Способ изготовления варисторов
(72) Авторы изобретения
К.К. Демидов, В.В. Михо и В.К. Иаринчик
Одесский ордена Трудового Красного Знаме и государственный университет им. И.И. Иечникова ---. (71) Заявитель (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ВАРИСТОРОВ
Изобретение относится к технологии полупроводниковых приборов.
Известны варисторы на основе карбида кремния с неорганической связкой (1) .
Однако технология изготовления варисторов с неорганической связкой сравнительно сложна.
Наиболее близким по технической сущности к предложенному является способ изготовления варисторов из
1В порошка карбида кремния с органической связкой. Согласно этому способу порошок карбида кремния отжигают в атмосфере водорода, смешивают с ор!
5 ганической связкой, мелкодисперсной терефталевой смолой и глицерином, полученную массу высушивают и измельчают, затем прессуют заготовки изделий и проводят операцию полимеризации Г23.
Недостатком варисторов, получаемых этим способом, является низкая стабильность электрических парамет- .
2 ров. Такие варисторы не удовлетворяют повышенным требованиям, предъявляемым современной электроникой.
Нестабильность работы варисторов с органической связкой определяется не только "старением" связки, но и процессами, происходящими на границе органической связки с карбидом кремния, покрытым обычно пленкой окиси кремния. Вследствие высокой каталитической активности последней возможны, химические превращения органической связки.
Цель изобретения - повывение стабильности электрических параметров варисторов на основе карбида кремния с органической связкой.
Указанная цель достигается тем, что после отжига на поверхность частиц порожка карбида кремния наносят . ионы щелочного металла(предпочтительно натрия) в концентрации 10 - 10 см
Ионы щелочных металлов могут быть на" несены путем кипячения порошка карби10
Формула изобретения
Составитель М. Мессерер
Редактор В. Иванова Техред А. Бабинец Корректор М. Пожо
Заказ 12191/68
Тираж 757 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий
113035,. Москва, 3-35, Раушская наб., д. 4/5
Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4
3 900 да кремния в растворе одной из солей этих элементов или путем нанесения ионов этих элементов при электростатическом распылении их солей..Ионы щелочных металлов подавляют каталитическую активность пленки окиси кремния на поверхности карбида кремния, что повышает стабильность электрических параметров варисторов.
Предложенный способ осуществляют следующим образом.
Порошок карбида кремния с диаметром зерен около 100 мк отжигают в о атмосфере водорода при 1200 С. После отжига порошок карбида кремния обрабатывают в течение двух минут в
33""ном водном растворе ацетата натрия при 100 С.
Затем порошок смешивают с мелкодисперсной терефталевой смолой (103 от веса шихты) и глицерином (5В от веса шихты) при 70ОС. Массу высушивают при 150 С в течение 10 ч. Сухую массу измельчают до размера зерен 180 мк. Из полученного порошка прессуют таблетки, сушат их при
170 С в течение 5 ч и полимеризуют при 250 в течение 10 ч, после чего обычным способом наносят электроды.
Испытания на стабильность электрического сопротивления показали, что
320 4 йосле трехмесячного хранения в обычных условиях сопротивление варисторов, изготовленных известным способом, изменяется в среднем на 84. Сопротивление варисторов, изготовленных предложенным способом, в тех же условиях изменяется не более, чем на 33.
Способ изготовления варисторов на основе порошка карбида кремния % с органической связкой, включающий отжиг порошка в атмосфере водорода, прессование смеси порошка с материалом органической связки и полимеризацию, отличающийся тем, рв что, с целью повышения стабильности электрических параметров варисторов, после отжига на поверхность частиц порошка наносят ионы щелочного ме1 14 -2 талла в концентрации 10 -10 см
2S Источники информации, принятые во внимание при экспертизе
1. Матюшков К.И. и Зайцев Ю.В.
Технология производства резисторов.
М., "Высшая школа", 1972, с. 284.
2. Авторское свидетельство СССР
М 229657, кл. H 01,С 7/рр, 1967.
