Способ измерения шероховатости поверхности
Н. Т. Квасов, А. К. Полонин, P. A. Беляев и А. С. Немченок - у "Я, ..:
14 " . 3 .;с, "
1 ,," g Н л ",.:".; (72) Авторы изобретения
Минский радиотехнический институт (71) Заявитель :iГФ,0б р
1 (54) СПОСОБ ИЗИЕРЕНИЯ 0 ЕРОХОВАТОСТИ ПОВЕРХНОСТИ
Изобретение относится к измерительной технике и может быть исполь эовано для контроля поверхности.
Известен способ измерения шероховатости поверхности, заключающийся в том, что световой поток направляют на контролируемую поверхность и регистрируют световой поток отраженный от нее (1 .
Недостатком известного способ о является невысокая точность контроля, обусловленная тем, что отраженное излучение не йаходится в простой функциональной зависимости от размеров дефекта;
Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности является способ измерения шероховатости по. верхности, заключающийся в том, что направляют на контролируемую поверх- щ ность поляризованное электромагнитное излучение, регистрируют интенсивность излучения, отраженного от поверхности, и по величине интенсив"
2 ности оценивают контролируемый параметр (2).
Недостатком способа является не- возможность измерения поверхностных дефектов вследствие того, что отраженное электромагнитное излучение является функцией как ориентационных, так и линейных характеристик дефекта, а также невозможности определений асимметрии дефекта на контролируемой поверхности, Цель изобретения - измерение так" же и поверхностных дефектов.
Поставленная цель достигается тем, что осуществЛяют вращение плоскости поляризации излучения, направляемого на поверхность, а величину контролируемого параметра определяют по максимальной интенсивности отра" женного от поверхности излучения.
На чертеже представлена схема устройство для осуществления способа. формула изобретения
Способ измерения шероховатости поверхности, заключающийся в том, что направляют на контролируемую поверхность" поляризованное электромагнитное излучение, регистрируют интенсивность излучения, отраженного от поверхности, и по величине интенсивности оценивают контролируемый параметр, отличающийся тем, что, с mense измерения также и поверхностных дефектов, осуществляют вращение плоскости поляризации излучения, направляемого на поверхность, а величину контролируемого параметра определяют по максимальной интенсивности отраженного от поверхности излучения, Источники информации, принятые во внимание при экспертизе
1. Авторское свидетельство, СССР
N 508670, кл. G D) В 11/30, 1972, 2. Патент Великобритании
М 1523604, кл. 6 01 В 11/30, 1978 (прототип).
Составитель Н. Захаренко
Редактор О. Юрковецкая Техред С.Мигунова Корректор Г Решетник
Заказ 5313/58 Тираж 614 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета СССР . по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Оилиал ППП "Патент", г.. Ужгород, ул. Проектная, 4
945652
Устройство содержит источник 1 электромагнитного излучения, устройство 2 вращения hJlocKocTH поляризации, диафрагму 3, два объектива 4 и
5, диафрагму 6 и фотоприемник 7.
Способ осуществляется следующим образом.
Излучение от источника 1 проходит через устройство 2 вращения плоскости поляризации, которое обеспечивает управляемое вращение плоскости поляризации излучения.
Затем излучение проходит диафрагму 3, которая выделяет центральную часть пучка, и объективом 4 фокусируется за контролируемую поверхность
8. Отраженное от контролируемой по-, верхности излучение объек 6Ж 5 фо- кусирует в пучок, который .проходит через диафрагму 6 и попадает а фо у,;РУ 20 топриемник 7.
При облучен,ли крнтролируемой поверхности 8 излучением с вращающимся вектором поляризации, отраженный пучок излучения будет иметь экстре25 мальные значения в случае совпадения,направления вектора поляризации с направлением асимметрии дефекта.
Поэтому по зарегистрированному фотоприемником 7 экстремальному значению интенсивности можно судить о наличии зо дефекта. на поверхности и произвести контроль асимметрии зарегистрированных дефектов.
Предлагаемый способ позволяет по наличию и величине экстремального З значения интенсивности отраженного
4 линейно-поляризованного электромагнитного излучения судить о наличии дефекта на контролируемой поверхности и производить идентификацию дефектов, так как существует прямая функциональная зависимость экстремального значения отраженной интенсивности излучения от линейных ра3меров дефекта.
