Способ изготовления проницаемых элементов контрольных течей

 

Союз Советски к

Социалистических республик

Q ll M С А Н И Е 894386

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (63) Дополнительное к авт. свил-ву (22)Заявлено 19.03.80(21)2896896/25 28 (53)IN. 3(л. с присоединением заявки М(23) ИриоритетG 01 М 3/02

Гееударстяаяявй кеакпет

СССР

we дяяак яаабратеяяк и аткрктяй

Опубликовано 30 ° 12 ° 81. Ьимлетеиь .Рй 48

Дата опубликования описания 30. 12 .81 (53) УДК 620.165. .29(088.8) 1

A. В. Шульженко, В.ф. Рогаль и Л.С.Фельдма

L" (72) Авторы изобретения (71) Заявитель (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПРОНИЦДЕМЫХ

ЭЛЕМЕНТОВ КОНТРОЛЬНЫХ ТЕЧЕЙ

Изобретение относится к технике испытания изделий на герметичность, в частности к способам изготовления проницаемых элементов контрольных течей.

Известен способ изготовления проницаемых элементов контрольных течей, заключающийся в том, что стеклянный капилляр помещают в форму, пропускают через капилляр газ под давлением и заполняют форму вакуумно-плотным от1О вердевающим полимерным материалом так, чтобы выходной канал проницаемого элемента образовывался в поли" мерном материале выходящим из капилляра газом (1).

Недостаток известного способа заключается в нестабильности величины пропускной способности получаемых проницаемых элементов вследствие из26 менений проходного сечения канала в полимерном материале, химическая стойкость которого значительно ниже стойкости стекла при пропускании через него сред, содержащих органические растворители.

Наиболее близким по технической сущности к изобретению является способ изготовления проницаемых элементов контрольных течей, заключающийся s том,,что напыляют в вакууме на наружную поверхность стеклянного капилляра токопроводящий слой и электролитически осаждают на него вакуумно-плотный слой металла. При электролитическом осаждении для исключения попадания жидкости в полость капилляра осуществляют продувку капилляра газом под избыточным давлением 12).

Недостаток указанного способа заключается в ограниченности диапазона получаемых контрольных течей по пропускной способности, поскольку для продувки газом капилляров, диаметр которых меньше 0,3 мкм, требуется подавать газ в капилляр под давлением, превышающим его приодел прочности.

894386

1Е

t5

N филиал ППП "Патент", r. Ужгород,ул.Проектная, Ч

Цель изобретения - расширение диапазона величин пропускной способности.

Указанная цель достигается тем,что перед электролитическим осаждением герметизируют концевой участок сужающейся части капилляра нерастворимым в электролите материалом, а после электролитического осаждения отрывают герметизированный конец капилляра усилием, превышающим предел прочности стенки стеклянного капилляра.

Кроме того, отрывают конец стеклянного капилляра путем подачи в капилляр сжатого воздуха.

Способ осуществляется следующим образом.

Стеклянный капилляр с диаметром выходного канала 0,08 мкм закрепляют в вакуумной камере под углом 45 к направлению напыления токопроводящего материала из ячейки испарителя (чтобы исключить металлизацию выходного канала капилляра) и, вращая капилляр вокруг его оси, напыляют медь на наружную поверхность капилляра до толщины напыленного слоя- 2 мкм.

После вакуумного нанесения слоя меди капилляр закрепляют в оправку или гермозажим и, перемещая с помощью микрометрической подачи к сужающейся части капилляра миниатюрный диск из фторопласта с предварительно загустевшим эпоксидным клеем, фиксируют момент касания конца капилляра с клеем. Фиксация момента касания осуществляется либо визуально с помощью микроскопа, либо при закреплении капилляра в гермозажим, по прекращению выхода из капилляра индикаторного газа, подаваемого в него через гермозажим и регистрируемого течеискателем в откаченном объеме ° После отвердения клея, т.е, герметизации концевого участка капилляра, его вместе с приклеенным фторопластовым диском помещают в электролизер с анодами из меди марки Ml и приспособлением для вращения капилляра, и на токопроводящий слой электролитически осаждают медь в течение двух часов до толщины слоя около 1 мм.

Герметизация конца капилляра эпоксидным клеем с приклеенным фторопластовым диском позволяет в процессе электролитического осаждения ограничить рост металла s осевом нап,ВНИИПИ Заказ 11466/62 равлении, что дает возможность получать проницаемые элементы, у которых выход канала стеклянного капилляра находится на одном уровне с вакуумно-плотным слоем металла. После электролитического осаждения капилляр извлекают из электролизера, промывают дистиллированной водой и просушивают в струе сжатого воздуха. При изготовлении проницаемых элементов, рассчитанных на потоки газа порядка 10 л.

° мкм/с и менее, капилляр отрывают от фторопластового диска механическим усилием, превышающим предел прочности фиксированных клеем частей стеклянного капилляра.

При изготовлении проницаемых элементов, расчитанных на потоки газа более 10 л мкм/с, конец капилляра отрывают сжатым газом, который подают в полость капилляра.

Использование изобретения позволяет получать проницаемые элементы на потоки газа порядка 10 л мкм/с и.менее при перепадах давления от 0,1 до нескольких атмосфер.

Формула изобретения

1. Способ изготовления проницаемых элементов контрольных течей, зазо ключающийся в том, что напыляют в вакууме на наружную поверхность стеклянного капилляра токопроводящий слой и электролитически осаждают на него вакуумно-плотный слой металла, о тл и ч а ю шийся тем, что, с целью расширения диапазона величин пропускной способности, перед электролитическим осаждением герметизируют концевой участок сужающейся час40 ти капилляра нерастворимым в электролите материалом, а после электролитического осаждения отрывают герметизированный конец капилляра усилием, превышающим предел прочности стенки стеклянного капилляра, 2. Способ no n.1, о т л и ч а юшийся тем, что открывают конец стеклянного капилляра путем подачи в капилляр сжатого воздуха °

Источники информации принятые во внимание при экспертизе ,. 1, Авторское свидетельство СССр по заявке N 2627086/25-28, кл. G 01 M 3/02, 1978;

2, Авторское свидетельство СССР g по заявке 11 2776531/25-28,кл.G 01 И 3/02, 1979 (прототип), Тираж 910 Подписное