Патенты автора Кальнов Владимир Александрович (RU)
Изобретение относится к области радиационной физики и химии полимеров и может быть использовано в электронно-лучевой литографии, дифракционной оптике, в области создания метаматериалов и ряде других областей техники
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ МЕЛКОДИСПЕРСНЫХ КРЕМНЕЗЕМОВ // 2447020
Изобретение относится к химии и технологии неорганических кремнекислородных соединений и может быть использовано для получения мелкодисперсных кремнеземов из попутных хлорсиланов химико-металлургических хлоридных производств поликремния и других металлов и химико-технологических производств органохлорсиланов
Изобретение относится к химии и технологии кремнийорганических соединений, а именно к способам получения органосилсесквиоксанов полиэдрической структуры и дискретных частиц на их основе
СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ ЭЛЕКТРИЧЕСКИ ИЗОЛИРОВАННЫХ ОБЛАСТЕЙ КРЕМНИЯ В ОБЪЕМЕ КРЕМНИЕВОЙ ПЛАСТИНЫ // 2403647
Изобретение относится к приборам микро- электромеханических систем (МЭМС), в частности к их изготовлению на стандартных пластинах кремния
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ УГЛЕРОДСОДЕРЖАЩИХ ПОКРЫТИЙ // 2374358
Изобретение относится к технологии получения углеродсодержащих защитных покрытий пиролизом органосилоксановых соединений и может быть использовано в планарной технологии твердотельной электроники, а также может найти применение в литографических процессах при формировании органосилоксановых актинорезистов и углеродсодержащих маскирующих покрытий на их основе для изготовления фотошаблонов или ионного травления планарных структур
Изобретение относится к химии полимеров и может быть использовано в электронной технике, оптике, медицинской технике
