Способ охлаждения откачивающей поверхности крионасоса
СПОСОБ ОХЛАЖДЕНИЯ ОТКАЧИВАЮЩЕЙ ПОВЕРХНОСТИ КРИОНАСОСА путем теплообмена ее с твердым хладагентом , отличающийся тем, что, с целью интенсификации охлаждения при работе насоса, в твердый хладагент периодически подают жидкий хладагент. в оо 00 сд ел со
СОЮЗ СОВЕТСНИХ
СОЦИАЛЙСТИЧЕСНИХ
РЕСПУБЛИК
3 бР F 04. Ь 3708
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
К ABTOPCHOIUlY СВИДЕТЕЛЬСТВУ
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР
ГЮ ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 3312868/25-06 (22) 06.07.81 (46) 30.08.83. Бюл. №-32 (72) Ю. В. Холод, В. Б. Юферов, В. Б. Нестеренко, В. П. Смазной и Г. А. Постоленко (53) 621.528 1 (088.8) (56) 1. Сб. «Вопросы атомной науки и техники». Сер. «Физика и техника высокого вакуума». Вып. 1 (5); Харьков, ХФТИ АН
УССР, 1976, с. 34.
„SU.„1038559 А (54) (57). СПОСОБ ОХЛАЖДЕНИЯ ОТКАЧИВАЮЩЕЙ ПОВЕРХНОСТИ КРИОНАСОСА путем теплообмена ее с твердым хладагентом, отличающийся тем, что, с целью интенсификации охлаждения при работе насоса, в твердый хладагент периодически подают жидкий хладагент.
1038559
Составитель В. Кряковкин
Редактор К). Середа Техред И. Верес Корректор М. Демчик
Заказ 61в 1/36 Тираж 665 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5
Филиал ППП «Патент», г. Ужгород, ул. Проектная, 4
Изобретение относится к вакуумной технике, а именно — к способам эксплуатации крионасосов.
Известен способ охлаждения откачивающей поверхности крионасоса путем теплообмена ее с твердым хладагентом (1).
Недостатком известного способа является практическая невозможность поддержания температуры откачивающей поверхности на уровне, соответствующем температуре твердого хладагента, вследствие того, что при откачке значительных количеств газа, что имеет место при работе крионасоса, например в области давлений 100 †мм от. ст., выделяющаяся теплота конденсации отогревает твердый хладагент, который при этом сублимируется, и постепенно поверхность контакта твердого хладагента с откачивающей поверхностью уменьшается и соответственно увеличивается термическое сопротивление. Это приводит к повышению температуры откачивающей поверхности и снижению откачных характеристик крионасоса.
Цель изобретения — интенсификация охлаждения откачивающей поверхности при рабате насоса.
Указанная цель достигается тем, что согласно способу охлаждения откачивающей поверхности крионасоса путем теплообмена ее с твердым хладагентом, в последний периодически подают жидкий хладагент.
На чертеже изображено устройство для осуществления способа.
Крионасос содержит корпус 1 с размещенным в нем сосудом 2 для хладагента, снабженным патрубками 3 и 4 для подачи хладагента и откачки его паров. Внутри сосуда 2 размещена герметичная камера 5, в верхнюю часть которой введен вакуумпровод 6. Откачивающая поверхность выполнена в виде змеевиков 7, сообщенных с полостью сосуда 2, и внутренней поверхностью герметичной камеры 5. Для контроля температур откачивающей поверхности и хладагента предусмотрены термометры 8 и 9.
Способ осуществляют следующим образом.
В сосуд 2 заливается хладагент (жидкий азот) и через патрубок 4 вспомогательным насосом пары хладагента откачиваются.
При этом жидкий хладагент охлаждается и переходит в твердый. Таким образом, откачивающая поверхность охлаждается твер15 дым хладагентом. При откачке газа на поверхностях змеевиков 7 и камеры 5 теплота конденсации отводится твердым хладагентом который, сублимируясь, уменьшает поверхность контакта с откачивающей поверхностью, что приводит к повышению термичес20 кого сопротивления и, соответственно, повышению температуры откачивающей поверхности.
Затем в сосуд 2 с твердым хладагентом периодически подают жидкий хладагент, который, проникая в твердый хладагент, охлаждается до температуры последнего и увеличивает поверхность контакта, снижая термическое сопротивление, что в конечном итоге, интенсифицирует процесс охлаждения откачивающей поверхности в рабочем режиЗо ме крионасбса.
Таким образом, предлагаемый способ дает возможность стабилизировать откачные характеристики крионасоса в процессе работы вследствие поддержания температуры откачивающей поверхности на необходимом
35 уровне.
