Кассета для групповой жидкостной об-работки плоских деталей
ОП ИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Сов етсккк
Социалисткческик
Республик
В 65 0 1/34 авеударстеенный квинтет CCCP во делам кзебретений н етнрытнй (53) УДК 621. 798.. 4 (088. 8) Опубликовано 15.07.81, Бюллетень ле 26 Дата опубликования описания 17 ° 09 .81 (72) Авторы изобретения Н. И. Никулин и И. И. Поярков (71) Заявитель (54) КАССЕТА ДЛЯ ГРУППОВОЙ ЖИДКОСТНОЙ ОБРАБОТКИ ПЛОСКИХ ДЕТАЛЕЙ Изобретение относится к производству полупроводников, например для обработки полупроводниковых пластин или подложек шаблонов. Наиболее близким к предложенной по своей сущности является кассета, 5 включающая боковые стенки с пазами для деталей и торцовые стенки с элементами для крепления кассеты к транспортирующему органу 11. Недостатком данной кассеты является то, что она не обеспечивает удовлетворительное качество обработки поверхностей краев, а также торцов пластин, т.е. остаются необработанные участки деталей. Цель изобретения — повышение качества обработки деталей путем улучшения циркуляции обрабатывающего раствора. Эта цель достигается тем, что в ос нованиях пазов для деталей выполнены сквозные щели для прохождения обрабатывающей жидкости, причем сечение об разующих поверхностей пазов имеет тра пециевидную форму.. На фиг. 1 изображена кассета, общий вид; на фиг. 2 — положение обра- батываемой детали в пазах кассеты; на фиг. 3 — паз,.вид в плане. Кассета для групповой жидкостной обработки плоских деталей состоит из боковых стенок 1 с пазами 2 для деталей и торцовых стенок 3 с элемен" тами 4 для крепления кассеты к транспортирующему органу. В основаниях пазов 2 для деталей 5 выполнены сквозные.щели 6 для прохождения обрабатывающей жидкости, причем сечение образующих поверхностей пазов 2 имеют трапециевидную форму. На операциях групповой жидкостной обработки деталей кассета используется следующим образом. В пазы 2 кассеты вставляют детали 5. Затем кассету с деталями при помощи съемной ручки-захвата 7 закрепляют на несущем элементе транс846409 3 портирующего устройства (не показа" но), который при движении опускает ее в обрабатывающий раствор. Транспортирующее устройство опускает кас; сету путем возвратно-поступательноге окунания кассеты в ванну с раствором. Наличие щелей 6 в пазах, выйОлненных на внутренней, стороне боковых стенок I, обеспечивает активirye циркуляцию раствора между вставаейными деталями 5. Наклонная поверхность основания 8 пазов 2 усиливает цйркуляцию раствора во всех направйениях. Ширину щелей 6 выполняют рав ной 0,4=0,5 толщины обрабатываемой детали.. Таким образом, кассета позволяет повысить выход годных деталей на 2-3Х. Формула изобретения Кассета для групповой жидкостной обработки плоских деталей, включаю5 щая боковые стенки с пазами для деталей и торцовые стенки с элементами для крепления кассеты к транспортирующему органу, о т л и ч а ю щ а я— с я тем,что, с целью повьппения ка1р чества обработки деталей, в основаниях пазов для деталей выполнены сквозные щели для прохождения обрабатывающей жидкости, причем сечение образующих поверхностей пазов имеют тра1 пециевидную форму. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1. Патент ФРГ 11 210795, кл. В 65 О 1/34, 1977. 846409 Рие.2 Рие,3 Составитель И. Унгурян Редактор П. Коссей :Техвед ЖКастелевич Корректор Г. Решетник Заказ 5357/28 Тираж 741 Подпйсное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035 Москва Ж-35 Раупская наб. д. 4/5 Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4
