Способ изготовления электронно-оптической системы и электронно-оптическая система

 

1. Способ изготовления электро но-оптической системы, включающий сборку диафрагм на арматуре и после довательное электроискровое прошивание отверстий в диафрагмах по мер увеличения диаметра отверстий при цеатровке инструмента по отверстиям большего диаметра, отличающ и и с я тем, что, с целью повыше 22р г j 7 ния точности изготовления, производят сборку первой группы диафрагм с увеличивающимися рабочими диаметрами отверстий, после их последовательного прошивания устанавливают вторую группу диафрагм с отверстиями меньших рабочих диаметров по отношению к предыдущим и повторяют операцию прсядивания, начиная с первой из второй группы диафрагм. 2. Электронно-оптическая система, содержащая первую группу | диафрагм с увеличивающимися по ходу пучка дч аметрами отверстий и вторую группу дИс1фрагм с отверстиями меньших дкаМет-ров по отношению к предыдущим диафрагмам, отличающаяся тем, что, с целью повышения точности изготовления, она снабжена технологическими пластинами, закрепленными в арматуре в месте расположения диафрагм второй группы и имеющими отверстия, диаметр которых не менее диаметров отверстий смежных диафрагм первой группы, а диафрагмы второй групПЫ закреплены на указанных технологических пластинах.

„„SU„„ Il 035674 A

СОЮЗ СОВЕТОНИХ

NUNI

РЕСПУБЛИК

3(Я) Н 017 9 02

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫ ГИЙ

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ; ""

Н АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

:(21) 3377445/18-21

"(22) 06.01.81 (46) 15 ° 08. 83. Бюл. Ю 30 (72) В..И. Ивашкив, В. Н. Крых, С.О. Копыстянский, В.В.Пигрух и В.B.Öûãàíåí к о, (53) 621. 385. 832 (088. 8) (56) 1. Гейзлер E.Ñ. ядр.Способ повышения количества арматур электроннооптических систем. — "Электронная техника", сер. 4, 1978, 9 4, с.108109.

2. Патент Швейцарии 9 491496, кл. Н 01 У 9/02, опублик. 1970 (прототип).. (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЭЛЕКТРОННООПТИЧЕСКОЙ СИСТЕМЫ И ЭЛЕКТРОННО-ОПТИЧЕСКАЯ СИСТЕМА (573 1. Способ изготовления электронно-оптической системы, включающий сборку диафрагм на арматуре и последовательное электроискровое прошивание отверстий в диафрагмах по мере увеличения диаметра отверстий при центровке инструмента по отверстиям большего диаметра, о т л и ч а юшийся тем, что, с целью повьпаения тоМности изготовления, производят сборку первой группы диафрагм с увеличивающимися рабочими. диаметрами отверстий, после их пбследовательного прошивания устанавливают вторую группу диафрагм с отверстиями меньших рабочих диаметров по отношению к предыцущим и повторяют операцию прошивания, начиная с первой из второй группы диафрагм.

2. Электронно-оптическая система, содержащая первую группу диафрагм с увеличивающимися по ходу пучка д гаметрами отверстий и вторую группу диафрагм с отверстиями меньших диаметров по отношению к предыдущим диафрагмам, отличающаяся тем, что, с целью повышения точности изготовления, она снабжена технологическими пластинами, закрепленными в арматуре в месте расположения диафрагм второй группы и имеющими отверстия, диаметр которых не менее диаметров отверстий смежных диафрагм первой группы, а диафрагмы второй груп пы закреплены на указанных техноло- гических пластинах.

С:: ,.")в ®

i СО

Щ

©Ъ 3 в|Ь

1035674

Изобретение относится к электронной технике, в частности, к способам изготовления электронно-оптических систем (ЭОС ) и их конструкциям.

Известен способ изготовления ЭОС, включающий электронноискровое прошивание отверстий в диафрагмах после их сборки(1 ).

Однако этот способ неприменим для ЭОС, снабженных вырезывающими

I диафрагмами с малым диаметром отвер- 10 стия, и не обеспечивает необходимой точности для протяженных систем.

Наиболее близким к предлагаЕмому по технической сущности является способ изготовления ЭОС, включающий сбор15 ку диафрагм на арматуре и последовательное электроискровое прошивание отверстий в диафрагмах по мере увеличения диаметра отверстий прй центров ке инструмента по отверстиям большего

;диаметра.По этому способу используют для прошивания электрод в вйде -ступенчатого стержня, который через ка-::. либр базируется по внутренней поверх-: у>сти последнего электрода 3OC(i2 ).

1 25

Известный способ также не позволяет получить с требуемой соосностью отверстия различного диаметра, расположенные не в порядке увеличения их диаметра. Использование про- . З0 тяженного прошивающего электрода не обеспечивает необходимого центрирования, что приводит к искажениям формы отверстий. Такой инструмент сложен и быстро изнашивается.

Цель изобретения — повышение точкости изготовления ЭОС.

Укаэанная цель достигается тем, что согласно способу изготовления

ЭОС, включающему сборку диафрагм на арматуре и последовательное элект 40 роискровое прошивание отверстий в диафрагмах по мере увеличения диаметров отверстий при центровке инструмента по отверстиям большего диаметра, производят сборку первой группы диафрагм,с увеличивающимися рабочими диаметрами отверстий, после их последовательного прошивания устанавливают вторую группу диафрагм с отверстиями меньших рабочих диаметров ®0 по отношению к предыцущим и повторяют операцию прошивания, начиная с первой из второй группы диафрагм.

При этом целесообразно ЭОС, содержащую первую группу диафрагм с уве- . личивающимися по ходу пучка диаметрами отверстий и вторую группу диафрагм с отверстиями меньших диаметров по отнбшению к предыдущим диафрагмам, снабдить технологическими пластинами, закрепленными в армату- 60 ре в месте расположения диафрагм второй. группы,и имеющими отверстия, диаметр которых не менее диаметров отверстий смежных диафрагм первой

«группы, а диафрагмы второй группы 65 закрепляются на указанных технологических пластинах.

На фиг.1 и 2 показана последовательность операций прошивания отверс тий в диафрагмах для одной из схем

ЭОП.

Электронно-оптическая система экю чает последовательно размещенные по ходу пучка катод 1, модулятор 2, первый электрод 3 и второй электрод 4 линзы подфокусировки, третий (вырезывающий ) электрод 5 линзы подфокусировки, дополнительную диафрагму б и дополнительный электрод 7, фокуси рующий электрод 8 и анод 9. На месте третьего электрода 5 линзы подфокусировки устанавливаются в арматуре 10 например, две технологические пластины 11 и 12 с отверстиями 13 и 14, равными .или большими по диаметру отверстиям в электроде 4. Инструмент выполнен в виде кондуктора 15, состоящего из полого цилиндра 16 с Отверстием 17 и прижима 18 с отверстиями

19,которые фиксируются по цилиндрической поверхности 20. Кондуктор центрируется внешней цилиндричес.кой поверхностью 21 по отверстиям второго электрода 4 линзы подфокусировки и дополнительной диафраг мы 6. По оси кондуктора устанавливается электрод 22 для прошивания отверстий в диафрагмах. Корпусная нера- бочая часть 23 кондуктора упирается во внутренний торец фокусирующего электрода 8.

Способ изготовления предложенной схемы ЭОС реализуется следующим образОм.

В арматуре собирают первую группу диафрагм; модулятор 2 и первый электрод 3 линзы подфокусировки без отверстий. Все последующие диафрагмы и электроды выполнены с увеличивающимися диаметрами отверстий. Но если какой либо из последующих электродов имеет меньший диаметр отверстия (вторая группа, в данном случае третий электрод 5 линзы подфокусировки j, то он заменяется одной или двумя технологическими пластинами с отверстиями, равными или большими отверстий смежных диафрагм. После этого осуществляют прошивание отверстий в модуляторе 2 и электроде 3 и удаляют кондуктор 15. Между технологическими пластинами устанавливают и закрепляют -точечной сваркой электрод 5 и снова осуществляют прошивание отверстия в укаэанном электроде с помощью кондуктора аналогичной конструкции, центрируя его по отверстию следукщей диафрагмы. Таким образом получают отверстия во второй группе (одной или более диафрагмах).

Последовательная обработка отверстий и взаимная центровка кондуктора по отверстиям в диафрагмах поэзо. ляет достичь соосности отверстий

1035674

Составитель В. Гаврюшин

Техред В,Далекорей корректор ь„,ференц

Редактор К.Волощук

Заказ 5844/53 Тираж 703 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5 филиал ППП "Патент", г. ужгород, ул. Проектная, 4.различного диаметра, расположенных не в порядке увеличения. Из-за мало-.. го расстояния кондуктор — прошивае мый электрод обеспечивается высокая .точность направления прошивающего электрода 22, а следовательно, и,точность получения формм.отверстия.

При этом кондуктор прост в эксплуатации и долговечен. В целом ЭОС изготавливается с более высокой точностью и имеет повыаенную разрешающую

5 способность.

Способ изготовления электронно-оптической системы и электронно-оптическая система Способ изготовления электронно-оптической системы и электронно-оптическая система Способ изготовления электронно-оптической системы и электронно-оптическая система 

 

Похожие патенты:
Изобретение относится к микроэлектронике и предназначено для изготовления проводящих микроострий, которые могут быть использованы, например, в производстве вакуумных интегральных микросхем

Изобретение относится к источникам электронного и рентгеновского излучений, которые могут применяться при исследованиях в области радиационных физики и химии, радиобиологии, а также в радиационных технологиях, например в химической промышленности, медицине и др
Изобретение относится к электронной технике, а более конкретно - устройствам для полевой эмиссии электронов

Изобретение относится к получению высокоэффективных пленок для полевых эмиттеров электронов

Изобретение относится к области получения высокоэффективных пленок для получения эмиттеров электронов
Изобретение относится к газоразрядной технике и может быть использовано для формирования конструктивных элементов газоразрядных индикаторных панелей (ГИП), например электродов, разделительных элементов и др
Наверх