Устройство для контроля и подгонки пленочных резисторов микросхем

 

СО1ОЗ СОВЕТСКИХ

COLlHAËÈÑTÈ×ÅÑÍÈÕ

РЕСПУБЛИК

3(59

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

4. (21) 3395663/18-21 (22) 08.02.82 (46) 30.08.83. Бюл, 1 32 (72) В.В. Коробов, В.Н.Петренко и В.А.Рождественский (53) 621.316.8(088.8) (56) 1. Авторское свидетельство СССР и 351250, кл. Н О1 С 17/26, 1972.

2. Авторское свидетельство СССР

Н 301624, кл. G Ol R 1/20, Н 01 С 17/00, 1969., (54) (57) устРОйстВО для контРоля

И ПОДГОНКИ ПЛЕНОЧНЫХ РЕЗИСТОРОВ

МИКРОСХЕМ, содержащее эластичное.SU, „1038971, .Д прозрачное основание с размещенными на одной его стороне пленочными измерительными контактами с микро" наконечниками, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью расширения функциональных возможностей, оно снабжено плоским катодом и размещенным между эластичным прозрачным основанием и плоским катодом желе образным электролитом, причем в элас", тичнам прозрачном основании между пленочными измерительными контактами. с микронаконечниками выполнены пазы, в которых частично размещен желеобразный электролит.

Использование контактного устройства позволяет. расширить его функци4О .ональные возможности, повысить производительность подгонки и контроля пленочных резисторов микросхем за счет осуществления операций групповым методом, снизить трудозатраты на

4> его изготовление при тиражировании, повысить локальность подгонки и контроля.

Составитель Ю.Волков

Редактор Н.Безродная Техред Т.Фанта!

Корректоо А.Зимокосов

Заказ 6236/57 Тираж 703

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Подписное

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул, Проектная, 4

1 10

Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использова-! но при изготовлении гибридно-лленочных микросхем на этапе подгонки их резисторов.

Известно устройство для подгонки сопротивления пленочных резисторов, содержащее рабочий электрод и электролит (1).

Недостаток известного устройства состоит в необходимости индивидуальной установкй игл-электродов на кон- тактные площадки.

Наиболее близкой пЬ технической .сущности к изобретению является зондовая головка для установок контроля и измерения схем, содержащая эластичноепрозрачное основание с нанесен, ными на него пленочными иэмерительны. ми контактами с микронаконечниками (2 ).

Недостатком указанного устройства является невозможность осуществления подгонки сопротивления резисторов электролитическим способом непосредственно в процессе контроля.

Цель изобретения - расширение функциональных возможностей контактного устройства путем группового выполнения операций подгонки и контроля, снижения трудозатрат при совме; щении устройства с микросхемой и тру. доемкости изготовления контактного устройства при его тиражировании, а, также повышение локальности подгойки резисторов. !

Поставленная цель достигается тем, что ;устройство для контроля и подгонки пленочных резисторов, содержащее эластичное прозрачное основание с размещенными на одной его стороне пле" ". ночными измерительными контактами с микронаконечниками, снабжено плоским катодом и размещенным между эластич-.. ным прозрачным основанием и плоским катодом желеобразным электролитом, причем в эластичном прозрачном осно38971 2 вании между пленочными измерительными. контактами с микронаконечниками выполнены пазы, в которых частично размещен желеобразный электролит.

На чертеже представлено контактное устройство.

Устройство Состоит из эластичного прозрачного основания 1 с нанесенными на него пленочными измерительными

10 контактами 2 с микронаконечниками 3 и пазами 4.

Желеобразный электролит 5 с плог. кими выступами 6, которые размещены в пазах .4, расположен между эластич15 ным прозрачным основанием 1 и катодом 7.

Контактное устройство используется следующим образом.

Эластичное прозрачное основание 1

2О своими пазами 4 совмещается с контак ными площадками 8 пленочных резисторов 9 микросхемы 10. В пазы плоскими выступами 6 устанавливается желеобразный электролит 5 и прижимается катодом. 7.

При пропускании тока по цепи микро наконечник 3 - контактная площадка 8 пленочный резистор. 9 - желеобразный электролит 5 - катод 7 происходит об.ЗО раэование окисной пленки на поверхности пленочного резистора 9 и увеличение его сопротивления.

Электрическая схеме (не показана) может позволить производить подгонку как индивидуально, так и групповым способом.