Сканирующий интерферометр

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИ ИТИЛЬСТВУ

Союз Советских

Социапистичесиих

Респубпик яц823847

Ф

l (61) Дополнительное к авт. свид-ву

{2213аявлено 020779 (21) 2791582/25-28 с присоединением заявки ¹ (23) Приоритет

Опубликовано 230481 Бюллетень Мо15

Дата опубликования описания 230481 (51)М. Кл,з

G 01 В 9/02

Государственный комитет

СССР по делам изобретений н открытий

531.715.1 (088.8) (32) Авторы изобретения

Ю.Г. Кожевников, В.A Кормаков, В.Л. Макаров и И.Ф. Гимушин (71) Заявитель (54) СКАНИРУЮЩИЙ ИН1ЕРФЕРОМЕ1Р

Изобретение относится к оптическому приборостроению, в частности к интерференционным приборам, и мо жет быть использовано в качестве сканирующего иьтерферометра ФабриПеро.

Известен сканирующий интерферометр, содержащий неподвижное зеркало и подвижное зеркало, установленное на упругом элементе, связанном со средством перемещения — приводом jl).

Однако этот интерферометр позволяет обеспечить лишь малые переме- . щения рабочих элементов интерферометра. с высокой линейностью и чувствительностью и имеет малую устойчивость к вибрациям в направлении, перпендикулярном к плоскости кручения, Кроме того, при сканировании .происходит смещение подвижного зеркала в 20 плоскости отражающей поверхности, что вносит дополнительные ошибки в измерения., Наиболее близким к предлагаемому является сканирующий интерферометр, содержащий два параллельных зеркала, одно из которых неподвижно, основание, расположенные на нем упругий цилиндрический элемент, на торце которого установлено другое зеркало, и 30 привод. Интерферометр содержит также фланец, соединенный с одним концом упругого гофрированного цилиндра с продольными гофрами, другой конец гофрированного цилиндра жестко закреплен. Фланец с зеркалом связан с приводом (2).

Недостатком этого интерферометра является то, что при передаче крутящего момента от привода на упругий гофрированный цилиндр с помощью элементов, например тросика, на подвижное зеркало передаются -несимметричные и переменные дополнительные вредные силы, действующие в радиальном направлении и возникающие вследствие неточностей изготовления.элементов привода. Вредные силы вызывают вибрации подвижного зеркала, нарушают параллельность зеркал и линейность сканирования, что приводит в конечном итоге к снижению точности сканирования.

Цель изобретения — повышение точности сканирования.

Поставленная цель достигается тем, что интерферометр снабжен сильфоном, установленным соосно с упругим цилиндрическим элементом, адин конец которого связан с основанием 823847

Формула изобретения

ВНИИПИ Заказ 2082/53 Тираж 642 Подписное

Филиал ППП "Патент", r.Óærîðoä, ул.Проектная,4 через подшипник и кинематически соединен с приводом, а другой соеди-1 нен с упругим элементом, На чертеже изображена принципиальная схема сканирующего интерферометра. 5

Интерферометр содержит основание

2, расположенные ыа нем упругий цилиндрический элемент 2, привод 3, не подвижное зеркало 4 в оправе 5, на ружную обойму подшипника 6. На другом 0 конце упругого элемента 2 смонтировано подвижное зеркало 7 в оправе 8.

Сильфон 9, установленный соосно с упругим цилиндрическим элементом 2, одним концом закреплен жестко к унругому элементу, другим к внутренней обойме подшипника 6, которая связана кинематически с приводом 3.

Интерферометр работает следующим образом.

Крутящий момент от привода 3 че- 20 рез подшипник 6 передается сильфоном

9 упругому элементу 2. При скручиваниии меняется длина .Упругого элемента и подвижное зеркало 7, закрепленное на его конце, перемещается отно- 25 сительно неподвижного зеркала 4.

Подшипник 6 ограничивает радиальные перемещения сильфона 9, которые могут возникнуть при передаче крутящего момента от привода. Небольшие же радиальные и осевые перемещения, передающиеся от привода 3, воспринимаются и гасятся гофрами сильфона 9.

Жесткость сильфона в радиальном и осевом направлениях незначительна, поэтому вредные силы воспринимаются подшипником сильфона и не действуют на упругий элемент 2 с подвижным зеркалом 7. При скручивании сильфон обладает наибольшей. жесткостью и передает на упругий элемент только крутящий момент. Жесткость упругого элемента имеет наибольшую величину в осевом и радиальном направлениях, а на скручивание — незначительную.

Таким образом, введение сильфона между приводом и упругим элементом позволяет исключить воздействие вредных сил на сканирующий орган интерФерометра.

Кроме того, использование предлагаемого устройства в сканирующем интерферометре позволяет значительно повысить точность сканирования.

Сканирующий интерферометр, содержащий два параллельных зеркала, одно из которых неподвижно, основание, расположенные на нем упругий цилиндрический элемент на торце которого установлено другое зеркало, и привод, отличающийся тем, что, с целью повышения точности сканирования, он снабжен сильфоном, установленным соосно с упругим ци линдрическим элементом, один конец которого связан с основанием через подшипник и кинематически соединен с приводом, а другой соединен с упругим элементом.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

9 360561, кл. G 01 Л 3/06, 1971.

2.Авторское свидетельство СССР

Р 535453, кл. G 01 В 9/02; 1975 (прототип).