Устройство для селективной откачкикомпонента из газовой смеси

 

О Il И С А Н И Е (»)823631

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ. СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советски к

Соцкалисткческмк

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 11.07.79 (21) 2797403/25-06 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет— (51) М. Кл з

F 04 В 37/02

Гес длр Отееииык кОмитет

СССР

Опубликовано 23.04.81. Бюллетень №15

Дата опубликования описания 28.04.81 (53) УДК 621.528. .3 (088.8) лв делам иэебретеиий и Открытий

А . р3

С. Ф. Бычкова, А. С. Дьячишин и, . М. Космачевойий . °, . г j ! „,,;"с;,-

I —— (72) Авторы изобретения (7!) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ СЕЛЕКТИВНОЙ ОТКАЧКИ

КОМПОНЕНТА ИЗ ГАЗОВОЙ СМЕСИ

Изобретение относится к вакуумной технике.

Известны устройства для селективной откачки компонента из газовой смеси, содержащее диафрагму, выполненную в виде твердоэлектролитной ячейки, и два электрода, расположенных на внутренней и на. ружной поверхностях ячейки и подключенных к источнику постоянного напряжения.

Откачка газа в этом устройстве осуществляется в результате ионизации молекул адсорбированного газа на внутреннем электроде с последующей их диффузией в электрическом поле через объем твердоэлектролитной ячейки и десорбции продиффундировавших молекул газа с внешнего электрода в атмосферу (1 ) .

В известном устройстве пропускная спо- l$ собность диафрагмы по откачиваемому газу недостаточно высока. Она ограничивается скоростью десорбции продиффундировавших молекул газа с внешней поверхности диафрагмы в атмосферу.

Целью изобретения является увеличение быстроты действия.

Указанная цель достигается тем, что устройство дополнительно содержит генератор импульсных напряжений, соединенный с отрицательным полюсом источника постоянного напряжения, а наружный электрод выполнен в виде ряда пленочных кольцевых элементов, поочередно заземленных и подключенных к отрицательному полюсу генератора, а также тем, что каждый кольцевой элемент выполнен в виде нанесенного на поверхность пленки лака со взвешенными в нем металлическими частицами.

На чертеже показана схема предлагаемого устройства.

Устройство для селективной откачки компонента из газовой смеси содержит диафрагму 1, выполненную в виде твердоэлектролитной ячейки, и два электрода 2 и 3, расположенных соответственно на внутренней и наружной поверхностях ячейки и подключенных к источнику 4 постоянного напряжения, генератор 5 импульсных напряжений, соединенный с отрицательным полюсом источника 4 постоянного напряжения, а наружный электрод 3 выполнен в виде ряда пленочных кольцевых элементов, поочередно заземленных и подключенных к отрицательному полюсу генератора 5. Каждый кольцевой элемент электрода 3 вы823631

Составитель Н. Юшин

Техред А. Бойкас

Тираж 712

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ПГ1П «Патент», г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Редактор М. Ликович

Заказ 2047/43

Корректор В. Бутяга

Подписное полнен в виде нанесенного на поверхность пленки лака с взвешенными в нем металлическими частицами.

Устройство работает следующим образом.

На внутренний и наружный электроды

2 и 3 подается постоянное напряжение и происходит ионизация откачиваемого газа, сорби рова нного на внутреннем электроде, последующая его диффузия в электрическом поле через диафрагму и образование на внешней поверхности диафрагмы слоя сорбированных продиффундировавших молекул.

При подаче на внешний электрод напряжения от генератора 5 импульсных напряжений возникают скользящие разряды по поверхности диафрагмы, что приводит к увеличению скорости десорбции.

Предлагаемое техническое решение позволяет увеличить быстроту действия устройства, сократить его габариты.

Формула изобретения

1. Устройство для селективной откачки компонента из газовой смеси, содержащее диафрагму, выполненную в виде твердоэлектролитной ячейки, и два электрода, расположенных на внутренней и наружной поверхностях ячейки и подключенных к источнику постоянного напряжения, отличающееся тем, что, с целью увеличения быстроты действия, устройство дополнительно содержит генератор импульсных напряжений, соединенный с отрицательным полюсом источника постоянного напряжения, а наружный электрод выполнен в виде ряда пленочных кольцевых элементов, поочередно заземленных и подключенных к отрицательному полюсу генератора.

2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что каждый кольцевой элемент выполнен в виде нанесенного на поверхность пленки лака с взвешенными в нем металлическими частицами.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР № 553356, кл. F 03 В 37/02, 1975.