Диффузионный вакуумный насос

 

„„5Q„„11009?4 А1

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (зов F 04 F 9102

ГОСУДАРСТВЕ ННОЕ, ПАТЕНТНОЕ

ВЕДОМСТВО СССР (ГОСПАтЕНТ СССР)

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

) ю

\ % ф

1 . 2 (2ф3540797166 . cTse, a которой располОжен сопловой блок, (22) 12.О.83 и поддон, отделяющий вакуумную полость (46) 15.10.93. Бюл. М 37-38 от сборникв конденсата, о т л и ч а ю щ и й. (ТЦ Специальное конструкторское бюро по . с я тем, что, с целью расширения диапазона энергохимичеекой аппаратуре-и машинам рабочих давлений, насос снабжен-кольце; .

"Эйергохиммав" — . вым экраном, установленным: между корпу(72) ЕХ.Великанов, Г,СХорбунов, ВЛ.Кули- . сом и криогенной панелью и образующим с ковив. H,Ïoíàäåëêî . первым из них полость предвари)тельного (бб) Аеторскоеевидетельство СССР:. вакуумирования, а со второй - форвакуумN. 889961, кл. F О4 F 9/02. 1980. ную полость, сборник конденсата снабжен-. размещенным на его дйище слоем .адсор(54)(57)ДИФФУЗИОННЫЙ ВАКУУМНЫЙ бента, а поддон - клапаном; сообщающим

НАСОС, содержащий корпус, размозженную: полость предварительного аакуумирования в нем криогейную панель с вакуумной поло- с вакуумной полостью.

1100974

Изобретение относится к области вакуумной техники.

Известен диффузионный насос, содержащий корпус с сопловым блоком и конденсационную поверхность, Однако создание предварительного разрежения, необходимого для запуска насоса. и форвакуумную откачку обычно производят механическими насосами, которые . могут стать,-:па крайней мере в аварийных ситуациях, источником проникновения масла в откачиваемый объем.

Известен также диффузионный вакуумный насос, содержащий корпус, размещенную в нем криогенную панель с вакуумной полостью. в которой расположен сопловой блок, и поддон, отделяющий вакуумную полость от сборника конденсата.

В известном. насосе несколько расширен диапазон рабочих давлений за счет использования в насосе криогенной панели.

Однако для создания форвакуума используются дополнительные средства откачки.

Целью изобретения является расширение диапазона рабочих давлений.

Укаэанная цель достигается тем, что диффузионный вакуумный насос, содержащий корпус, размещенную в нем криогенную панель с вакуумной полостью, s которой расположен сапловой блок, и поддон, отделяющий вакуумную полость от сборника конденсата, снабжен кольцевым экраном, установленным между корпусом и криогенной панелью и образующим с первым из них полость предварительно вакуу.мирования, à со второй — форвакуумную полость. сборник конденсата снабжен размещенным на его днище слоем адсорбента, а поддон-клапанам. сообщающим полость предварительного вакуумирования с вакуумной полостью, На чертеже изображен описываемый насос, продольный разрез.

Диффузионный вакуумный насос содержит корпус 1, размещенную в нем криогенную панель 2 с вакуумной полостью 3, в которой расположен сопловой блок 4 и поддон 5, отделяющий вакуумную полость 3 от сборника конденсата 6.

Насос снабжен кольцевым экраном 7, установленным между корпусом 1 и криогенкой панелью 2 и образующим с первым из них полость 8 предварительного вакуумирования, а со второй — форвакуумную полость 9, сборник 6 конденсата снабжен размещенным не его днище слоем адсорбента 10, а поддон 5- клапаном 11, сообщающим полость 8 предварительного вакуумирования с вакуумной полостью 3.

Форвакуумная полость 9 сообщается с вакуумной полостью 3 клапаном 12. Поддон 5 сообщен со сборником 6 конденсата посредством клапана 13.

В форвакуумной полости 9 расположен адсорбент 14.

В начальный момент клапаны 12 и 11

10 закрыты, адсорбент 10 регенерирован, клапан 13 открыт. В полость панели 2 заливается жидкий азот и начинается откачка паров азота в верхней части панели 2, при этом происходит сначала охлаждение пане-.

15 ли 2 до температуры жидкого азота, а затем и ниже вплоть до 64 К, До этой же темпе.ратуры охлаждается поддон 5 и адсорбент

14, расположенный на внешней поверхности панели 2 в форвакуумной полости 9. При

20 снижении температуры панели 2 ниже 77 К начинается конденсация в жидкую фазу основных компонентов воздуха иэ реципиента, Конденсат стекает в поддон 5 и через открытый клапан 13 поступает в сборник 6, 25 постепенно охлаждая его, адсорбент. 10, расположенный на днище, и экран 7, Таким образом, происходит понижение давления в реципиенте от 760 Торр до 100 Торр, после чего клапан 13 закрывается, клапан

30 11 открывается и происходит дальнейшее понижение давления за счет поглощения гаэа адсорбентом 10, который работает до насыщения или полного выпаривания конденсата из сборника 6. При понижении

35 давления в реципиенте до 1 ° 10 2 Торр клапан 11 закрывается, а клапан 12 открывается, одновременно подается рабочее тело (например СО2) в сопловой блок.4 диффузионной ступени. Рабочее тело, истекая из соплового блока 4 в направлении поддона 5, захватывает молекулы откачиваемого газа, сжимает его, Откачиваемый газ через клапан 12 поступает в форвакуумную полость 9 и поглощается адсорбентом 14, а рабочее тело, соприкасаясь с поверхностью панели

2. конденсируется на ее поверхности в твердый криоосадок, Описываемое техническое решение позволяет расширить диапазон рабочих давлений диффузионного. вакуумного насоса от атмосферного до сверхвысокого (порядка

1 10 Торр), обеспечив при этом высокую

-8 компактность насоса за счет выполнения сорбционной ступени предварительного вакуумирования встроенной и использование для ее криоохлаждения конденсата откачиваемого воздуха. (56) Авторское свидетельство СССР

М 889901, кл, F 04 F 9/02, 1980.

1100974

Составитель E.Âåëèêàíîâ

Техред М;Моргентал Корректор Е.Папп

Редактор А.Колоскова

Тираж Подписное

НПО " Поиск" Роспатента

113035, Москва. Ж-.35, Раушскав наб„4/5

Заказ 3182

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101