Видеоконтрольное устройство дляэлектронного микроскопа

 

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ >ВИ363

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 01.08.77 (21) 2513920, 18-25 с присоединением заявки— (23) Приоритет— (43) Опубликовано 07.03.81. Б|О.7.7етснь ¹ 9 (45) Дата опубликования описания 09.04.8!, (51) М.Кл. H 01 J 37j26

Государственный комитет

:СССР по делам изобретений и открытий (53) УДК 621.385.833 (088.8) (72) Авторы изобретения

Е П Бочаров и С Л Судаков (71) Заявитель (54) ВИДЕОКОНТРОЛЬНОЕ УСТРОЙСТВО

ДЛЯ ЭЛЕКТРОННОГО МИКРОСКОПА

Изобретение относится к области электронной микроскопии, в частности к устройствам визуализации видеосигналов.

Известны видеоконтрольные устройства (БКУ) для электронных микроскопов, в ко l орых одновременно формируются два изооражения исследуемого ооъекта с разнь.ми коэффициентами увеличения. В таком устройстве используется одна электроннолучевая трубка (ЭЛТ) для наблюдения как полного поля объекта исследования, так и его участка (1).

Недостатком устройства является недостаточная информативность поля объекта, поскольку изображение участка закрывает изображение частиц всего поля.

Наноолее близким по технической сущности является видеоконтрольное устройство, содержащее детектор излучений и две электроннолучевые трубки, каждая из которых содержит катод, модулятор и отклоняющие системы, соединенные с генераторами строчной и кадровой разверток, подключенными соответственно ко входам блоков формирования амплитуд строчной и кадровой разверток, выходы которых соединены с системой сканирования электронного микроскопа (2).

Известное устройство обеспечивает повышенную информативность изображения при коммутации видеосигнала с частотой строчной развертки. Однако прп увеличении частоты развертки в этом случае llpoисходиT нскажснне ввдеоспгнача и сннже5 нне качества изображения.

Целью изобретения является уменьшение искажения видеосигнала.

Указанная цель достигается тем, что вндсоконтрольнос устройство, содержащее детектор излучений и две электроннолучевые трубки, каждая пз которых содержит каТОЛ, МОДУ IBTOP П ОТК,70НЯ!ОЩПЕ CIICTeivIbl, СОсднненные с генераторами строчной и кадровой развсрток, подключенными соотвстсТВсННо ко входам блоков формирования амплитуд строчной и кадровой разверток, выходы которых соединены с системой с«аннрования электронного микроскопа, снабжено двумя пороговыми элементами, сумматором и трпп.ором, Ilрпчсм входы пороговых элементов соединены с выходамк блоков формироганпя амплитуд строчной и адровой разверток, а выходы — со схемой совпадения, подключенной к первому входу сумматора, вход триггера соединен с выходами генераторов строчной и кадровой разверток, а его выходы — со входами блоков формирования амплитуд строчной и кадровой разверток, модулятором первой электроннолучеюй трубки и вторым входом

811363

С 5 ММ3ТОР3, ВЬ1ХОД СУММ 3ТОР3 СОСДЕ1НСН С модулятором второй электроннолучевой трубки, а «атоды oocttx элсктроцнолу-tcBhix трубок соединены с детектором излучений.

На чсртс5кс представлена блок-схема видеокоцтрольного устройства.

В колонцс 1 электронного микроскопа, где формируется электронный зонд 2, размещены система сканирования с отклоняющими кату шками 8 и 4, объект исследования 5 и детектор излучений б. Система сканирования соединена с выходами блоков формирования амплитуд строчной 7 и к3;tровой 8 ргзвсрток, ко входам которых по:j ключсцы соответственно генераторы строч ой и кадрогой развсрток 9 и 10. Блоки формирования амплитуд строчной и «адроВой разверток 7 и 8 соединены со входамц пороговых элементов 11 и 12, Bhtxo;tht которых иод«л!Очсны к схеме совпадсш я 18.

Выхо;! схсм11 18 coc;!1!licit с сумма Ором

14. Вход последнего соединен также с триггером 15, а выход — с модулятором первой

ЗЛТ lб. Выход триггера 15 соединен с модулятором второй ЭЛТ 17 и входами бло«Ов формирования амплитуд строчной и ка.ipoBoit разверток 7 и 8, а к его в 5оду под«лючспы генераторы 9 и 10. Еато !!!

ЗЛТ 16 и 17 соединены между собой и с детектором излучений б, а отклоняющие системы ЭЛТ вЂ” — с генераторами развсрток.

Устройство работает следующим образом.

Электронный зонд 2, управляемый отклоняющими катушками 8 и 4, сканирует по объекту 5. Сигнал, образованный при взаимодействии зонда с поверхностью объскта, усиливается;(етс«тором излучс!1цй 6 и прсобразустся в видеосигнал, который поступает на «атоды ЭЛТ 16 и 17. Оое ЭЛТ

IIìcþT одина«овые или бл!!зкпе p33мсры экранов, На первой ЭЛТ 16 формируется изооражсц1;с б!!".htItcé пло!пади объс«та (пог!С), а ца,1Т 17 — — мс1!«чнсй (; nàñòî: ), цо с цовыцн цц1 4 Озф!!Ч1!1!1сn1ом; вс,чич1— и!Я.

Зффс«т увсг!ичеп!1я получается за счет соотВстств 101цсй комм! тацци сl!11!3,105! развертки. !На ЗЛТ 16 (!3 поле объекта про !СРЧИВ3 Ю C51 ТО "1ЬКО ЧСТПЫГ CT!)O«n, а 113

ЗЛТ 17 (ца участке объекта 1 — нсчет11ыс, ричсм амплитуда сиг;!алов отклоцс1шя прц сканировании участка,во столько раз мснь1ИЕ, ВО СКОЛЬКО Коэф!!)ИЦНСНТ УВСЛИ-lett!!5! участка больше, чем для поля объекта.

Развертывающее напряжение с выхода генератора 9 поступает на вход блока формирования амплитуды строчной развсртк.:

7, где оцо коммутируется и уменьшается

l!o амплитуде через строку. К, этому напря>кепи!О прибавляется напряжение источника горизонтального смещения, котор ы

Входит в состав облока 7 и позволяет смещать выбранный участок изображения 110 горизонтальной оси. Сформированное та«им образом напряжение поступает ца вход порогового элемента 11.

Пороговыи элемент срабатывает цр1! равенстве напряжений развсрткн li смсщсш:я и запускает 1рормироватсль, который

Вырабатывает импульс, 01крывающий схему совпадения 18.

Напряжение разверTKH с Bh« 0 13 гc!I ",03тора 10 поступает на вход блока 8, где оно

«оммутируется и уменьшается по амплитуде через строку, и к нему прибавляется цапр5!жсцие исто lцц«3 В рт!11 ал1 !!ОГО смс!цсцця, который входит в состав блока 8. Изменение величины этого напряжения позво15 л51ст смещать выбраш1ый участок изобраксния по всрт1!«альной осц. Сформирован-!

3 tvH:vt ОбР330м на и РЯжс1! пс постУ !13 сТ на вход порогового элемента 12.

Пороговый элемент 12 3í3ëî;n шо элементу 11 вырабатывает импульс, открь1ва!ощий схему совпадений 18.

Напряжения строчной и кадровой развсрток с выхо,tGB генераторов 9 и 10 подаются па отклоняю.IItte системы ЭЛТ 16 и

ЗЛТ 17, Выходной сигнал схемы совпадений 15 складывается с импульсом триггера

B сумматоре 14 и на выходе последнего формируется напряжение, которое запирает

ЭЛТ 16 на время нсчстных строк и подсвечивает изображение участка во время четных строк. Импульсы с трстьсго выхода триггера 15 запира1от ЭЛТ 17 на время чст-! Ых строк.

Выполнение ВКУ указанным образом даст возможность иск:!!о !ить коммутацию ги!деоспгналов с частотой строчной разверткии для подключения его к ЭЛТ и умень-! п1:т, искажения видеосигнала при увел чсцип скорости развертки.

Формула изобретения

Видеоконтрольное устройство для эл.тронного микроскопа, содержа цсс дстс тор

45 ИЗЛУЧЕНИЙ И ДВС ЭЛЕКТРОННОГ!У iCÂ vtP TP,.G«1!, 3;::, t c! и ЦЗ 1 ОТОР ЫХ CO, tCPiК ° 1Т К3 ТО модулятор и отклоняющие системы, сосдипсццыс с генераторами строчной п кадрово" ра-г" рток, подключенными соотвстствсцпо

1о вхо 13!! блоков сЬормирования амп..!ц- . строч1!Ой и «3 tpoB0II развсрток, выходь! к!орых сосдцц; ц I с encl мой с«а1шроваш1я элс«тропцо,") .;!ц;рос«она, о т л п ч à!О 1ц с еГ Я ТСМ ЧТО С ЦС IhIO МСЦЬЦ!СПИ 51 I!Ñ«3ilieu!lя Bi!дсОсц1 1.3, i ÿ, 0110 с! а бжсnO, !BI 1я поо ОГОВЫ vln э Чс Г i! BÒ3 м11, Су м 113 Топом и Тп11г1сром, причем входы гороговь1х эл-мс .1тов

СО ;(ипсц! с ВВ1 «0 13 vltt блО«ОВ формированияя 3.viz!,ztïòó,t СтрО!t Ой И КадрОВОй раЗВСрto«, a Выходы — со схс1:ой совпадения,;1о.ключс;!цой к первому входу сумматора, вход триггера соединен с выходами гсператоров строчной и кадровой развсрток, а его гыходы — со входами блока формирования амплитуд строчной и кадровой развсрток, 811363

Составитель В. Гаврюшин

Корректор С. Файн

Текред Л. Куклина

Редактор О. Филиппова

Заказ 347/354 Изд. № 229 Типаж 784 Подписное

НПО «Поиск» Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, К-35, Раушскаи наб., д. 4/5

Тип. Харьк. фил. пред. «Патент» модулятором первой электроннолучевой трубки и вторым входом сумматора, выход сумматора соединен с модулятором второй электроннолучевой трубки, а катоды обеих электроннолучевых трубок соединены с детектором излучений.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

1. Патент Франции № 2335945, кл. Н 01 1

37!26, опублик. 1977.

5 2. Патент Японии К 51-36150, кл. 99 С

303, опублик. 1976 (прототип).