Способ изготовления светофильтров для коррекции освещенности при экспонировании экранов цветных кинескопов

 

ОП ИСАНИЕ

ИЗОВРЕТЕ Н Иэе

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советски к

Социалистических

Республик (11i10052 I 2 (61) Дополнительное к авт. саид-ву(22)Заявлено 25.02.81 (21} 3250383/18-21 с присоединением заявки №(51)М. Кл.

Н 01 ) 9/20

Гесударстееюай кемлтет (23) Приоритет

СССР

Опубликовано15. 03.83 ° Бюллетень № 10

Дата опубликования описания 15 . 03 . 83 ле делам кзеаретенкй и етерытнй (53) УДК 62! .385 (088.8) M. А. Ровенский, И. Н. Хомич, A. В. Сорона вич и А ° И.Мороз

3 .

J г (72) Авторы изобретения (7! ) Заявитель (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ СВЕТОФИЛЬТРОВ ДЛЯ КОРРЕКЦИИ

ОСВЕЩЕННОСТИ ПРИ ЭКСПОНИРОВАНИИ ЭКРАНОВ

ЦВЕТНЫХ КИНЕСКОПОВ

Изобретение относится к электронной технике, в частности к технологии изготовления светофильтров, применяемых при нанесении экранов цветных кинескопов.

Известны способы изготовления све- 5 тофильтров нанесением на рабочую поверхность линзы фоточувствительного слоя с последующим экспонированием и проявлением f.l).

Однако полученные такими способа1О ми покрытия, легко повреждаются механически, имеют малый срок службы и ограниченный диапазон оптической плотности.

Известен также способ изготовления светофильтров, заключающийся в вакуумном напылении пленки хрома на промежуточный испаритель и перепылении пленки на кварцевую подложку све- о тофильтра (2 j, Однако получить указанным способом светопоглощающее покрытие с необходимым распределением толщины пок2 рытия не представляется возможным из-за того, что распыляемый материал конденсируется на холодную подложку, поэтому не обеспечивается достаточная адгезия материала к промежуточ" ному испарителю и при перепылении на подложку рисунок искажается. Это делает невозможным получение свето" фильтров сложной асимметричной формы, необходимых для обеспечения равной экспозиции по всей площади экрана цветного кинескопа при его изго" товлении фотоспособом.

Целью изобретения является повышение качества цветных кинескопов.

Указанная цель достигается тем, что согласно способу изготовления светофильтров для коррекции освещен ости при экспонировании экранов цветных кинескопов, заключающемуся в вакуумном напылении пленки хрома на промежуточный испаритель и пере1 пылении пленки на кварцевую подложКу светофильтра, напыление пленки

3 10052 осуществляют на промежуточный испаРитель, прогретый до 150+5 С и подрожку, нагретую до 400+5 С, причем напыление пленки на промежуточный спаритель производят через трафарет.

При этом наилучшее качество пок- эытия получается, если напыление о осущест вляют со с корост ью 25 1 6/С .

В предлагаемом способе промежу- 1о точный плоский испаритель служит подложкой конденсата. На нем с помощью трафарета создается предварительная форма будущего покрытия, которое должно иметь конфигурацию, 1.> соответствующую типу кинескопа и распределению плотности светофильтра и хорошую адгезию к подложке. Температура промежуточного испарителя

145 С является минимально допустимой температурой, которая обеспечивает формирование конденсата, не отслаивающегося при последующем перепылении. Нагрев до более высокой тем пературы практически нецелесообразен, так как не оказывает влияния на качество покрытия.

Что касается состава и парциального давления остаточных газов во время напыления (давление ниже

ЗО

8 10 4Па), то они не оказывают столь существенного влияния на адгезию пленки к промежуточному испарению или к подложке светофильтра, которое привело бы к отслаиванию осажденной пленки. Степень загрязнения подложки оказывает существенное влияние на свойства пленок, поэтому про межуто ный испаритель очищается прокалкой в вакууме при температуре не40 сколькс высшеи, чем температура испарения хрома.

Подложка светофильтра также подвергается очистке.

Выбор температуры подложки све4 тофильтра обусловлен следующим соображением. Прогрев подложки должен создать высокую адгезию материала светофильтра к ее поверхности, чтобы обеспечить длительную (не менее года) эксплуатацию светофильтра в производственных условиях. Понижение температуры подложки при напылении сопровождается резким ухудшением адгезии пленки светофильтра к ее поверхности. Повышение температуры подложки =верх оптимальной (T=400@5О С) увеличивает впекаемость пленки в прозрачное основание, что существен12 4 но затрудняет процесс регенерации до. рогостоящей подложки после выхода из строя светофильтра, Если напыление пленки на промежуточный испаритель проводится при тем пературе ниже 150%5 С то при перепылении конденсата на прозрачную подложку он частично отслаивается, что отрицательно влияет на качество светофильтра (см.таблицу).

Величина скорости напыления как на промежуточный испаритель, так и на подложку светофильтра выбрана экс периментально и является компромиссным решением двух конкурирующих задач, а именно стремление получить сплошную, безостровковую пленку светофильтра при возможно малых толщинах требует увеличения скорости осаждения, в свою очередь, слишком энергичное распыление вещества светофильтра сопровождается его разбрыз гиванием, что приводит к искажениям градиента оптической плотности светофильтра.

Экспериментально установлено, что незначительные отклонения в парамет рах процесса напыления влекут за собой в конечном счете заметные отклонения величин коэффициента прозрачности светофильтра. Критерием для определения пределов изменения указанных параметров является требование о недопустимости отклонения коэффициента прозрачности светофильтра более чем на 23 в ту или другую сторону от требуемого при фиксированной навеске распыляемого вещества.

Поверхностное распределение опти" ческой плотности светофильтра регулируется площадью, формой и взаимным расположением отверстий трафарета, величиной навески испаряемого вещест. ва, расстоянием между испарителями, а также между промежуточным испарителем и подложкой светофильтра.

П р и и е р. Ilo предложенному и известному способам изготовлены све. топоглощающие покрытия на кварцевых линзах, используемых для корректировки светового потока на установках экспонирования мозаичных экранов

61ЛКЗЦ и экранов со щелевой маской

25ЛК2Ц.

Изготовление светофильтров для экспонирования экрана 25ЛК2Ц осуществляется в установке вакуумного напыления УРН 3.279.017 следующим образом.

5 10052

Вольфрамовые ленточные испарители

BblcTBsJlHIoTcAI один над другим таким образом, чтобы линия, соединяющая их центры, являлась вертикалью длиной

90 мм, плоскости испарителей при этом g должны быть горизонтальны. С нижней поверхностью верхнего промежуточного испарителя совмещается трафарет. В нижний испаритель помещается навеска металлического хрома массой 20+0„1 мг о

После достижения вакуума р=8 ° 1б Па на промежуточный испаритель,нагретый до температуры Т=15(В5 С, напыляется хром. Затем удаляется трафарет, а между испарителями, соблюдая взаим- 13 ную центровку, устанавливается подложка - кварцевая линза ф 227 на рас стоянии 18 мм от промежуточного испарителя и на ее верхнюю поверхность нагретую до 40015 С, сублимируется Зв конденсат с промежуточного испарителя.

Светофильтры, полученные по известному и предлагаемому способам, использованы при фотоэкспонировании экранов.

Результаты корректировки светового потока указанными светофильтрами Зр сведены в таблицу, где в относительных единицах даны величины све12 6 тового потока, замерянные в пятнадцати точках на поверхности экрана.

Из таблицы видно, что даже при симметричном распределении светового потока установки фотоэкспонирования коррекция лучше обеспечивается светофильтром, полученным по предлагаемому способу. Д при несимметричной индикатрисе излучения световода коррекция обеспечивается только све. тофильтром, изготовленным по предлагаемой технологии(см. графу отклонения реальной освещенности от требуемой).

Применение предлагаемого способа изготовления светопоглощающего покрытия обеспечивает по сравнению с известным следующие преимущества: возможность изготовления несимметрич ных светофильтров сложной конфигурации; простоту технологии.

Технологическая простота позволяет реализовать его на любой установке вакуумного напыления.

Изготовленные по предлагаемому способу светопоглощающие покрытия для корректировки светового потока на установках экспонирования дают возможность наладить серийный выпуск экранов цветных кинескопов 25ЛК2Ц и улучшить качество экранов кинескопов 61ЛКЗЦ.

16014212 м м

I 1 Ф +

+ + а м

0О °

4 В

<п о

<ВВ

I а

o e о

o o м ф е о

1

1

4

I

I

1

В

f

I !

1 j

В

ы

X х ы а с х

4»

v o

° в

* а

I0 В ,"1 о а

z v х

Q X

44

ы х

04 Z и ы

O Х

В<О о о

° » О

cv м о

<ВВ е»

ln o о о м

CI а <п ф CO

m л

М О

4п м еО CO о ф О\

В<В ВО

ОЪ 00

ИВ

Ве\

Cl м

<О

ВСВ а о

° » ° м о о о

СВ н о

Р

Вv

3 и о

Ф х е л х

ВО В э о а

СВ о

О м о

О\ о о с3

° О1

o o о о о о о о м м

ВО \О

ВО еО м м ф 00

a o о о

Ф Ж о м

ВО

ВСВ ф Ве В м

О М

О В ОВ о ь м о о с! с

Щ х

Р а

М

X э а

l»» м ф

44 «Х

ы

М о

В

ВI

Х

ЗС о х с ы с

Ф

4»

3

В

Ф

fa с е

4»В

1

4 !

l и

<0

Х г1

I В

4I! l3

t IJ

f 1

ВО с ы

1 Ф

< ВВа

1 4»

<1 О

14 Х О

I Ы

l О ltt

I 4

4 1

I 1

1 4 и и

1

Х I

М ВХ л

4<О<

t- Zt4

1

1

В

В с I

X В

l

В O СВ М м м о

° CI $ е а о матч

+ м оо

М е» ее о-э л оо ф м о м \О о

Ф О1

O ФОО

ЮЪ О1 О В

О В C fl о

С1 ОО е» ° е» а О сэ оа

ОВВ е» е» а мм

О1 Ch tn

0О оа

Ф о о

I

Ф а

1 В, 1

1 0I

v !

1 В<

I 0

I ! и

В

I C

В %

1 I» с и

1 Х

1 О

1 <»

< о

I В ф

° и

1 CL

I 4

t I5 х

В л

1 4»

1 Ф а ! ы

1 Ы

<1

1 Л

В ф

1

I

1 В и !

t O

Z з

1 4

В

1

1 1

1 !» о

1 Х

1

l

4

1 о о ! о

1005212 10 напыление пленки на промежуточный испаритель производят через трафарет.

1. Способ изготовления светофильт- 2. Способ по и 1, о т л и ч а юров для коррекции освещенности при шийся тем, что напыление и пеэкспонировании экранов цветных нине- 5 репыление пленки осуществляют .со скопов, заключающийся в вакуумном скоростью 25С1 Н/С. напылении пленки хрома на промежу- Источники информации, .точный исПаритель и перепылении плен. принятые во внимание при экспертизе ки на кварцевую подложку светофильт- . 1. Иалкиель В. С. Современное со. ра, отличающийся тем, в стояние и пути улучшения качества что, с целью повышения качества цвет- цветных кинескопов. Зарубежная элек ных кинескопов, напыление пленки осу- !тронная техника, 19(140), 1976, ществляют на промежуточный испари- стр. 31-32, тель, прогретый до 15Ы5 С и под- 2. Патент США М 3106488, лож у, нагретую до 400+-5 С, npiiue 1$ кп 117 215, опублик.1968

Составитель В.Александров

Редактор M.Ïåòðîâà Техред M.Tenep KoppeKTop А.ференц

Заказ 1916/72 Тираж 701 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Иосква, Ж-35, Раушская наб., д.4/5

Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4