Координатный стол

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИ ЕТЕЛЬСТВУ

Союз Соватскик

Социалистических

Реслублюс . (б1) Дополнительное к авт. сеид-ву

) (24) Заявлено 06.12.79 (21) 2849056у18-21 (51)М. Кл з

Н 05 К 13/02

В 23 0 5/00 с присоединением заявки ¹â€”

Гесуяарстеекямк кеиктет

СССР

lIo Аеаэм кзебРФтский я еткрытяй (23) Приоритет

Опубликовано 15.10.81. Бюллетень ЙВ 38 (53) УДК 621. 3. 016. . 34: 621. 039. 5 (088. 8) Дата овубликования описания 15.1081 (72) Авторы мзобретемия

A. Н. Климов, Ю.Е. Макаревич, Я.A. Райхман, ", ф, т) д, -, A.Ï. Свидельский и A.Ê. Чехута " <И, b.r Ф

Г. (71) Заявитель (54) КООРДИНАТНЫЙ СТОЛ

Изобретение относится к оборудо- ванию для производства иэделий микроэлектроники и манжет Найти применение в электронно-лучевом и другом оборудовании, требукщем точных ..

5 перемещений при производстве и контроле полупроводниковых приборов и фотошаблонов.

Известен координатный стол, содер- 1О жащий основание, на котором установлена подвижная рама с измерительной

;шкалой, соединяющая с поворотным . механизмом и направлякщими штангами с приводом перемещения во взаимно перпендикулярных направлениям (1).

Однако известное устройство не обеспечивает быстродействия и .вЫсо-. кой точности перемещения.

Цель изобретения — повыаение быстродействия и точности:переме- " щения.

Цель достигается тем, что в.коор- динатном столе, содержащем основание, на котором установлены поворотный механизм и подвижная рама с измов, рительной шкалой, соединенная.нап- равляющими штангами с приводом"пе-. ремещения во взаимно перпендикулир-ном направлении, подвижная рама снабжена упорами, кинематически соединеннымн с направляющими штангами, а поворотный механизм — трехканальным датчиком перемещений, причем ось оптического канала датчика совпадает с осью поворотного механиз- ма.

На чертеже изображено устройство, общий вид.

Координатный стол, состоит из основания 1, сверху которого свободно без направляющих установлена подвижная рама 2, содержащая измерительную шкалу 3 и упоры 4, а снизу закреплен поворотный механизм 5 с трехканальным датчиком 6. Основание 1 может являться нижней плитой вакуумной камеры и вместе с разделительным элементом 7 отделяет вакуумный объем от атмосферы. Подвижная рама 2 через упоры 4 кннематически связана с направлякщими штангамн 8, шарнирно закрепленными на каретках 9 приводов 10. Движение по каждой осуществляется парой приводов 10, закры- . тых экранами 11. Трехканальный датчик б установлен в поворотном механизме 5 таким образом, что при повороте поворотного механизма 5 оптическая ось датчика б остается неподвижной.

873485

Формула изобретения

Составитель В. Титов

Редактор Т. Веселова Техред М. Рейвес Корректор С. Шекмар

Заказ 9081/87 Тираж 892 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам. изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4

Перемещение подвижной рамы 2 по координатам Х У осуществляется сле1 дующим образом.

По сигналам от внешнего устройства управления команда на движение передается одной из пар приводов 10, каретки 9 которых через направляющие штанги. 8 и упоры 4 пеоемещают подвижную раму 2 на данное расстояние, отсчитываемое трехканальным датчиI ком б. При. перемещении по двум координатам Х и У одновременно работают обе пары приводов 10. Так как подвижная рама 2 не имеет направляющих, ее положение и перемещение постоянно отслеживается трехканальным датчиком б и корректируется приводами 10 по сигналам датчика б.

Поворот подвижной раьн 2 осуществляется следующим образом.

По сигналам.от внешнего устройства управления команда на поворот передаемся поворотному механизму 5.

Одновременно .с поворотом поворотного механизма 5 и датчика б происходит поворот подвижной рави 2 приводами 10 по сигналам трехканального . датчика б, причем поворот подвижной раьы 2 происходит относительно неподвижной оси датчика б. Поворот подвижной рамы 2 может происходить одновременно с перемещением ее по координатам X и У или последовательно. Поворот осуществляется за счет разности скоростей пары кареток 9 приводов 10 или за счет их встречного движения.

Координатный стол, преимущественно для вакуумных проекционных установок, содержащий основание, на котором установлены поворотный механизм и подвижная рама с измерительной шкалой, соединенная направляющими штангами с приводом перемещения во взаимно перпендикулярном направлении, отличающийся тем, что, с целью повышения быстродействия и точности перемещения, подвижная рама снабжена упорами, кинемати20 чески соединенными с направляющими штангами, а поворотный механизм— ,трехканальным датчиком перемещений, причем ось оптического канала датчика совпадает с осью поворотного

25 механизма.

Источники информации, принятые во внимание ври экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

9 509393, кл. В 23 Q 5/00, 1924.