмерительной технике и может быть использовано для измерения шероховатости поверхности при помощи электрических методов, например, для индикации рельефа изделий или формирующих пленок, для индикации рельефа поверхностей высоковольтных вакуумных установок типа

1 инжекторов, ускорителей и т.п. в процессе их работы.

Известен способ измерения параметров шероховатости, основанный на адсорбционном методе и позволяющий опоеделить полную плошадь шероховатостей поверхности, где используется явление адсорбции .

15 молекул газа или ионов водорода, точно реагирующих на микрорельеф поверхности 1,11.

Недостатком известного метода является применимость его к ограниченному

20 числу металлов и явление анизотропии адсорбционных свойств по поверхности исследуемого металла.

Наиболее близким по технической суш. ности к предлагаемому является способ измерения шероховатости поверхности электропроводных изделий, заключающий— ся в том, что контролируемое изделие помешают и вакуумную камеру с измери- тельным электродом, который подключают к положительному полюсу источника пи— тания, а контролируемую поверхность— к отрицательному полюсу, измерительный электрод устанавливают над контролируемои поверхностью и по параметрам электрической цепи c äÿò о шероховатости поверхности f2).

Недостаток этого способа заключается в том, что с помощью него можно определить лишь номинальную плошадь и геометрические рельефы отдельных микронеровностей.

11ель изобретения — расширение функциональных возможностея.

ЦЬль достигается тем, что перемещают измерительный электрод в вертикаль— ной плоскости относительно контроли8088

15

25

35 руемой поверхнос и, поддерживают постоянным автоэлектронный ток, измеряют зависимость напряженности поля от расстояния между измерительным электродом и контролируемой поверхностью, по которой судят о шероховатости контролируемои поверхности.

На чертеже изображена зависимость напряженное и Е поля от расстояния 1 между контролируемои поверхностью и измерительным электродом.

Сущность способа .заключается в следующем.

Контролируемую поверхность поме— шают в вакуумную камеру и подключают к отрицательному полюсу источника питания, а измерительный электрод к положительному полюсу. При фиксированном положении контролируемой поверхности перемещают в вертикальной плоскости измерительный электрод и при разных значениях вакуумного промежутка 4 между измерительным электродом и контролируемой поверхностью измеряют напряженность Е внешнего поля, при

Ьч котором обеспечйвается постоянство ав— тоэлектронного тока Л . По зависимости

Е = (Ь) при Л судят о характере

Ьн сОьв контролируемой поверхности.

На чертеже представлена зависимость напряженности Е „поля от расстояния между контролируемой поверх— с ностью и измерительным электродом при постоянном токе Л автоэлектронной эмиссии, где кривая Т соответствует наличию на контролируемой поверхности напыленного металла, который можно рассматривать как часто расположенные микровыступы. Кривая 11 соответствует наличию на контролируемой поверхности редко расположенных микровыступов.

Таким образом, описанный способ позволяет .оценить состояние контроли34 4 руемой поверхности: наличие напыленно— го метадла или редко расположенных выступов, что особенно важно для прогнозирования вакуумной изоляции, а также для оценки качества поверхности после различных обработок.

Фор мула изобретения

Способ измерения шероховатости поверхности электроприводных изделий, заключающийся, в том, что контролируемую поверхность помещают в вакуумную камеру с измерительным электродом, который подключают к положительному полюсу источника питания; а контролируемую поверхность — к отрицательному полюсу, измерительный электрод устанавливают над контролируемой поверхностью и по параметрам электрической цепи судят о шероховатости поверхности, о тл и ч а ю шийся тем, что, с целью расширения функциональных возможностей, перемещают измерительный электрод в вертикальной плоскости относительно контролируемой поверхности, поддерживают постоянный автоэлектронный ток, измеряют зависимость напряженности поля от расстояния между измерительным электродом и контролируемой поверхностью, по которой судят о шероховатости контролируемой поверхности.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Грег С., Синг А. Адсорбция, удель— ная поверхность, пористость. М., "Мир, 197 О.

2. Авторское свидетельство СССР

М 587319, кл. С 01 B 7/34, 1975 (прототип .

808834

E „õ 10 у В/и

1,2 h,мн

Составитель А. Елагин

Техред М.Голинка

Редактор F. Лушникова

Корректор Н. Бабинец

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Заказ 391/41 Тираж 653 Подписное

ИНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открьггий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5