Микроманипулятор

 

ОП ИСАНИ Е

ИЗОБЬЕТЕ Н ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советскик

Социаяистическик

Республик

„„837847 (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 18.05.79 (21) 2768823/25-08 с присоединением заявки №вЂ” (51) М К.

В 25 J 7/00 (23) Приоритет—

Гепудлрствеииый комитет

СССР (53) УДК 62-229..72 (088.8) Опубликовано 15.06.81. Бюллетень № 22

Дата опубликования описания 20.06.81 по делам изобретеиий и открытий (72) Авторы изобретеиия

В. С. Де.менева и Г. И. Сози нов

Специальное конструкторское бюро «Энер(охидщаш» (71) Заявитель (54) МИКРОМАНИПУЛЯТОР

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к устройствам для перемещения объектов исследования в высоковакуумных камерах.

Известен микроманипулятор, содержащий корпус, несущую платформу с закрепленным на ней предметным столом, направляющие и стакан с фланцем для подсоединения к вакуумной камере (1).

Недостатком данного м1кроманипулятора является сложность конструкции и низкие эксплуатационные качества. 1О

Цель изобретения — устранение указанных недостатков, т.е. упрощение конструкции и повышение эксплуатационных качеств.

Цель достигается тем, что микроманипулятор снабжен двумя блоками горизонтального и вертикального перемещений предметного стола, состоящим из двигателей и сельсин-датчиков, и двумя ходовыми винтами, установленными соответственно на платформе и в стакане, причем блок горизонтального перемещения размещен внутри вакуумной камеры и кинематически связан с ходовым винтом, установленным на платформе, а блок вертикального перемещения размещен снаружи вакуумной камеры и кинематически связан с ходовым винтом, уста новле ни ы м в ст а ка не.

На фиг. 1 изображен микроманипулятор, продольный разрез; на фиг. 2 — разрез

А — А на фиг. 1; на фиг. 3 — разрез Б — Б на фиг. 1.

Микроманипулятор имеет корпус 1 и жестко связанный с ним фланец 2. В-корпусе расположен подвижный стакан 3 с фланцем, внутри которого проходит ходовой винт 4, и вакуумный ввод 5 движения. На нижнем конце ходового винта закреплена коническая шестерня 6, которая через конические шестерни 7 связана с блоком, состоящим из электродвигателя 8 и сельсиндатчика 9. На верхнем конце подвижного стакана закреплена несущая платформа 10, на которой расположены направляющие 11 с предметным столом 12, связанным с ходовым винтом 13. Ходовой винт 13 через конические шестерни 14 и 15 связан с блоком, состоящим из электродвигателя 16 и сельсин датчика 17. Вакуумный ввод 5 движения имеет, например, такую конструкцию, В корпусе 1 установлены подшипники 18, втулка

19. Неподвижный стакан 20 с уплотнением

21 установлена на нижнем конце корпуса

837847 координатного механизма. Внутри неподвижного стакана расположены вставка 22, кольцо 23, уплотнители 24 и 25, шайба 26, гайка 27.

Устройство работает следующим образом.

С помощью фланца 2 герметично подсоединяется к вакуумной камере микроманипулятор. От электродвигателя 8 через конические шестерни 6 и 7 приводится во вращение ходовой винт 4, передающий вертикальное перемещение подвижному стакану 3.

Стакан 3 жестко связан с несущей платформой 10, на которой находится предметный стол 12, следовательно, не< ущая платформа и предметный стол также перемещается вертикально. Сельсин-датчик 9 через конические шестерни 6 и 7 связан с ходовым винтом 4 и отсчитывает вертикальные перемещения объекта исследования, расположенного на предметном столе 12. От электродвигателя 16 через коничсские шестерни 14 и 15 приводится во вращение ходовой винт 13, переда<ощий горизонтальное перемещение предметному столу 12. Сельсин- датчик 17 через конические шестерни

14 и 15 связан с ходовым винтом 13 и отсчитывает горизонтальные перемещения объекта исследования, расположенного на предметном столе 12.

Формула изобретения

Микроманипулятор, содержащий несущую платформу с закрепленным на ней предметным столом, направляющие и стакан с фланцем для подсоединения к вакуумной камере, отличающийся тем, что, с целью упрощения конструкции и повышения эксплуатационных качеств, он снабжен двумя блоками горизонтального и вертикального перемещений предметного стола, состоящими из двигателей и сельсин-датчиков, и двумя ходовыми винтами, установленными соответственно на платформе и в стакане, причем блок горизонтального перемещения размещен внутри вакуумной камеры и кинематически связан с ходовым винтом, установленным на платформе, а блок вертикального перемещения размещен снаружи вакуумной камеры и кинематически связан с винтом, установленным в стакане.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

l. Авторское свидетельство СССР № 363578, кл. В 25 J 7/00, 1971.

837847

Фиг. 3

Составитель Т. Костикова

Редактор Л. Тюрина Техред А. Бойкас Корректор Н. Бабинец

Заказ 4357/31 Тираж 1090 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, 7K — 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП «Патент>, г. Ужгород, ул. Проектная, 4