Интерферометрический задатчик перемещений

 

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

ОРЭ Ю

РЕСПУБЛИК

З(51) В01 В 5 OO

° »

1

ОЛИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ.

Ю

Ю 4ь

С5

QO

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

re ДЕ АМ ИЗОБРЕТЕНИЙ V ОТКРЫТИЙ

121) 3218145/25-28 (22) 10.12.80 (46) 23.06.83 ° Бюл.923 (533 531.717 (088.8) (72) В.П.Семин, В.П.Сарычев и Б.Л. Арлов . (56) 1.Артоболевский И.И. Механизмы в современной технике. М., 1976, т.5, с. 607 (прототип) (54) (57) ИНТЕРФЕРОМЕТРИЧЕСКИЙ ЗАДАТЧИК ПЕРЕМЩЕНИЙ, содержащий корпус закрепленную на нем мембрану с сферической опорой в центре, установленный на корпусе микрометрический винт, ось которого перпендикулярна к плоскости мембраны, и .передаточный механизм,, взаимодействующий с микрометрическим ° винтом и опорой, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью повышения...Я0„„1024685 А точности тарировки и регистрации перемещения, он снабжен закрепленной на корпусе втулкой, ось которой- . параллельна оси микрометрического вин та и проходит через центр опоры, последовательно размещенными во втулке штоком. контактирующим с опорой цилиндрической пружиной и регулировочным винтом, а передаточный механизм выполнен в виде расположенной между мембраной и штоком пружины с прорезью в средней части, имеющей ширину, меньшую диаметра сферической опоры, размещенной в ней, и со. сферическим наконечником на одном из концов, взаимодействующим с микрометрическим винтом, и установленого в корпусе.с возможностью поворота вокруг оси ролика, контактирующего ,с другим концом плоской пружины.

1024685 ираж 602 Подписное ород.ул.Проектная,4

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для юстировки и проверки измерительных приборов °

Известен интерферометрический задатчик перемещений, содержащий корпус закрепленную на нем мембрану с сферической опорой в центре, установленный на корпусе микрометрический винт, ось которего перпендикулярна к-плоскости мембраны, и передаточный меха- 10 низм, взаимодействующий с микрометрическим винтом и опорой 7.1).

В этом задатчике ось микрометрического винта проходит через центр опоры, а передаточный механизм выполнен 15 в виде овальной пружины, что исключает возможность воздействия на эту опору с помощью образцового прибора.

Образцовым прибором воздействуют на мембрану, что исключает возможность получения голографической интерферограммы поверхности мембраны. Это при» водит. к невысокой точности тарировки и регистрации перемещений.

Пель изобретения — повышение точнос- 25 ти тарировки и регистрации перемещений.

Эта цель достигается благодаря тому, что интерферометрический задат чик перемещений, содержащий корпус, .закрепленную на нем мембрану с сферической опорой в центре, установленный на корпусе микрометрический винт, ось которого перпендикулярна к плоскости мембраны, и передаточный механизм, взаимодействующий с микрометрическим винтом и опорой, снабжен закрепленной на корпусе втулкой, ось которой паралельна оси микрометрического винта и проходит через центр опоры, последовательно размещенными во втулке штоком, . 40 контактирующим с опорой цилинцричес-. кой пружиной и регулировочным винтом, ; а передаточный механизм выполнен в виде расположенной между мембраной и штоком плоской пружины с прорезью . 45 в средней части, имеющей ширину, меньшую диаметра сферической опоры, размещенной в ней, и со сферическим наконечником на одном иэ концов, взаимодействующим с микрометрическим 5р винтом, и установленого в корпусе с воэможностью поворота вокруг оси ролика, контактирующего с другим концом плоской пружины. на чертеже показана схема интерферо-: метрического задатчика перемещений.

"5

: Задатчик содержит корпус 1, закрепленную на нем мембрану 2 с сферической опорой 3 в центре, установленный на корпусе 1 микрометрический винт 4, закрепленную . на корпусе 1 втулку 5последовательно размещенные в ней шток 6, пружину 7 .

ВНиИПИ Заказ 4375 34 Т

Филиал ППП "Патент". г.ужг и регулировочныи винт d, плоскую пружину 9 с прорезью 10 в средней части, имеющей ширину, меньшую диаметра опоры 3, и со сферическим наконечником 11 на одном иэ концов, взаимодействующим с микрометрическим винтом 4, и установленный в корпусе 1 с воэможностью поворота вокруг оси ролика. 12, контактирукщий с другим концом плоской пружины 9.

Интерферометрический задатчик работает следующим образом.

В исходном состоянии втулку 5 вместе со штоком 6, пружиной;7 и винтом 8 снимают с корпуса 1 и устанавливают в освободившееся отверствие до упора в опору 3 измерительный"шток образцового прибора например контактного интерферометра.

Устанавливают шкалу обраэцовго прибора на нуль и делают голографическую интерферограмму в реальном масштабе времени всей поверхности мембраны 2, обращенной наружу. Задают вращение микрометрическому винту 4 и регистрируют показания образцового прибора. Строят тарировочную зависимость показаний образцового прибора от перемещения винта 4. Извлекают из корпуса 1 измерительный шток образцового прибора и закрепляют в нем втулку 5 со штоком 6, пружиной 7 и винтом 8. Поворачивают регулировочный винт .8 и наблюдают внешнюю поверхность мембраны 2 через голограмму реального масштаба времени.

Фиксируют винт 8 в положении, соответствующем наибольшему разрежению интерференционных полос, которое соответствует измерительному усилию образцового прибора.

При юстировке или поверке измерительных приборов при помощи тарировочной зависимости задают микрометрическим винтом перемещения, которые че.-... рез пружину 10 передаются йа опору 3 и центр мембраны 2.Поверхность мембраны от центра до точек A и В закрепления об-,:;1 разует поле перемещений с аттестованным перемещением в центре. Это поле переме-..-, щений и используется в качестве образцового при юстировке и поверке приборов.

Использование предлагаемого интерферометрического задатчика перемещений по сравнению с известным задатчиком обеспечивает более высокую точность тарировки и регистрации перемещений за счет применения втулки с нагружающим штоком, контактирующим с опорой, а также за счет .выполнения передаточного звена в виде механизма редуцирования перемещений, .обеспечивающего возможность применения тарировочных образцов приборов с,одновременным получением голограмм.