Анод для автоэлектронного микроскопа

 

Союз Соввтскик

Социалистические

Республик

К АВТОРСКОМУ. СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлечо 06.12.79 (21) 2848079/18-25 (5I }М. Кл.

Н 01 Ю 37/285 с присоединением заявки М

Веударетеенны6 комитет

СССР (23) Приоритет

Опубликовано 23.08.8l.áþëâåòåíü М 31

Дата опубликования описания .25.08. 1 ао делам изобретений и открытий

f 53) УЛК В21.385. .833 (088 8) (72) Автор изобретения

С. В. Зайцев (7!) Заявитель (54) АНОД ДЛЯ АВТОЭЛЕКТРОННОГО МИКРОСКОПА

Изобретение относится к автоэлектрон ной микроскопии и может быть нспольэовено при исследовании эмиссионных свойств граней монокристаллов.

Автоэлектронный микроскоп содержит

3 и качестве одного из основных элементов анод, представляюший собой металличес» кий диск с люминофорным покрытием и зондовым отверстием в центре. Для измерений автоэлектронных токов по различным направлениям осушествшпот перемешеиия анода илн наклон P).

Однако точность установки зондового отверстия невелика.

Боже высокую точность обеспечивает анод для ввтоэлектронного микроскопа., состояший из двух соосных врвшакацтосся металлических писков с зондовыми отверстиями, первый из которых по ходу электронного пучка выполнен с люминофорным покрытием со стороны образца@В известном аноде зондовые отверстия, вы» полненные путем сверления, не являются идентичными всаедствие технологических

2 погрешностей, а также образуют нестабильное сечение условного чрохода (для электронного пучка) при изменении взаимного подожения дисков, что в целом снижает точность полученной информации.

Цель изобретения - повышение точности измерений.

Указанная цель достигается тем, что в аноде для автоэлектронного микроскопа, состояшем из двух соосных врашаюшихся металлических дисков с зондовыми .отверстиями, первый из которых по ходу электронного пучка выполнен с люминофорным покрытием со стороны образца, зоидовые отверстия образованы прорезями в направлении от центров дисков к нх периферии, расположенными по логарифмичес кой спирали на первом диске и по радиусу на втором диске.

На фиг. 1 изображено осевое сечение узда катод-aaoa, на фиг. 2 схематически показана форма прорезей в дисках анода.

По оси автоэлектрояного микроскопа последовател ьно расположены катод (обра3 8581 зец ) 1, анод, состоящий из двух дисков

2 и 3, первый из которых имеет люминофорное покрытие, и коллектор 4, собирающий электронный пучок 5. На первом диске 2 (фиг. 2) выполнена прорезь 6 от центра к периферии по логарифмической спирали, а иа втором диске 3, соответствен ио, прсрезь 7 по радиусу диска. Сквозное зондовое отверстие 8 образуется на пересечении прорезей в дисках. о

Устройство работает следующим образом.

Анализируемый электронный пучок 5 от катода 1 проходит через зондовое от верстие 8 и попадает на коллектор 4 На

15 экране, образованном люминофорным покрытием диска 2, визуализируется изображение поверхности образца. При вращении дисков

2 и 3 анода относительно друг друга зондовое отверстие 8 непрерывно перемешается и может быть установлено в выбранной

20 области изображения, после чего производятся необходимые измерения на коллекторе 4. При вращении дисков прорезь по логарифмической спирали всегда пересекает

25 радиальную прорезь под одинаковым углом, что обеспечивает постоянство формы зондового отверстия, а плавность его перемещения относительно дисков позволяет непрерывно контролировать его местоположение.

46

Указанные условия позволяют повысить точность измерения и качество получаемой информации, а исключение дискретной

I структуры зондовых отверстий повышает технолЬгичность изготовления анода.

Ф о рмула изобретения

Анод для автоэлектронного микроскопа, состоящий из двух соосных вращающихся металлических дисков с зондовыми отверстиями, первый из которых по ходу электронного пучка выполнен с люминофорным покрытием со стороны образца, о т л ич а ю ш и и с я тем, что, с целью повыщения точности измерений, зондовые отверстия образованы прорезями в .направлении от центра дисков к нх периферии, расположенными по логарифмической спирали на первом диске и по радиусу на втором диске.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

1. Патент ФРГ М 2009005, кл. Н 01 У 37/285, опублик. 1978.

2. Суворов А. Л. и др. Автоэлекгронный микроскоп Приборы и техника эксперимента, 1979, N 4, с. 249 (прото жп).

858146

Составитеаь В Гаврюшин

Редактор Н. Пушненкова . Техред Л. Пекарь Корректор C. ИЬкмар

Заказ 7 260/8 7 Тираж 7.84 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5 фнлнал ППП «Патент, r. Ym opog, ул. Проектная, 4