Распылитель жидкости

 

(>952360

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (5I) М. Кл з (61) Дополнительное к авт. свнд-ву— (22) Заявлено 19.03.79 (21) 2740050/23-05 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет—

В 05 В 7/24

Гееударетееннмй кемнтет (53) УДК 678.056 (088.8) Опубликовано 23.08.82. Бюллетень № 31

Дата опубликования описания 28.08.82

Ilo делам нзебретеннй н еткрмтий (72) Авторы изобретения

Н. И. Никулин, В. Н. Комаров и В. Ф. Севе (71) Заявитель (54) РАСПЫЛИТЕЛЬ ЖИДКОСТИ

Изобретение относится к устройствам для распыления жидкости и может быть использовано, в частности, в полупроводниковом производстве для распыления проявителя на технологических операциях проявления фоторезиста.

Известен распылитель жидкости, выполненный из двух цилиндров: внутреннего неподвижного, в который подается вода под давлением, и наружного вращающегося с отверстиями на их цилиндрических поверхностях (1).

Недостатком этого устройства является то, что оно не обеспечивает равномерного по плотности факела распыла жидкости, так как при совмещении отверстий обоих цилиндров образуется не факел распыла, а мелкие 15 струи жидкости, направленные в разные стороны от внешнего цилиндра.

Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности и достигаемому результату является распылитель жидкости, содержащий два коаксиально установленных полых цилиндра, внутренний из которых соединен с магистралью сжатого воздуха и выполнен с выходной щелью, а наружный — установлен с возможностью вращения и выполнен с рабочими каналами н» его поверхности, и патрубок подачи жидкости к рабочим каналам. Наружный цилиндр выполнен из пористого материала (2).

Недостатком этого устройства является недостаточная однородность факела пг плотности, так как в пористом цилиндре газ проходит в разных направлениях и с различной интенсивностью, что может привести к появлению потеков, образованию и отрыву капель жидкости с надвигающейся поверхности цилиндра.

Цель изобретения — повышение однородности факела распыла по плотности.

Для достижения этой цели в распылителе жидкости, содержащем два коаксиально установленных полых цилиндра, внутренний из которых соединен с магистралью сжатого воздуха и выполнен с выходной продольной щелью, а наружный установлен с возможностью вращения и выполнен с рабочими каналами, и патрубок подачи жидкости к pafioчим каналам рабочие каналы наружного цилиндра выполнены в виде сквозных винтообразных прорезей в его боковой стенке, а в выходной продольной щели внутреннего цилиндра установлен вкладыш из микропо952360 ристого материала, причем вокруг наружного цилиндра смонтирован корпус с продольной щелью для выхода распыленной жидкости.

На фиг. 1 схематично представлено устройство, разрез; на фиг. 2 — то же, вид сбо- s ку; на фиг. 3 — часть развернутой поверхности наружного цилиндра.

Распылитель жидкости содержит два коаксиально установленных полых цилиндра, внутренний 1 из которых соединен посредством трубопровода 2 с магистралью

10 сжатого воздуха (не показана) и выполнен с выходной продольной щелью 3, а наружный 4 установлен с возможностью вращения и выполнен с рабочими каналами.

Рабочие каналы наружного цилиндра 4 выполнены в виде сквозных винтообразных прорезей 5 в его боковой стенке.

В выходной продольной щели 3 внутреннего цилиндра 1 установлен вкладыш 6 из микропористого материала.

Вокруг наружного цилиндра 4 смонтирован корпус 7 с продольной щелью 8 для выхода распыленной жидкости. В корпусе 7 выполнен канал 9, сообщенный трубопроводом 10 с емкостью для жидкости (не показана).

Распылитель жидкости работает следующим образом.

Во внутреннюю полость цилиндра 1 подается через трубопровод 2 сжатый газ. Наружный цилиндр начинает вращаться, при этом сквозные винтообразные каналы 5 поочеред- З0 но сообщаются с каналом 9 корпуса 7, забирают порции жидкости, перемещают их между поверхностями внутреннего цилиндра 1 и внутренней поверхностью корпуса 7. При сообщении канала 5 цилиндра 4 с каналом 3 цилиндра 1 и продольной щелью 8 корпуса 7, происходит распыление жидкости. При достаточно быстром вращении цилиндра 4 дозы жидкости, подаваемые за счет сжатого газа, образуют сплошной ножевой факел распыла с равномерной плотностью по всей длине.

Существующие распылители жидкостц при нанесении покрытия на квадратные подложки, например фотошаблоны размеров

102х102 мм, обеспечивают получение разности по толщине покрытия по всей площади

15 — 20О/ц тогда как описанный распылитель за счет увеличения равномерности плотности факела распыла сократил неравномерность покрытия до 5 — 8О/о.

Формула изобретения

Распылитель жидкости, содержащий два коаксиально установленных полых цилиндра, внутренний из которых соединен с магистралью сжатого воздуха и выполнен с выходной продольной щелью, а наружный установлен с возможностью вращения и выполнен с рабочими каналами, и патрубок подачи жидкости к рабочим каналам, отличающийся тем, что, с целью повышения однородности факела распыла по плотности, рабочие каналы наружного цилиндра выполнены в виде сквозных винтообразных прорезей в его боковой стенке, а в выходной продольной щели внутреннего цилиндра установлен вкладыш из микропористого материала, причем вокруг наружного цилиндра смонтирован корпус с продольной щелью для выхода распыленной жидкости.

Источники информации принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР № 109750, кл. В 05 В 3/12, 1957.

2. Авторское свидетельство СССР № 735314, кл. В 05 В 7/24, 1977 (прототип).

952360

Составитель И. Волгина

Редактор Т. Киселева Техред А. Бойкас Корректор Ю.Макаренко

Заказ 5835/13 Тираж 727 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП «Патент», г. Ужгород, ул. Проектная, 4