Способ изготовления фольгового тензорезистора
CoIo3 Соаетсиик
Социалистмчесиик
Ресттубпии
ОП ИСАНИЕ
ИЗОБВЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ ())) 905629 (61) Jl,îèoëíèòåëüíîå к авт. саид-ву (22)Заявлено 16.03 78(21) 2613643/18-21 с присоединением заявки № (23) Приоритет
Опубликовано 15 02 82 ° Бюллетень ¹
Дата опубликования описания 17 ° 02 ° 82 (51) М. Кл.
Я 01 В 7/20
91«удерстеенный кем«тат
СССР
«о делан нэаеретеннй и аткрытн11 (53) УДК 621 382.
33(088.8) (72) Авторы изобретения
M. И. Этингоф, Д. М. Шур и С. Д. Щербатых 1 .1
)) -1
Научно-производственное объединение о технологии маши ност роения "ЦНИИТМАШ (71) Заявитель (543 СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ФОЛЪГОВОГО ТЕНЗОРЕЗИСТОРА
Изобретение относится к тензометрии, в частности к технологии изготовления фольговых тензореэисторов, работающих при повышенных температурах.
Известен способ изготовления прецизионного тензорезистора путем фольгирования или .)анесения рисунка резистора, покрытого слоем кремнийорганического полимера для работы при то повышенных температурах (11.
Недостатками данного способа являются низкая температура эксплуатации при использовании электролитического способа травления тенэорезис1j тора иэ константановой фольги, что ограничивает его применение до 200 250 С. Кроме того, в способе, включающем соединение фольги с изолирующей основой посредством низкотемпературного клея, резистор покрывают защитным слоем кремнийорганического полимера, обладающего низкой рабочей температурой, Известен также способ изготовления фольгового тензорезистора, включающий соединение фольги с изоляционной основой посредством клея, нанесения на фольгу светочувствительной эмали на основе поливинилового спирта, копирование рисунка,проявление рисунка, травление фольги в растворе хлорного железа и приварку выводов 2) .
Недостатками данного способа являются изготовление тензореэистора на основе константановой фольги, что снижает верхний предел его рабочих температур, и использование низкотемпературных технологических операций, что ограничивает применение тензорезистора до 200-250 С.
Цель изобретения - повышение диапазона рабочих температур тензорезистора.
Поставленная цель достигается T ем, что соединение фольги с изоляционной основой осуществляют горячим
90562
40 прессованием, в качес f в». клея используют кремнийорганический полимер, копирование рисунка ведут B раст воре на основе поливинилового спирта, дополнительно содержащего буру и хромовый ангидрид, а травление фольги проводят в растворе хлорного железа при 50-650С, дополнительно содержащего хлористый кальций и смачиватель. 10
Изготовление фольгового тензорезистора осущест вляют следующим образом.
Отрезают заготовки фольги необходимых размеров, проверяя их на отсутствиее заломов, царапин и яр дефектов. Очищают заготовку от механическ:4х и жировых загрязнений в ультразвуковой ванне, наполненной моющим раствором. После промывки заготовки горячей водой проверяют качест во очистки по смачиваемости поверхности фольги водой, Соединяют фольгу с изоляционной основой иэ стеклоткани, пропитанной кремнийорганическим клеем методом горячего прессования. 3атем в центрифуге на фольгу наносят копировальный раствор и проводят копирование изображения методом контактной печати. После получения рисунка З0 проводят проявление и задубливание изображения, а затем травление фольги при 50-65 С в растворе хлорного железа с добавлением хлористого кальция и смачивателя. 35
Использование при копировании светочувствительной эмульсии с добавлением в нее хромового ангидрида и буры увеличивает химическую стойкость задубленной эмульсии при травле ни и.
Введение B травильный раствор хлористого кальция повышает скорость травления и устраняет подтравливаемост ь рисунка тензореэистора, а введсние смачивателя обеспечивает равномерность травления по поверхности фольги и защиту от бокового подтравливания рисунка.
Травление при температуре ниже
50 С протекает очень медленно, что создает большой клин травления и приводит к искажению рисунка тенэорезистора. При увеличении температуры травления выше 65 С начинается резкое разложение хлорного железа с образованием осадка в виде гидрата окиси <с леза. Эти факторы определяют зна9 4 чения выбранных пределов температуры травления.
Например,для получения тензореэистора иэ нихромовой фольги используют заготовку из материала марки Х20Н7510И.
В качестве полимера для клея используl0 f кремнийор гани ческий сост ав марки
ЭНБ 10/7, а в раствор поливинилового спирта добавляют 0, 15 г/л буры и
0,15 г/л хромового ангидрида. Операцию травления проводят в растворе хлорного железа с добавлением 30 г/л хлористого кальция и 0,0004 г/л смачивателя марки СВ-102. Совокупность перечисленных операций позволяет получить фольговый тензорезистор из нихрома с рабочей температурой 300350 С. Тензочувствительност ь таких резисторов в течение 100 ч работы остается постоянной и равной 1,95, а температурная характеристика при
350 С составляет 10 ед.
Предлагаемый способ обеспечивает значительное повышение рабочей температуры получаемых тенэорезисторов.
Это обуславливает его технико-экономические преимущества по сравнению с известными способами. формула и"обретения
Способ изготовления фольгового тензорезистора, включающий соединение фольги с изоляционной основой посредством клея, нанесение на фольгу светочувствительной эмали на основе поливинилового спирта, копирование рисунка, проявление рисунка, травление фольги в растворе хлорного железа и приварку выводов, о т л и ч а ю шийся тем, что, с целью повышения диапазона рабочих температур тензорезистора, соединение фольги с изоляционной основой осущест вляют горячим прессованием, в качестве клея используют кремнийорганический полимер, копирование рисунка ве;., дут в растворе на основе попивинилового спирта, дополнительно содержащего буру и хромовый ангидрид, а травление фольги проводят в растворе хлорного железа при 50-650С, дополнительно содержащего хлористый кальций и смачиватель.
Источники информации, принятые во внимание при экспертизе
1. Патент CQA Ч" 3474375, кл. 338281, опублик. 1969.
2. двторское свидетельство СССР
163776, кл. С 01 В 7/?0, oróáëèê.
1964 (прототип).
