Способ откачки объема

 

СПОСОБ ОТКАЧКИ ОБЪЕМА секционным криоадсорбционным насосом путем последовательной подачи хладагента в каждую секцию и поочередного отключения последних от откачиваемого объема, отличающийся тем, что, с целью сокращения времени вакуумирования объема насосом с пористыми экранами, секции отключают подачей в насос легкоконденсируемого газа с последующей конденсацией его в порах экрана . .

СОЮЗ аОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИН

1019103 А (19) (И) (so Р 04 В 37/08

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ABTOPGHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 3344277/25-06 (22) 08.10.81 (46) 23.05.83. Бюл. № 19 (?2) А. В. Исаев, В. П. Кряковкин, Н. П. Юшин и В. И. Куприянов (53) 621.527.8 (088.8) (56) l. Авторское свидетельство СССР № 463803, кл. F 04 В 37/02, 1972. (54) (57) СПОСОБ ОТКАЧКИ ОБЪЕМА секционным криоадсорбционным насосом путем последовательной подачи хладагента в каждую секцию и поочередного отключения последних от откачиваемого объема, отличающийся тем, что, с целью сокращения времени вакуумирования объема насосом с пористыми экранами, секции отключают подачей в насос легкоконденсируемого газа с последующей конденсацией его в порах экрана.

1019103

Составитель О. Тишина

Редактор Н. Рогулич Техред И. Верес Корректор А. Повх

Заказ 3663 26 Тираж 665 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП «Патент», г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Изобретение относится к вакуумной технике.

Наиболее близким к предлагаемому техническим решением является способ откачки объема секционным криоадсорбционным насосом путем последовательной подачи хладагента в каждую секцию и поочередного отключения последних от откачиваемого объема . (1) .

Однако известный способ требует значительных затрат времени на достижение предельного вакуума вследствие использования механических средств отключения секций от вакуумируемого объема.

Целью изобретения является сокращение времени вакуумирования объема насосом с пористыми экранами.

Указанная цель достигается тем, что согласно способу откачки объема секционным криоадсорбционным насосом путем последовательной подачи хладагента в каждую секцию и поочередного отключения последних от откачиваемого объема, секции отключают подачей в насос легкоконденсируемого газа с последующей конденсацией его в порах экрана.

На чертеже изображена схема криоадсорбционного насоса, работающего по предлагаемому способу.

Секционный криоадсорбционный насос содержит корпус 1 с входным патрубком

2, посредством которого насос сообц(ен с откачиваемым объемом 3. В корпусе 1 размещены отдельные крноадсорбционные секции 4 с адсорбентом 5, защищенным от теплового излучения тепловых стенок корпуса

1 пористым экраном б. Для осуществления подачи легкоконденсируемого газа в насос на корпусе установлен вентиль 7.

Насос р а ботает следую щи м образом.

В одну из секций 4 подается хладагент, который охлаждает адсорбент 5 и пористый экран 6. По мере охлаждения адсорбент поглощает газ, поступающий из объема 3.

Достигнув насыщения при определенном давлении адсорбент 5 прекращает поглощение газа.

После насыщения адсорбента 5 в первой секции 4 в насос через вентиль 7 по10 дают легкоконденсируемый газ, например пары воды или углекислый газ, и конденсируют его в порах экрана 6. Затем подают хладагент во вторую секцию 4 насоса.

Сконденсированный газ препятствует десорбции адсорбированного газа. После насыщения второй секции 4 вновь осуществляют подачу легкоконденсируемого газа в насос. Далее все операции повторяют в этой же последовательности.

Если понижение давления проводить по известному способу, т. е. путем подачи хладагента в следующую секцию, то по мере понижения давления в насосе условие равновесия газа, находящегося в адсорбированном состоянии в первой секции, с давлением газа в насосе нарушается, что приво25 дит к десорбции газа из этой секции, а следовательно, к ухудшению предельного вакуума, достигаемого насосом.

Таким образом, отключение секций от вакуумируемого объема путем подачи в насос легкоконденсируемого газа и конденсации его в порах экрана значительно сокращает время вакуумирования. Кроме того, применение предлагаемого способа позволяет также упростить конструкцию насоса ввиду исключения механических устройств для отключения секций от вакуумируемого объема.