Установка для сварки давлением
()))910382
Союз Советски к
Социапистическии респубпик
ОП ИСАИ ИЕ
ИЗОБРЕТЕН ИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. саид-ву (22) Заявлено 280480 (21) 2930163/25-27 с присоединением заявки И (23) Приоритет
Опубликовано 070382. Бюллетень № 9
Дата опубликования описания 070382 (5t)M. Кл.
В 23 К 20!16
5Ьвударатааииый комитет
CCCP ив делам иэабратеиий и втарытий (53) УЙК621 791. .66.03(088.8) (72) Авторы изобретения
„@@в .:; 1
А Си
Н.Н. Хоменко, Л.Я. Березин, А.К. Матвеев (71) Заявитель (54) УСТАНОВКА ДЛЯ СВАРКИ ДАВЛЕНИЕМ.Изобретение относится к сварке давлением, в частности к оборудованию для ее выполнения.
Известна установка для сварки давлением, содержащая вакуумную камеру с крышкой для загрузки и выгруз5 ки деталей, имеющую возможность вертикального перемещения, и столом для свариваемых деталей, нагреватель,систему передачи давления на свариваеIO мые детали, состоящую из привода давления и двух штоков (1).
НедОстатком установки является невозможность получения Качественного соединения кремния со стеклом при температуре 400 С.
Наиболее близкой к изобретению по технической сущности и достигаемо му эффекту является установка для сварки давлением, содержащая вакуумную камеру с крышкой для загрузки и выгрузки деталей, тепловыми экранами и столом для свариваемых деталей, электрический нагреватель, систему передачи давления на свариваемые двтали, состоящую из привода давления и верхнего и нижнего штоков ) 21.
Недостатком установки является невозможность ее использования для сварки кремния со стеклом в электрическом поле высокого напряжения.
Целью изобретения является обеспечение возможности сварки кремния со стеклом в электрическом поле высокого напряжения.
Поставленная цель достигается благодаря тому, что установка для сварки давлением, содержащая вакуумную камеру с крышкой для загрузки и выгрузки деталей, тепловыми экранами и столом для свариваемых деталей,электрический нагреватель, систему передачи давления на свариваемые детали, состоящую иэ привода давления и верхнего и нижнего штоков, снабжена изолятором и токоведущими шинами, причем крышка камеры выполнена иэ изоляционного материала, изолятор
9103
Выполнение в столе конического от- 55 верстия, а в нижнем штоке соответст- . вующего ему конического выступа позволяет осуществить центровку свари3 введен в дно камеры, верхнии шток закреплен в крышке, нижний шток установлен в изоляторе с возможностью перемещения вдоль его продольной оси, а токоведущие шины подключены к штокам.
Для обеспечения равномерного нагрева свариваемых деталей в столе для деталей выполнено центральное коническое отверстие, а на конце. нижнего штока - соответствующий ему конический выступ, а для удобства проведения загрузочно-разгрузочных работ стол для свариваемых деталей жестко соединен с крышкой.
На чертеже показана схема устройства.
Установка для сварки давлением содержит вакуумную камеру 1,с крышкой 2 для загрузки и выгрузки деталей
3.из кремния и стекла, тепловыми эк-. ранами 4.и столом 5 для свариваемых деталей 3, электрический нагреватель
6, систему передачи давления на.сва риваемых деталей 3, состоящую из при- 5 вода давления, выполненного в виде пружины 7 и верхнего 8 и нижнего
9 штоков. Установка снабжена также изолятором 10, введенным в дно камерь! 1, и токоведущими шинами 11. Верхний шток 8 закреплен в крышке 2, нижний шток 9 установлен в изоляторе
10 с возможностью перемещения вдоль его продольной .оси, а токоведущие шины 11 подключены к штокам 8 и 9 винтами 12. В столе 5 для деталей 3
35 выполнено центральное коническое отверстие .13, а на конце нижнего штока 9 - соответствующий ему конический выступ 14. Стол 5 .для свариваамых де40 талей 3 жестко соединен с крышкой
2 при помощи консоли 15, опирающейся на изолирующую втулку 16. Верхняя пружина 7, установленная на верхнем штоке 8, со стороны крышки 2 опирается в муфту 17 с винтом 18, а с проти45 воположной стороны - на пуансон 19.
В ведени-е изолятора с т оковедущей шиной и выполнение крышки из диэлектрического материала позволяет обеспечить возможность сварки кремния со стеклом в электрическом поле высокого напряжения, и снизить температуру общего подогрева деталей до 400 .
82 4 ваемых деталей относительно нагревателя.
Жесткое соединение стола для свариваемых деталей с крышкой позволяет осуществить загрузку и разгрузку свариваемых деталей вне камеры.
Работа установки заключается в следующем.
Крышку 2 с деталями 3, установленными на столе 5,.вставляют в камеру
1 и. герметизируют ее. Затем через трубопроводы 20 или 21 создают в камере установки необходимую атмосферу (вакуум, нейтральную или слабоокислительную атмосферу), включают электро двигатель 6. По достижении необходимой температуры (350-450 С) на детали
3 через токоведущие шины 11 подают высокое напряжение {1,0-3,0 кВ) от источника постоянного тока. По истечении определенного времени выдержки (5-40 мин) подачу напряжения прекращают, а также отключают электронагреватель 6. Детали остывают в камере
1 до температуры 100-150 С, а затем их извлекают.
Установка позволяет получить качественные соединения кремния со стеклом при изготовлении полупроводниковых приборов в электрическом поле высокого напряжения при температуре 350-450 С.
Формула изобретения
l.. Установка для сварки давлением, содержащая вакуумную камеру с крышкой для загрузки и выгрузки деталей, с тепловыми экранами и столом для сва» риваемых деталей, электрический нагреватель, систему передачи давления на свариваемые детали, состоящую из привода давления и верхнего и нижнего штоков, отличающаяся тем, что, с целью обеспечения возможности . сварки кремния со стеклом в электрическом поле высокого напряжения, она снабжена изолятором и токоведущими шинами, причем крышка камеры выполнена из изоляционного материала, изолятор введен в дно камеры верхний шток закреплен в крышке, а нижний шток установлен в изоляторе с возможностью перемещения вдоль его продольной оси, а токоведущие шины подключены к штокам.
2. Установка no n, 1, о т л и ч а ю щ а я с я тем, что, с целью
5 910382 6 обеспечения равномерного нагрева сва ° Источники информации, риваемых деталеи, в столе для дета- принятые во внимание при экспертизе лей выполнено центральное коническое отверстие, а на конце нижнего штока- 1. Конюшков Г. В., Копылов Ю.H. соответствующий ему конический выступ. ф
3. Установка по и. 1
Диффузионная сварка в электронике".
Установка по и. 1, о т л и - М., "Энергия", 1974, с. 141-143. ч а ю щ а я с я тем, что, с целью удобства проведения загрузочно-разгру- 2. Казаков Н.Ф. "Диффузионная сварзочных работ, стол для свариваемых ка,, в вакууме". М., "Машиностроение", деталей жестко соединен с крышкой. io 1968, с. 116-118 (прототип).
ВНИИПИ Заказ 979/13 Тираж 151 Подписное
Филиал ППП "Патент", r.Óæãîðîä, ул.Проектная,4
