Устройство для контроля качества соединения полупроводниковой подложки с ее электровыводами

 

ИСАНИЕ

Союз Соввтсиии

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (6l ) Дополнительное к авт. свнд-ву (5 3 ) М. Кл. (22) Заявлено 13. 01. 81 (21) 3236454/25" 28 с присоединением заявки М (23) Приоритет

G 01 N 19/04 зввудврствеииый кокитвт

СССР ло авлаи изобретений и открытий

Опубликовано 23. 08. 82. Бюллетень М 31 е

Дата опубликования описания 25 т08.83„.

"т (53) УДК 620.179.4(088.8) с. ; ; 4, з <1м о т (Г.С. Назарова, Н.Н. Горюнов $ Н.А. рорисов"

f (72) Авторы изобретения (71) Заявитель

{54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА

СОЕДИНЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВОЙ

ПОДЛОЖКИ С ЕЕ ЭЛЕКТРОВЫВОДАИИ

Изобретение относится к испытательной технике и может быть использовано для контроля качества соединения полупроводниковых подложек с их электровыводами.

Известно устройство для контроля качества соединения полупроводниковой подложки с ее электровыводами, содержащее блок механического нагружения испытуемого соединения и блок задания электрической нагрузки, выполненный в виде последовательно установленных источника напряжения и измерительного прибора, соединяемых при контроле с испытуемым соединением 1 ).

Недостатком этого устройства является низкая точность контроля качества соединения, так как при подаче напряжения на полупроводниковую подложку в случае некачественного соединения подложки с ее электровыводами место соединения нагревается, и элект" роды притягиваются к подложке, что вызывает самопроизвольное частичное восстановление соеди.".е ия приводящее к искажению показаний измерительного прибора °

Цель изобретения - повышение точности контроля путем устранения самопроизвольного восстановления соединения.

Для достижения этой цели устройство для контроля качества соединения о полупроводниковой подложки с ее электровыводами, содержащее блок механического нагружения испытуемого соединения и блок задания электрической нагрузки, выполненный в виде после15 довательно установленных источника напряжения и измерительного прибора, соединяемых при контроле с испытуемым соединением, снабжено устанавливаемым параллельно испытуемому соединению ограничителем напряжения с регулируемым порогом срабатывания.

На чертеже изображена схема предлагаемого устройства.

953536

Устройство содержит блок 1 меха- нического нагружения и блок 2 задания .электрической нагрузки, выполнен ный в виде последовательно установленных источника 3 напряжения и изме- рительного прибора 4, соединяемых при контроле с испытуемым соединением 5, и ограничителя 6 напряжения с регулируемым. порогом срабатывания, устанавливаемого параллельно испытуемо- о му соединению 5.

Устройство работает следующим образом.

На блоке 1 механического напряжения, например вибростенд, устанавливают испытуемое соединение 5, выполненное из полупроводниковой подложки с электровыводами, и подсоединяют последние к свободным выходам источника 3 напряжения и измерительного щв прибора 4 и блока 2 электрической нагрузки. К испытуемому соединению 5 прикладывают одновременно механическую и электрическую нагрузки.

Механическую нагрузку отрыва электz5 ровыводов от полупроводниковой подложки создают блоком 1 механического нагружения, например вибростендом, а электрическую - от источника 3 напряжения, на котором устанавливают рабочее напряжение 30-60 В. При прохождении электрического тока через полупроводниковую подложку рабочее напряжение источника 3 напряжения понижается до напряжения срабатывания

35 полупроводниковой подложки, которое з ави си т от ее мате ри ала, и, например, для кремниевой полупроводниковой подложки составляет О, 8-1,6 В, В случае качественного соединения 5 полупроводниковой подложки с ее электровыводами напряжение срабатывания соединения 5 равно напряжению. срабатывания полупроводниковой подложки. В случае отрыва электровыво45 дов от полупроводниковой подложки на них накапливаются электрические заряды, напряжение срабатывания соединения 5 повышается до рабочего на. пряжения источника 3 напряжения, что

50 приводит к некачественному самопроизвольному восстановлению соедине" ния 5 между полупроводниковой подлож" кой и ее электровыводами. Для предотвращения повышения напряжения s со" единении 5 при отрыве электровыво" дов от полупроводниковой подложки на ограничителе 6 напряжения устанавливают напряжение порога срабатывания на 1,2 В выше напряжения срабатывания полупроводниковой подложки. При качественном соединении 5 полупроводниковой подложки с ее электровыводами рабочий ток течет от источника 3 напряжения через испытуемое соедине ние 5, и величина напряжения срабатывания полупроводниковой подложки фик сируется на измерительном приборе 4,, При отрыве электровыводов от по-4 лупроводниковой подложки рабочий ток течет через ограничитель 6 напряжения, при этом измерительный прибор 4 показывает отсутствие напряжения в соединении 5, а ограничитель 6 напряжения, воспринимая на себя электрическую нагрузку от источника 3 напряжения, предохраняет испытуемое соединение 5 от нагревания, и, тем самым, от притягивания электровыводов к полупроводниковой подложке и самопроизвольного восстановления со« единения.

Предлагаемое устройство позволяет повысить контроль качества соединения полупроводниковой подложки с ее выводами путем исключения сачопроизвольного восстановления соединения при контроле за счет установки ограничителя напряжения с регулируемым поро= гом срабатывания параллельно соединению.

Формула изобретения

Устроиство для контроля качества соединения полупроводниковой подлож« ки с ее электровыводами, содержащее блок механического нагружения испытуемого соединения и блок задания электрической нагрузки, выполненный в виде последовательно установленных источников напряжения и измеритель" ного. прибора, соединяемых при контроле с испытуемым соединением, о тл и ч а ю щ е е с я тем, что,. с целью повышения точности контроля путем устранения самопроизвольного восстановления соединения, оно снабжено устанавливаемым параллельно испытуемому соединению ограничителем напряжения с регулируемым порогом срабатывания.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

Авторское свидетельство СССР

N 324574, кл. G 01 М 29/04, 1969 (прототип).

953536

Составитель В. Свиридов

Редактор А, Козориз Техред М.Тепер Корректор Ю. Макаренко

Заказ 6267/71 Тираж 587 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий.1130)5 Москва Ж"Я Раушская наб. д. 4/g

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4