Криогенный форвакуумный насос

 

ОП ИСАНИЕ

ИЗЬБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Реслублик

< >987169 (61) Донолнительнае к авт. свид-ву— (22) Заявлено 06.07.81 (21) 3312875/25-06 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет— (51) М. Кл.з

F 04 В 37/08

Гевударственнвй кемнтет

СССР (53) УДК 621.528.. 1 (088.8) Опубликовано 07.01.83. Бюллетень № 1

Дата опубликования описания 17.01.83 пе делам нзебретеннй н нткрмтий

В. М. Зыков, Ю. С. Динов, Н. Д. Ермаков, А. В. Здоров,-- ..

Р. М. Яхин„В. Н. Вальков и С. „:А. Коровкина. :

Г 2 г

j,) /

В

- 1 (72) Авторы изобретения (71) Заявитель (54) КРИОГЕННЫЛ ФОРВАКУУМНЫЙ НАСОС

Изобретение относится к вакуумвой технике, а именно к устройству криогейных вакуумных насосов.

Известен криогенный форвакуумный насос, содержащий корпус с размещенным.в его полости охлаждаемым конденсирую- 5 щим элементом и сообщенный с корпусом посредством вентиля сборник жидкого конденсата (1)., Недостатком известного насоса являются невысокие откачные характеристики, 1р вследствие накапливания неконденсируемых газов, таких как гелий, неон, водород.

Цель изобретения — улучшение откачных характеристик насоса.

Указанная цель достигается тем, что насос снабжен адсорбционным патроном, уста- 15 новленным в сборнике конденсата и сообщенным с полостью корпуса, а конденсирующий элемент выполнен в виде усеченного конуса, обращенного меньшим основанием к сборнику конденсата. го

На чертеже схематически представлен предлагаемый насос, продольный разрез.

Криогенный форвакуумный насос содержит.корпус 1 с размещенным в его полости охлаждаемым конденсирующим элементом

2 и сообщенный с корпусом посредством вентиля 3 сборник 4 жидкого конденсата, причем насос снабжен адсорбционным патроном 5, установленным в сборнике 4 конденсата и сообщенным с полостью корпуса 1, а конденсирующий элемент 2 выполнен в виде усеченного конуса, обращенного меньшим освневанием к сборнику 4 конденсата. На трубопроводе, сообщающем патрон 5 с полостью корпуса 1, установлен вентиль 6.

Насос работает следующим образом.

При охлаждении конденсирующего элемента 2 до температуры сжижения основных компонентов воздуха (кислорода, азота и аргона), компоненты начинают конденсироваться в жидкостью, стекающую в сборник 4 конденсата и охлаждающую установленный в сборнике адсорбционный патрон 5.

Дальнейшее охлаждение элемента 2 приводит к конденсации газов в твердой фазе.

При этом вентиль 3 закрывается, отсекая сборник 4 от полости корпуса 1, а вентиль 6 открывается, сообщая патрон 5 с полостью корпуса 1. Дальнейшее понижение давления осуществляется как путем вымораживания основных составляющих возду987169

Составитель В. Кряковкин.

Ректор А. Химчук Техред И. Верес Корректор М. Демчик

Заказ 0248/14 Тираж 662 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

1 !3036, Москва, Ж вЂ” 36, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП «Патент», г. Ужгород, ул. Проектная, 4 ха элементом 2, так и путем поглощения неконденсируемых составляющих воздуха адсорбентом в патроне 5.

Охлаждение элемента 2 осуществляется как подачей жидкого хладагента, так и контактом элемента со ступенью криогенератора.

Наличие адсорбционного патрона, сообщенного с полостью корпуса, позволяет улучшить откачные характеристики насоса вследствие обеспечения откачки неконденсируемых компонентов воздуха.

Формула изобретения

1. Криогенный форвакуумный насос, содержащий корпус с размещенным в его полости охлаждаемым конденсирующим элементом и сообщенный с корпусом посредством вентиля сборник жидкого конденсата; отличающийся тем,.что, с целью улучшения откачных характеристик, насос снаб5 жен адсорбционным патроном, установленным в сборнике конденсата и сообщенным с полостью корпуса.

2. Насос по п. 1, отличающийся тем, что конденсирующий элемент выполнен в виде усеченного конуса, обращенного меньшим основанием к сборнику конденсата.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР № 694656, кл. F 04 В 37/08, 1978.