Изобретение относится к абразивной обработке и может быть использовано при производстве полупроводниковых приборов для полирования плоских поверхностей.

Известно устройство для бесприклеечной полировки деталей, содержащее полировальный блок, выполненный в виде нажимного диска с емкостью для размещения рабочего состава и отверстиями для подачи его в рабочую зону, демпфирующей прокладки и сепаратора с окнами для размещения заготовок (1).

Недостатком данного устройства является налипание твердых частиц рабо" 15 чего состава на дно емкости.

Цель изобретения - повышение эффективности подачи рабочего состава в зону обработки. о

Поставленная цель достигается тем, что дно емкости выполнено волнообразным, а отверстия для подачи рабочего состава расположены во впадинах дна.

На фиг. 1 изображено предлагаемое устройство; общий вид в разрезе; на фиг. 2 вЂ” разрез А-А на фиг. 1.

На вращающемся инструменте-шлифовальнике -1 установлен полировальный блок, состоящий иэ нажимной плиты 2, демпфирующей прокладки 3, под которой размещен сепаратор 4 с центральным сквозным отверстием 5 и окнами, в которых размещены стеклянные заготовки 6. На нажимной плите 2 выполнена емкость 7 для приема доз 8 полировальной суспензии, истекающей из капельницы 9, закрепленной на кронштейне 10 с таким расчетом, что когда полировальный блок находится в отведенном от капельницы 9 крае шлифовальника 1 доза суспенэии свободно падает на верхнюю поверхность шлифовальника 1. При нахождении полировального блока под капельницей 9 доза полировальной суспензии падает в емкость 7.

3 9580

Дно емкости 7 выполнено волнообразным, во впадинах 11 размещены каналы 12, по которым доза 8 полиро вальной суспензии перетекает в пространство центрапьного сквозного 5 отверстия 5 сепаратора 4 и падает на рабочую поверхность шлифовальника 1 со стороны, расположенной ближе к центру вращения полировального блока стеклянной заготовки. 3Î

Во время подготовки рабочего процесса на предваритепьно смоченный полировальной суспенэией шлифовальник устанавливается сепаратор 4, в кон- цах которого размещаются cTGKJlHHHbIG i5 заготовки б.на стеклянные заготовки

6 накладывается демфирующая прокладка 3 и нажимная плита 2, в осевое гнездо которой вставляется рычаг поводка 13. .20

Для проведения рабочего процесса приводится во вращение шлифовальник

1 и в возвратно-поступательное движение поводок 13, который перемещает полировальный блок по шлифовал@нику

1 эа счет разности сил трения, возникающих между соприкасающимися поверхностями шлифовальника 1 и обраба". тываемых стеклянных заготовок 6, приводится во вращение полировальный блок. Включается в работу капельница 9, дозы 8 полировальной суспензии попадают на верхнюю поверхность шли." фовальника 1 поочередно: на открытую

35 поверхность - при отведенном от капельницы 9 полировальном блоке,в емкость 7 - при расположении полировального блока под капельницей 9. Доза 8 полировальной суспензии, попадая в

79 4 емкость 7, стекает по наклонной поверхности волнообразного дна в канал

12. Далее она падает на поверхность шлифовальника 1 и захватывается поверхностью стеклянной заготовки, расположенной ближе к центру вращения полировального блока, Попадание свежего раствора поочередно то с одной стороны полируемой поверхности, то с другой обеспечивает повышение точности и чистоты обрабатываемых поверхностей, производительностиоборудования и повышение процента выхода годных изделий, а выполнение для емкости волнообразным обеспечивает более быстрое стекание. суспензии и устраняет налипание твердых частиц на стенках емкости.

Формула изобретения

Устройство для полирования плоских поверхностей, содержащее полировальный блок, выполненный в виде нажимного диска с емкостью для размещения . рабочего состава и отверстиями для подачи его в рабочую зону, демпфирующей прокладки и сепаратора с окнами для размещения заготовок, о тл и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения эффективности подачи рабочего состава, дно емкости выполнено волнообразным, а отверстия для подачи рабочего состава расположены во впадинах дна.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

l. Авторское свидетельство СССР

M 703315, кл. 8 24 В 37/04, 1976.

958079 тираж 886 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открмтий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д, 4/5

Заказ 6686/16

Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, Составитель А. Козлова

Редактор Л. Алексеенко Техред й. Кастелевич Корректор С ° 111екмар ю

Устройство для полирования плоских поверхностей

Способ изготовления притира // 944894

Устройство для плоскопараллельной доводки // 944893

Устройство для доводки криволинейных поверхностей // 935259

Устройство для шлифования и полирования деталей // 933410

Способ доводки деталей // 933409

Устройство для нагружения притира доводочного станка // 931422

Станок для обработки плоских поверхностей деталей // 921812

Инструмент для доводки отверстий // 918060

Устройство для доводки деталей // 906677

Притир // 2119422

Изобретение относится к технологии абразивной обработки и может быть использовано преимущественно на операциях доводки, а также шлифования и полирования плоских, плоскопараллельных, цилиндрических и сферических поверхностей

Способ одностороннего полирования плоских поверхностей деталей // 2159173

Изобретение относится к области отделочной обработки плоских прецизионных поверхностей, в частности к химико-механическому полированию пластин кремния большого диаметра

Способ крепления пластин // 2192956

Изобретение относится к обработке шлифованием или полированием поверхности тонких хрупких пластин, применяемых, в частности, для производства электронных изделий, например кремниевых и сапфировых

Устройство для притирки плоских поверхностей // 2207945

Изобретение относится к области машиностроения и может быть использовано для притирки (доводки) плоских поверхностей деталей, например, уплотнительных поверхностей деталей запорной трубопроводной арматуры (золотника вентиля, клина задвижки) как в процессе производства, так и при ее ремонте

Способ химико-механического полирования // 2305621

Изобретение относится к области полупроводниковых технологий и может быть использовано при изготовлении полупроводниковых пластин, включающем механическую обработку и химическое травление

Способ полирования поверхности подложки // 2320466

Изобретение относится к области шлифования и полирования, а именно к обработке монокристаллов

Партия сапфировых подложек и способ ее изготовления // 2412037

Изобретение относится к области обработки поверхностей сапфировых подложек шлифованием

Патрон к станку для полирования оптических деталей // 2056223

Устройство для плоской доводки // 2056267

Устройство для двусторонней доводки плоскостей // 2062213

Изобретение относится к станкостроению и может быть использовано для абразивной обработки плоскопараллельных поверхностей разнообразных машиностроительных деталей