Микроструктурные системы (B81B7)
B81 Микроструктурные технологии(126)
B81B7 Микроструктурные системы(43)
B81B7/02 - Содержащие отдельные электрические или оптические устройства, необходимые для их функционирования, например микроэлектромеханические системы (мэмс) ( B81B7/04 имеет преимущество)(22)
B81B7/04 - Схемы или матрицы микроструктурных элементов(7)
Система управления устройством с эффектом памяти формы для манипулирования микро- и нанообъектами // 2790934
Изобретение относится к области приборостроения, микросистемной техники и наномеханики, в частности, к технике устройств на основе материалов с эффектом памяти формы (ЭПФ) для манипулирования микро- и нанообъектами и может найти применение в радиоэлектронике, машиностроении, нанотехнологии, электронной микроскопии, медицине, биологии.
Группа изобретений относится к области биомедицинских сенсоров и манипуляторов новых поколений. Способ изготовления микропинцета с градиентом магнитного поля включает обработку микропровода состава PrDyFeCoB смесями кислот при повышенной температуре с последующей промывкой дистиллированной водой и сушкой.
Изобретение относится к микрожидкостным устройствам. Раскрыто микрожидкостное устройство для селективного захвата целевых биологических объектов, содержащее а) массив симметричных столбиков в форме капли (1), в которых линии хорды (5) симметричных столбиков в форме капли параллельны друг другу и при этом геометрические центры симметричных столбиков в форме капли образуют ромбическую решетку (4), характеризующуюся тем, что длина (d) стороны ромба в решетке образована как Евклидово расстояние между геометрическими центрами двух соседних симметричных столбиков в форме капли, b) извилистый микрожидкостный канал (2) и c) объем захвата (3), при этом извилистый микрожидкостный канал (2) содержит последовательность сегментов эллипса (13), каждый из которых характеризуется хордой, параллельной большой или малой оси эллипса, причем указанная хорда разделена на секцию впуска (17) и секцию выпуска (18), через которые целевой биологический объект входит в сегмент эллипса (13) и выходит из него, причем сегменты эллипса соединены друг с другом, причем следующий сегмент эллипса формируется путем поворота предшествующего сегмента эллипса вокруг его хорды и параллельного переноса на расстояние, равное секции впуска (17), вдоль хорды, причем объем захвата (3) определяется логическим вычитанием массива симметричных столбиков в форме капли из извилистого микрожидкостного канала.
Система управления устройством с эффектом памяти формы для манипулирования микро- и нанообъектами // 2778525
Изобретение относится к системе управления устройством с ЭПФ для манипулирования микро- и нанообъектами. Система содержит микропроволоку с основанием и концом, выполненным коническим и заточенным путем электрохимического травления, на котором закреплено устройство с ЭПФ для манипулирования микро- и нанообъектами, рабочее поле с манипулируемым объектом и источник подогрева, при этом основание микропроволоки укреплено на нанопозиционере, причем источник подогрева выполнен в виде малоразмерного резистивного нагревающего элемента, расположенного в тепловом контакте с микропроволокой, и электронную систему питания и управления током, протекающим через резистивный элемент, подводящие провода, соединяющие резистивный элемент с электронной системой питания и управления током, причем конец микропроволоки выполнен с переменным профилем в виде комбинации геометрических фигур - усеченного конуса, цилиндра с диаметром меньшим, чем диаметр основания проволоки, и конуса, на острие которого закреплено устройство с ЭПФ для манипулирования микро- и нанообъектами, а нагревательный элемент расположен на поверхности цилиндра с меньшим диаметром.
Модуль микрофона и электронное устройство // 2747707
Настоящее изобретение предлагает модуль микрофона и электронное устройство и относится к области технологии электронных устройств. Модуль микрофона содержит корпус, печатную плату, преобразователь сигналов и адгезивный элемент.
Изобретение относится к измерительной технике, в частности к чувствительным элементам (электродным узлам) молекулярно-электронных преобразователей диффузионного типа. Молекулярно-электронный преобразующий элемент включает две группы электродов, в каждой из которых один электрод - анод находится при потенциале более высоком, чем второй электрод - катод, при этом согласно изобретению молекулярно-электронный преобразующий элемент содержит дополнительные электроды, расположенные вблизи областей, находящихся при том же потенциале, что и катод, но гальванически развязанных от катода.
Изобретение относится к малоразмерным бинарным космическим аппаратам (БКА), предназначенным для создания реконфигурируемых антенных систем. БКА содержит два цилиндрических корпуса, на торцах которых с помощью телескопических штанг размещены мультивекторные матричные ракетные двигатели (ММРД), осуществляющие развертывание гибкой подложки солнечной батареи (СБ), интегрированной с антенной.
Изобретение относится к измерительной технике в частности к чувствительным элементам (электродным узлам) молекулярно-электронных преобразователей диффузионного типа. Сущность изобретения заключатся в том, что в преобразующем элементе молекулярно-электронного преобразователя диффузионного типа, содержащем две пары выполненных из нитей сетчатых электродов, расположенных перпендикулярно потоку рабочей жидкости и подключенных к источнику напряжения таким образом, что в каждой паре сетчатых электродов потенциал одного из электродов - анода выше потенциала другого электрода - катода, поверхности нитей, из которых изготовлены катоды, покрыты диэлектрическим слоем со стороны, противоположной близлежащему аноду.
Устройство детектирования // 2720580
Изобретение относится к области устройств для детектирования. Устройство детектирования включает спектрометр ионной подвижности для обнаружения представляющего интерес вещества, содержащий пневматическую систему; пневматический интерфейс, выполненный для установки на плату печатного монтажа (ППМ) и содержащий полимерный корпус, имеющий множество пневматических каналов для соединения с пневматической системой спектрометра ионной подвижности, при этом множество насосных муфт расположены на поверхности корпуса так, что, когда интерфейс установлен на ППМ, каждая из множества насосных муфт приводится в соответствие с соответствующим одним из множества насосов для соединения каждого насоса с соответствующим каналом из множества пневматических каналов.
Изобретение относится к конструкции и оборудованию главным образом малоразмерных спутников, предназначенных для создания антенных систем. Бинарный космический аппарат (БКА) содержит два кубических корпуса с поворотными телескопическими штангами, на которых размещены мультивекторные матричные ракетные двигатели (ММРД) для развёртывания гибкой солнечной батареи, интегрированной с коллинеарной антенной, информационными и силовыми шинами, позиционной штрихкодовой лентой.
Изобретение относится к компоненту на кремниевой основе, характеризующемуся по меньшей мере одной уменьшенной поверхностью контакта, который, будучи полученным при использовании способа, объединяющего по меньшей мере одну стадию протравливания наклонной боковой стенки с протравливанием вертикальных боковых стенок от компании «Bosch», улучшает, в частности, трибологию компонентов, полученных в результате проведения механической микрообработки пластины на кремниевой основе.
Изобретение относится к области микросистемной техники и может быть использовано в интегральной электронике для коммутации сигналов. Техническим результатом является коммутации сигналов сантиметрового волнового диапазона с низкими вносимыми потерями, низкой индуктивностью, низким напряжением смещения, малым временем переключения из одного состояния в другое, исключение чувствительности к вибрациям, внешним ускорениям, исключение произвольных срабатываний переключателя при коммутации сигналов высокой мощности, повышение жесткости конструкции неподвижного верхнего электрода электростатического привода.
Изобретение относится к области микросистемной техники и может быть использовано в интегральной электронике для коммутации сигналов. Техническим результатом является коммутация сигналов сантиметрового волнового диапазона с низкими вносимыми потерями, низкой индуктивностью, низким напряжением смещения, малым временем переключения из одного состояния в другое, исключение чувствительности к вибрациям, внешним ускорениям, исключение произвольных срабатываний переключателя при коммутации сигналов высокой мощности, повышение жесткости конструкции неподвижного верхнего электрода электростатического привода.
Изобретения относятся к области химического материаловедения и могут быть использованы при изготовлении датчиков химического состава, электрохимических источников тока, носителей катализаторов, химических реагентов, меток, хроматографических фаз или дозы лекарства в микрокапсулах.
Устройство для манипулирования микро- и нанообъектами, способ его изготовления и система управления // 2698570
Использование: для манипулирования микро- и нанообъектами. Сущность изобретения заключается в том, что устройство для манипулирования микро- и нанообъектами включает два плоских элемента, из которых, по крайней мере, один выполнен термочувствительным, состоящим из двух слоев, из которых один изготовлен из предварительно псевдопластически растянутого сплава с ЭПФ, а другой из упругого материала, причем слои прочно соединены между собой, а элементы соединены с одного конца, а с другого конца сформирован захват для удержания объекта манипулирования, причем в термочувствительном элементе упругий слой выполнен в виде пленки металла, нанесенной на слой сплава с эффектом памяти формы с внешней стороны устройства, а захват для удержания объекта сформирован в сплаве с памятью формы, дополнительно содержит защитный слой диэлектрического прочного материала, нанесенный на рабочие поверхности микромеханического устройства.
Оптический модулятор // 2655463
Изобретение относится к оптической технике. Оптический модулятор, каждый пиксель которого содержит перекрывающие площадь пикселя неподвижный плоский поляризатор и параллельный ему подвижный плоский поляризатор.
Изобретение относится к двигательным ракетным системам для малоразмерных космических аппаратов и предназначено для использования в качестве маневрового двигателя при выполнении линейных и угловых перемещений.
Использование: для изготовления конструктивного элемента. Сущность изобретения заключается в том, что создают композит первого слоя, содержащий первую подложку, выполненную из проводящего материала, и по меньшей мере одну канавку, сформированную в нем и заполненную изолирующим материалом, причем первая область первой подложки электрически изолирована в боковом направлении от других областей первой подложки посредством канавки, создают композит второго слоя, содержащий композит первого слоя и структурный слой, который содержит активную структуру конструктивного элемента и выполнен электропроводящим по меньшей мере в первой области, причем активная структура примыкает к первой поверхности первой подложки в первой области первой подложки и соединена с ней электропроводящим образом, на второй поверхности первой подложки, расположенной противоположно первой поверхности первой подложки, затем создают первую контактную площадку в первой области первой подложки, причем первая область первой подложки электрически изолирована в боковом направлении от других областей первой подложки посредством канавки на второй поверхности первой подложки.
Группа изобретений относится к датчикам для измерения скорости воздушного летательного аппарата по отношению к окружающей его воздушной массе. Сущность заключается в том, что устройство для измерения скорости воздуха содержит гибкую конструкцию, имеющую внешнюю поверхность с первым открытым каналом для воздуха, имеющим нижнюю часть с первым отверстием, и первый датчик давления, установленный в гибкой конструкции в положении с нижней стороны и сообщающийся по текучей среде с первым отверстием.
Способ получения проводящих сетчатых микро- и наноструктур и структура для его реализации // 2593463
Изобретение относится к микро- и наноструктурированным покрытиям, применяемым, в частности, в области оптически прозрачных проводящих покрытий. Технический результат - эффективное формирование проводящей структуры сетчатой формы, обеспечивающей функцию прозрачных проводящих покрытий, на поверхности обрабатываемой подложки на этапе формирования отсоединяемого проводящего слоя, а также посредством перенесения указанного проводящего слоя на обрабатываемую подложку, являющуюся итоговым носителем сетчатой проводящей структуры.
Использование: для изготовления трехмерных микромеханических структур на кремниевой пластине. Сущность изобретения заключается в том, что способ защиты углов трехмерных микромеханических структур на кремниевой пластине с кристаллографической ориентацией (100) при глубинном анизотропном травлении в водном растворе гидрооксида калия KОН включает формирование масочного рисунка с элементами защиты углов, примыкающими к исходной части топологической маски вблизи точки пересечения сторон защищаемого чипа или трехмерной микроструктуры на пластине и продолжающимися за пределы исходной части маски, при котором для защиты выпуклых углов чипа или трехмерной микроструктуры формируют масочный рисунок с элементами Т-образной формы, содержащей продольную и поперечную части, причем травление проводят до тех пор, пока кремниевые элементы, сформированные в области маски защиты углов, не стравятся в процессе анизотропного химического травления до границы исходной топологической области жесткого центра микромеханической структуры, продольные части двух соседних Т-образных элементов защиты перпендикулярны друг другу, причем размеры изготовляемых трехмерных микромеханических структур определяют из определенных условий.
Матричный датчик давления // 2570840
Изобретение относится к устройствам полимерной электроники, в частности к матричным устройствам для преобразования давления в электрический сигнал. Матричные датчики давления используются для определения формы предметов, воздействующих на датчик, и могут использоваться в робототехнике, медицине, при автоматизации производственных процессов.
Изобретение относится к изготовлению герметичных конструкций, образующих микроэлектромеханические системы. Способ создания герметичного уплотнения внутри первой композитной пластины типа кремний-изолятор, используемой для изготовления герметичной конструкции, включает следующие операции: структурирование первой кремниевой пластины для формирования одного или более углублений, проходящих по меньшей мере на часть толщины первой кремниевой пластины, заполнение единственного или каждого углубления материалом-изолятором, пригодным для прикрепления к кремнию посредством анодного соединения с формированием первой композитной пластины, имеющей множество интерфейсов кремний-изолятор и первую контактную поверхность, состоящую из материала-изолятора, и применение к первой и второй контактным поверхностям технологии анодного соединения для создания герметичного уплотнения в интерфейсах кремний-изолятор первой композитной пластины, причем вторая контактная поверхность состоит из кремния.
Изобретение относится к многослойной экранно-вакуумной изоляции (ЭВИ) с микроструктурными элементами для космических аппаратов (КА). Каждый слой ЭВИ выполнен в виде подложки, на которой закреплены теплоотражающие элементы в виде массива прямоугольных микропластин.
Электростатический мэмс ключ // 2541439
Изобретение относится к микроструктурным микроэлектромеханическим системам. Электростатический микроэлектромеханический ключ содержит кремниевый кристалл со сформированным подвижным электродом в виде консоли с выполненными в ней симметричными щелевидными отверстиями, образующими гибкие поддерживающие балки разной длины, перпендикулярные друг другу, и подложку, на которой размещен, по меньшей мере, один неподвижный электрод и токовые шины, соединенную с кремниевым кристаллом с образованием зазора между подвижным и неподвижным электродами, причем подвижный электрод снабжен шунтом, закорачивающим токовые шины при контакте и расположенным со смещением относительно центра в сторону от свободного края подвижного электрода.
Изобретение относится к области микроэлектроники - устройствам микросистемной техники, выполненным по технологиям микрообработки кремния, и может выполнять роль исполнительного элемента датчиковой аппаратуры в части измерения параметров перемещения, ускорения, температуры, механической силы, массы, электрической мощности, потока, освещенности и влажности.
Техническим результатом заявленного изобретения является:
- совмещение в одной конструкции датчиков различных физических величин, в частности: перемещения, ускорения, температуры, механической силы, массы, электрической мощности, потока, освещенности и влажности;
- возможность функционирования в условиях открытого космоса и устойчивость к жестким температурным условиям эксплуатации;
- возможность изготовления датчика групповыми методами по стандартным технологиям микрообработки кремния и механообработки элементов конструкции;
- широкие возможности по унификации и созданию типоразмерного ряда датчиков с различными пределами измерения необходимых физических величин;
- возможность подстройки датчика за счет активного режима работы;
- применение в качестве датчика обратной связи для систем на основе подвижных термомеханических микроактюаторов.
Технический результат достигается тем, что микросистемный емкостной датчик измерения физических величин включает:
- основание из диэлектрического материала,
- один или более исполнительных элементов в виде подвижных термомеханических микроактюаторов, расположенных на основании;
при этом над слоем полиимида подвижных термомеханических микроактюаторов на боковых противоположных гранях кремниевых канавок, заполненных полиимидом, сформированы металлические обкладки конденсатора, параллельно соединенные между собой проводниками, идущими вдоль подвижного хвостовика термомеханического микроактюатора до его основания;
на основании и/или внутри основания сформированы металлизированные дорожки для электрического контакта к площадкам подвижного термомеханического микроактюатора, выполненным с возможностью измерения емкости между обкладками сформированного на подвижном термомеханическом микроактюаторе конденсатора.
Изобретение относится к технике контроля герметичности микроэлектромеханических и микроэлектронных устройств, для функционирования которых требуется герметичный корпус с внутренней полостью. Сущность: устройство включает камеру экспозиции микроструктур в пробном газе, спектрометр, работающий в ИК-диапазоне, и блок управления позиционированием волноводов.
Многофункциональная сенсорная микроэлектромеханическая система (МЭМС) предназначена для использования в газоанализаторах, в медицине в качестве биосенсоров, в микроэлектронике и других высокотехнологичных областях для контроля технологических процессов.
Изобретение относится к системам защиты микромеханических систем и предназначено для обеспечения защиты первичных преобразователей ускорения (ППУ) от действия внешних дестабилизирующих факторов (ВДФ).
Группа изобретений относится к области медицины и может быть использована для мультиплексного анализа. Анализирующее устройство содержит реакционное пространство, два набора индивидуально закодированных микроносителей (2), причем каждый микроноситель является функционализирующим, а каждый микроноситель одного из по меньшей мере двух наборов имеет одинаковую функционализацию, в котором реакционное пространство является микроканалом.
Изобретение относится к области микроэлектроники - устройствам микросистемной техники, выполненным по технологиям микрообработки кремния, и может быть использовано при создании систем терморегуляции нагреваемой поверхности космических аппаратов, либо иных систем, обеспечивающих микроперемещения в горизонтальной плоскости плоской функциональной несущей поверхности относительно неподвижного основания с расположенными на нем термомеханическими микроактюаторами, состоящими как минимум из двух слоев термодеформируемого материала.
Изобретение относится к измерительной технике, в частности к датчикам давления на основе тонкопленочных нано- и микроэлектрических систем (НиМЭМС), предназначенных для использования в системах управления, контроля и диагностики объектов длительного функционирования.
Микроэлектромеханический ракетный двигатель // 2498103
Микроэлектромеханический ракетный двигатель предназначен для использования в составе космических разгонных блоков, наноспутников. Микроэлетромеханический ракетный двигатель выполнен в виде структуры из полупроводниковых кристаллов кремния, расположенных один над другим, в одном из которых выполнена камера сгорания с топливным элементом, и содержит блок поджига топлива с металлическими проводниками.
Изобретение относится к области электронной техники и может быть использовано при изготовлении приборов микроэлектромеханических систем, в частности интегральных микромеханических реле и устройств на их основе: силовых переключателей, схем памяти, сенсорных датчиков, систем обработки информации и др.
Составной микромеханический компонент из кремния с металлом и способ изготовления компонента // 2474532
Изобретение относится к способу изготовления составного микромеханического компонента, сочетающему процессы глубокого реактивного ионного травления и литографии, гальванопластики и формования. .
Изобретение относится к области микросистемной техники и может быть использовано при создании и изготовлении микромеханических устройств, содержащих упругие гибкие деформируемые исполнительные элементы, обеспечивающие преобразование «электрический сигнал - перемещение» и/или «изменение температуры - перемещение» для микроробототехнических систем.
Изобретение относится к преобразующим элементам устройств для проведения инерциальных измерений. .
Изобретение относится к способу эксплуатации емкостного микроэлектромеханического датчика. .
Сканирующий зондовый микроскоп с нанотомом // 2427846
Изобретение относится к теплоэнергетике и позволяет генерировать электрическую энергию за счет модуляции теплового потока, проходящего через электрический конденсатор с температуро-зависимой емкостью. .
Элемент и способ его изготовления // 2424972
Изобретение относится к микромеханическим, микроэлектромеханическим (МЭМС) и микрооптоэлектромеханическим (МОЭМС) элементам, а также способам их изготовления. .
Изобретение относится к области измерительной и микросистемной техники, а более конкретно к интегральным измерительным элементам величин ускорения. .
Микроэлектромеханический ключ // 2406688
Изобретение относится к радиотехнике сверхвысокой частоты (СВЧ) и может быть использовано в радиосистемах, например в перестраиваемых радиолокационных системах. .
