Интерферометр для контроля качествалинз

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВ ЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

<„>847013 (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 11.1079 (21) 2827072/25-28 с присоединением заявки ¹ (23) ПриоритетОпубликовано 150781. Бюллетень М9 26 (я)м. кл.з

G 01 В 9/02

ГосударствеиныЯ комитет СССР оо яеаам изобретений, и открытиЯ (53) УДК 5З1. 715. .1(088.8) Дата опубликования описания 1 0781 д.т. пуряев

:::1

1 ...

3:, (!

Московское ордена Ленина, ордена Октябрьской Рев и ордена трудового Красного Знамоиииысшее техни училище им. Н.3. Баумана (72) Автор . изобретения юции и ское (71) Заявитель (54) HHTEPSEPOMETP ДЛЯ КонтРОЛЯ КЛЧКСтвЛ лИИЭ

Изобретение относится к измерительной технике, предназначено для контроля качества линз и может быть использовано в производстве, оптических систем.

Известен интерферометр для контроля качества линз, содержащий источник света, расположенные последовательно по ходу его лучей светоделитель, объектив, компенсатор, эталонное сферическое зеркало и регистратор интерференционной картины (1) .

Недостатком данного интерферометра является сложность конструкции, обусловленная необходимостью применения эталонного сферического зеркала, диаметр которого превышает диаметр контролируемой линзы., Наиболее близким по технической 20 сущности и достигаемому эффекту к изобретению является ннтерферометр для контроля качества оптических деталей, например линз, содержащий источник света, расположенные последовательно по ходу его лучей светоделитель, компенсатор и регистратор интерференционной картины 52) .

Недостатками этого интерферометра являются сравнительно низкая точ- 30 ность контроля, обусловленная тем, что компенсатор вносит дополнительные аберрации в волновой фронт, отраженный от поверхности контролируемой линзы, а также узкий диапазон параметров контролируемых линз, поскольку один компенсатор позволяет контро. лировать, как правило, только одну линзу, а именно ту, для которой он рассчитан.

Цель изобретения — повышение точности контроля и расширение.диапазона параметров контролируемых линз.

Указанная цель достигается тем, что интерферометр снабжен эталонной линзой, установленной за компенсаторопе, плоскопараллельной светоделительной пластиной, установленной перпендикулярно оптической оси интерферометра эа эталонной линзой так, что расстояние от светоделительной поверхности пластины до эталонной и контролируемой линз равны между собой.

На чертеже представлена принципиальная схема одного из возможных варчантов интерферометра для контроля качества линз.

Интерферометр содержит источник

1 света, расположенные последователь847013 но по ходу егo лучей дк рагму 2, светоделитель 3, компенсатор 4, эталонную линзу 5, плоскопараллельную светоделительную пластину б и регистратор 7 интерференционной картины.

Пластина б установлена перпендикулярно оптической оси интерферометра так, что расстояния от ее светоделительной поверхности до эталонной линзы 5 и контролируемой линзы 8 равны между собой.

Интерферометр работает следующим образом.

Пучок света от источника 1 проходит диафрагму 2, светоделитель 3, компенсатор 4, эталонную линзу 5 и падает на плоскопараллельную светоделительную пластину 6, которая делит его на две части. Одна часть пучка преломляется поверхностью Б эталонной линзы 5, отражается от ее поверхности A и повторяет свой путь в обратном направлении. Другая часть преломляется поверхностью Б контролируемой линзы 8, отражается от ее поверхности A и повторяет свой путь в обратном направлении. Объединив; шись на светоделительной пластине б, обе части интерферируют между собой и поступают в регистратор 7 интерференционной картины.

Поскольку обе части пучка проходят в плечах интерферометра одинаковые оптические пути, нет необходимости осуществлять полную компенсацию аберраций пучка лучей, подающего на светоделительную пластину 6, что позволяет значительно расширить диапазон параметров контролируемых линз 8 и повысить точность контроля за счет исключения ошибок, вносимых компенсатором в обратном ходе лучей.

Таким образом, снабжение интерферометра эталонной линзой 5 и плоскопараллельной светоделительной пластиной б позволяет повысить точность контроля и расширить диапазон параметров контролируемых линз.

Формула изобретения

Интерферометр для контроля качества линз, содержащий источник света, расположенные последовательно по

>5 ходу.его лучей светоделитель, компенсатор и регистратор интерференционной картины, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью повышения точности контроля и расширения диапа20 эона параметров контролируемых линз, он снабжен эталонной линзой, установленной за компенсатором, плоскопараллельной светоделительной пластиной, установленной перпендикулярно оптической оси интерферометра за эталонной линзой так, что расстояния от светоделительной поверхности пластины до эталонной и контролируемой линз равны между собой.

30 Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское. свидетельство СССР

М 448347, кл. G 01 В 9/02.

2. Авторское свидетельство СССР

35 У 373519, кл. G 01 В 9/02, 12.03.73 (прототип).

847013

Составитель О. Фомин

Редактор М. Бандура Техред З. Кастелевич Корректор N. Ulapo

Заказ 5462/61 Тираж 642 Подписное

BHHHIIH Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал IltlfJ "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4