Устройство для подгонки величины сопротивления пленочных резисторов из вентильных металлов
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Республик
Опубликовано 300882 Бюллетень ¹ 32 Дата опубликования описания 300882 Р М К з Н 01 С 17/26 Гоеударретвеиный комитет СССР ио делам изобретений и открытий (з) УДК 621. 316..8(088.8) г < A.Á. Крылов и С.Д. Аэаренков (72) Авторы изобретения (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОДГОНКИ ВЕЛИЧИНЫ СОПРОТИВЛЕНИЯ ПЛЕНОЧНЫХ РЕЗИСТОРОВ ИЗ ВЕНТИЛЬНЫХ МЕТАЛЛОВ Изобретение относится к микроэлектронике, в частности к технологическому оборудованию для изготовления пленочных резисторов. 5 Известно устройство для подгонки пленочных резисторов из вентильных .металлов, реализующее способ анодирования в электролите при постоянной плотности тока, содержащее измери тельный мост, в одно из плеч которого включен эталонный, а в другое подгоняемый резисторы, коммутатор с исполнительным реле, включенный в диагональ моста, и источник стабилизированного тока, включенный в. цепь анодирования подгоняемого резистора Г1. 3. Указанному устройству свойственны следующие недостатки: невысокая производительность, обусловленная необходимостью задания определенного значения тока анодирования при подгонке резисторов различных типоразмеров для обеспечения постоянной плотности тока, и невысокая надежность устройства, определяемая наличием механических контактов в исполнительных,цепях. Известно также устройство для подгонки пленочных резисторов, реали- З0 зующее способ анодирования при нарастающем напряжении на подгоняемом резисторе, содержащее измерительный мост, цепь анодирования, блок измерения и управления, .выполненный на основе потенциометра, ocb которого кинематически связана с электродвигателем, увеличивающим напряжение на подгоняемом пленочном резисторе. Указанное устройство обеспечивает анодирование пленочных резисторов из вентильных металлов при постоянной плотности тока для любых их типоразмеров (,2J. Однако известное устройство имеет невысокую точность подгонки и невысокую надежность, а также ограниченное быстродействие, обусловленные механическим перемещением отдельных узлов устройства. Цель изобретения — повышение точности и производительности подгонки. Поставленная цель достигается тем, что в устройстве для подгонки величины сопротивления пленочных резисторов из вентильных металлов, содержащем цепь анодирования, включающую последовательно соединенные катод, источник тока анодирования" и регулятор режима анодирования, 955224 измерительный мост, источник питания, выход .ми-соединенный с первой .диагонально измерительного моста, блок измерения и управления, соединенный входами с второй диагональю измерительного моста, а выходом - с 5 регулятором режима анодирования, ре-: гулятор режима анодирования выполнен в виде генератора пилообразных импульсов напряжения переменной длительности,.а источник питания выпол- 10 нен в виде последовательно соединенных источника переменного напряжения и блока развязывающих диодов, причем р первый выход блока развязывающих диодов с катодом, а второй — с вхо- 15 дом генератора пилообразных импуль-, сов напряжения,переменно длительности. На фиг. 1 представлена структурная схема устройства; на фиг. 2 эпюры.напряжений и токов, поясняющие его работу. Устройство содержит измерительный мост 1, блок 2 измерения и управления, соЕдиненный с второй диагональю измерительного моста 1, источника 3 питания, соединенный через блок 4 развязывающих диодов с первой диагональю измерительного моста 1, регулятор 5 режима осаждения, состоящий из блока б управления и транзисторного ключа 7. Измерительный мост 1 содержит эталонный резистор 8 и катод 9. Устройство питается от синусоидального напряжения промышленной частоты,35 один полупериод которого используется для питания измерительного моста 1, арегулятором 5 режима анодирования пилообразных импульсов напряжения перемен40 ной длительности. Блок 2 измерения и управления построен на основе, например, двух компараторов (не показан), один из которых выдает сигнал . на блок б управления по достижении 4 сопротивления 90-95Ъ от требуемого, а другой при достижении номинала. Устройство работает следующим образом. Подгоняемый пленочный резистор 10 покрывается электролитом 11, устанавливается в измерительный мост 1. По команде оператора (вход "Запуск" регулятора режима осаждения) блок б управления начинает вырабатывать 55 импульсы 12 (фиг. 2) управления, длительность которых постепенно увеличивается, а начало соответствует нулю синусоидального напряжения источника питания. 60 Пилообразные импульсы 13 (фиг. 2) напряжения формируются иэ синусоидального напряжения транзисторным ключом 7. Максимальная их длительность Л /4. 65 В результате через цепь анодирования, состоящей из источника тока анодирования, которым. является второй выход блока 4 развязывающих Диодов, подгоняемого пленочного резистора 10, электролита 11, катода 9 протекает некоторый импульс 14 тока, плотность которого не зависит от габаритов пленочного резистора 10. Характерная особенность режима анодирования при подаче напряжения состоит в том, что необходимо постепенно увеличивать напряжение по мере роста окисной пленки. Поэтому импульсы 14 тока начинаются с момента, -когда напряжение превышает ток напряжения предыдущего пилообразного импульса 13. По мере приближения к номиналу по сигналу с блока 2 измерения и управления прирост длительности импульсов 12 управления уменьшается для того, чтобы повысить точность подгонки. При достижении номинала этот же блок 2 измерения и управления выдает команду на блок б управления для прекращения выработки импульсов 12 управления. Тем самым процесс подготовки прекращается. Технико-экономическая эффективность предлагаемого устройства обусловлена его простотой, отсутствием электромеханических компонентов, повышенной точностью подгонки, снижением скорости анодирования при приближении к номиналу, отс. тствием подбора требуемого тока анодированияпри подгонке i различных габаритов пленочных резисторов на одной подложке. Формула изобретения устройство для подгонки величины сопротивления пленочных резисторов иэ вентильных металлов, содержащее цепь анодирования, включающую последовательно соединенные катод, источник тока анодирования и регулятор режима анодирования, измерительный мост, источник питания,, выходами соединенный с первой диагональю измерительного моста, блок измерения и управления, соединенный входами с второй диагональю измерительного моста, а выходом - с регулятором режима анодирования, о т л и ч а ю щ е— е с я тем,.что, с целью повышения точности и производительности подгонки, регулятор режима анодирования выполнен в виде генератора пилообразных импульсов напряжения переменной длительности, а источник питания выполнен в виде, последовательно соединенных источника переменного напряжения и блока развязывающих диодов, причем первый выход блока развязывающих диодов соединен с катодом, а 955224 5anvc ЯРиН фи8 2 Составитель Ю. Волков Техред С.Мигунова Корректор О. Билак Редактор Н. Гришанова Заказ 6451/62 Тираж 761 . Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретенйй и .открытий 113035, Москва, Ж-35, Рауюская наб., д. 4/5 Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4 второй — с входом генератора пилообразных импульсов напряжения переменной длительности. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1. Авторское свидетельство СССР 9 351250, кл. Н 01 С 17/26, 1972. 2. Заявка Японии 9 528499, кл. Н 01 С 17/26, опублик. 1977 (прототип).
