Интерферометр для контроля поверхно-сти детали

 

Социалмстмческнх

< >844995

Раслублмк

ИЗОБРЕ7ЕИ ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Ж4.. " /:»

Ф

/ ф (61) Дополнитель ;ое к авт. свид-ву— (22) Заявлено 02.08.79 (21) 2804226/25-28 (5 l ) М, Кл, з

G0l В 9/02 с присоединением заявки №вЂ”

Гасударственный кенитет (23) Приоритет—

Опубликовано 07,07.81. Бюллетень № 25

Дата опубликорания описания 17.07.81 (53) УДК 531.715..1 (088.8) ю делан изееретеиий и еткрытий

В. В. Ключников и В. Г,, Зубаков (72) Авторы изобретения (71) Заявитель (54) ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ ПОВЕРХНОСТИ ДЕТАЛИ!

Изобретение относится к контрольноизмерительной технике, в частности к средствам контроля цилиндрической поверхности детали с интерференционной точностью, например деталей из оптического стекла.

Известен интерферометр для контроля поверхности детали, содержащий источник света (лазер), объектив, коническую линзу, голограмму и экран (1).

Недостатком этого интерферометра является невозможность комплексного контроля, а также то, что диаметр конической линзы ограничивает наружный диаметр цилиндрической детали, черезвычайно затруднено измерение дефектов иэ-эа переменной цены интерференционной полосы, которая зависит от..угла падения лучей на цилиндрическую поверхность.

Наиболее близким к изобретению является интерферометр для контроля поверхности детали, содержащий источник света, светоделитель, делящий световой поток на две ветви, три зеркала, два из которых параллельны между собой и расположены соответственно в каждой из ветвей под углом 45 к оптической оси интерферометра, «ю вю

2 зеркалвм, регистрирующее устройство и держатель детали (2) .

Недостатками указанного интерферометра являются низкие производительность и точность контроля цилиндрических поверхэ

Целью изобретения является повышение производительности и точности контроля цилиндрических поверхностей.

Поставленная цель достигается тем, что интерферометр снабжен двумя цилиндри1в ческими линзами, расположенными между одним из двух параллельных зеркал и третьим зеркалом так, что их фокальные плоскости совмещены, а держатель детали размещен между этими линзами так, что его ось симметрии совмещена с обшей фокаль % ной плоскостью.

На чертеже изображена, принципиальная схема цнтерферометра для контроля поверхности детали.

Интерферометр содержит источник l

2Е света, светоделитель 2, зеркала 3 и 4, рас- положенные параллельно между собой и под углом 45 к оптической оси интерферометоя то тье э&пкяло 5. лве иилиндпичес844995

Составители В. Рыкова

Редактор ж. Рожкова Техред А. Бойкас Корректор М. Дем аик

Заказ 4309/9 Тираж 642,. Подписное

ВНИИПИ l îñóäàpñòâåííîãî комитета СССР по .делам изобретений и открытий ! 13035, Москва,. ж —.35, Раушскан иаб., д. 4/5

Филиал gflA «Ila ew», г ежгород ул. Проектнан,„4

ППП .Патент Заи. 8506 кие линзы 6 и 7, держатель 8 детали 9, регистрирующее устройство 10.

Ось симметрии держателя детали совмещена с общей фокальной плоскостью цилиндрических линз.

Интерферометр работает следующим образом.

До установки контролируемой детали производится замер инструментальной по грешности интерферометра. Для этого параллельный пучок лучей из источника 1 света разделяется светоделителем.2 на два пучка, которые, пройдя зеркала. 3 и 4, а затем и цилиндрйческие линзы 6 и 7, суммируются светоделителем 2 и регистрируются устройством 10. При этом интерференционная картина будет отражать собственные неточности двух цилиндрических линз 6 и ? и возможные дефекты их установки.

При размещении детали 9 в держатель 8 свет после прохождения светоделителя 2 и зеркал 3 и 4 будет сфокусирован линзами 6 и 7 на цилиндрическую поверхность детали 9. Отразившись от нее, он суммирует. ся на светоделителе 2 и попадает в регистрирующее устройство 10. В результате наблюдают интерференциоиную картину от противоположных поверхностей цилиндрической детали, При изменении ширины полос или их искривлении можно судить о некруглости, цилиндра, его конусности и прямолинейности образующей. Оценка дефекгов ведется но ширине полосы, которая не искажается и равна 0,00025 мм, Г1ри этом учитывается и инструментальная погрешность устройства.

Таким образом, интерферометр позволяет производить комплексный бесконтактный

1 У контроль цилиндрической поверхности при значительном повышении точности за счет исключения инструментальной погрешности.

В цеховых условиях он позволяет комплексно контролировать серийно выпускаемые

3 детали с цилиндрической поверхностью и оценивать их дефекты с точностью до половины полосы (0,000125 мм).

Формула изобретения

jp

Интерферометр для контроля поверхности детали, содержащий источник света, светоделитель, делящий световой поток на две ветви, три зеркала, два из которых параллельны между собой и расположены соответственно в каждой из ветвей под углом 45 к оптической оси интерферометра, а третье перпендикулярно этим двум зеркалам, регистрирующее устройство и держатель детали, отличающийся тем, что, с целью повышения производительности и точности контроля цилиндрических поверхностей, он снабжен двумя цилиндрическими линзами расположенными между одним из двух- параллельных зеркал и третьим зерка-, лом так, что их фокальные плоскости совмещены, а держатель детали размещен между этими линзами так, что его ось симметрии совмещена с общей фокальной плоскостью.

Источники информации, эв принятые во внимание при экспертизе

1, Коломийцов 1О. В. Интерферометры (&новы инженерной, теории, применение),,П., «Машиностроение», 19?6, с. 221 — 223.

2. Там же,с. 65 — 68 (прототип).