Вакуумный агрегат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (6! ) Дополнительное к авт, саид-ву (22) Заявлено 110 1.80 (21) 2870715/25-0б (51) М. Кл.

F D 19/04 с присоединением заявки ¹â€” (23) Приоритет

Государственный комитет

СССР ио дедам изобретений и открытий

Опубликовано 230781 Бюллетень №

Дата опубликования описания 230781 (53) УДК б 21. 527. 8 (088.8) (72) Авторы изобретения

И.Ф. Шмелев и Ю.М. Тузанкин (71) Заявитель (54) ВАКУУМНЫЙ АГРЕГАТ Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к устройству высоковакуумных агрегатов на базе турбомолекулярных вакуумных насосов.

Известны вакуумные агрегаты, со- . держащие турбомолекулярный и форвакуумный механический насосы с автономными приводами (1) .

Недостатком известных агрегатов является невысокая экономичность вследствие неэффективного использования оборудования, в частности привода форвакуумного механического насоса, потребляемая мощность которого снижается по мере понижения давления в агрегате от атмосферного до соответствующего пуску турбомолекулярного насоса, Цель изобретения — повышение экономичности при выполнении привода турбомолекулярного насоса в виде гавовой турбины, Указанная цель достигается тем, что агрегат дополнительно содержит установленный на валу привода механического насоса компрессор высокого давления с ресивером, связанным со входом газовой турбины.

На чертеже представлена схема вакуумного агрегатз.

Вакуумный агрегат содержит турбомолекулярный и форвакуумный механи-. ческий насосы 1 и 2 с автономными приводами 3 и 4. Агрегат дополнительно содержит установленный на валу

5 привода 4 механического насоса 2 компрессор б высокого давления с ресивером 7, связанным со входом газовой турбины, выполняющий функции привода 3 турбомолекулярного насоса 1.

Агрегат работает следующим образом.

Первоначально включается привод 4 форвакуумного механического насоса 2, и полость турбомолекулярного насоса 1 откачивается до давления его запуска. При этом по мере понижения давления мощность, потрзбляемая приводом 4 форвакуумйого насоса 2, сни2О .жается. После достижения в полости турбомолекулярного насоса 1 давления запуска компрессор б высокого давления подключается к валу 5 привода 4 и через ресивер 7 подает сжатый газ на газовую турбину, выполняющую функцию привода 3 турбомолекулярного насоса 1.

Использование привода турбомолекулярного насоса в виде газовой турЭО бины позволяет более эффективно ис848761

Формула изобретения

Составитель В. Кряковкин

Техред A.дч Корректор О. Билак

Редактор В. Данко

Тираж 712 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Заказ 6043/41

Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 пользовать оборудование, входящее в состав вакуумного агрегата, и повысить его экономичность.

Вакуумный агрегат, содержащий турбомолекулярный и форвакуумный механический насосы с автономными приводами, отличающийся тем, что, с целью повыаения экономичности при выполнении привода турбомолекулярного насоса в виде газовой турбины, агрегат дополнительно содержит установленный, на валу привода механического насоса компрессор высокого давления с ресивером, связанным со входом газовой турбины.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Вакуумная техника. Справочные материалы. М., Реклама, 1975, с. 30.