Резистивный делитель для интегральных схем
РЕЗИСТИВНЫЙ ДЕЛИТЕЛЬ ДЛЯ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ, содержащий изолирующую подложку, на которой расположены резистивные и контактные элементы из поликристаллического кремния, отличающийся тем, что, с целью повышения точности воспроизведения отношения сопротивлений резисторов .в делителе и расширения диапазона удельного сопротивления в нйзкоомной области, он снабжен расположенными на изолирующей подложке под резистивными элементами и вдоль их боковых сторон дополнительными участками поликристаллического кремния, удельное сопротивление которых не менее, чем на порядок, больше удельного сопротивления резистивных элементов.
СОЮЗ COBETCKVIX
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК (я)з Н 01 С 7/26
ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕ
ВЕДОМСТВО СССР (ГОСПАТЕНТ СССР) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 3333558/21 (22) 31.08.81 (46) 07.03.93. Бюл. М 9 (72) Ю.В.Агрич, А.А.Мухин, Б.М.Куценко и
А,И.Таланцев (56) Патент США М 4210996, кл, Н 01 С 17/26, 1980, Патент США М 4110776, кл. Н 01 С 17/26; 1978. (54)(57) РЕЗИСТИВНЫЙ ДЕЛИТЕЛЬ ДЛЯ
ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ, содержащий изолирующую подложку, на которой расположены резистивные и контактные элементы
Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано в технологии изготовления прецизионных поликремниевых резисторов, в частности, резистивных делителей для интегральных схем.
Цель изобретения — повышение точности воспроизведения отношения сопротивлений резисторов в делителе и расширение диапазона удельного сопротивления в низкоомной области — достигается тем, что известный резистивный делитель для интегральных схем, содержащий изолирующую подложку, на которой расположены резистивные и контактные элементы из поликристаллического кремния, .:, снабжен расположенными на изолирующей подложке под резистивными элементами и вдоль их боковых сторон дополнительными участками, поликристаллического кремния, удельное сопротивление которых не менее, чем на порядок, больше удельного сопротивления резистивных элементов.
» А2 1075852 А1 из поликристаллического кремния, о т л и ч аю шийся тем, что, с целью повышения точности воспроизведения отношения сопротивлений резисторов в делителе и расширения диапазона удельного сопротивления в низкоомной области, он снабжен расположенными на изолирующей подложке под резистивными элементами и вдоль их боковых сторон дополнительными участками поликристаллического кремния, удельное сопротивление которых не менее, чем на порядок, больше удельного сопротивления резистивных элементов, На чертеже схематично показан резистивный делитель для интегральных схем, вид сверху.
Резистивный делитель содержит изолирующую подложку 1, покрытую слоем двуокиси кремния (не показана), на которой расположен слой 2 поликристаллического кремния толщиной 0,5 мкм, резистивные элементы 3, контактные элементы 4, удельное сопротивление которых меньше, чем удельное сопротивление резистивных эле- Ql ментов, и участки 5 из поликристаллическо- Q(} го кремния, удельное сопротивление (Я которых не менее, чем на порядок, больше ) удельного сопротивления резистивных элементов 3. Резистивные элементы могут быть .,Ф легированы примесью фосфора концентрацией 2.10 1/см, сурьмы концентрацией
19
5.10 1/см или бора концентрацией 1.10
1/см, а контактные элементы могут быть легированы теми же примесями концентрацией 2.10 1/см .
В таблице приведены характеристики резистивных делителей типа R — 2Р со ласно изобретению и прототипу, 1075852
r / /
/ / / / /
/ / / / / / / / / " / / / / / / /
/, Составитель B.Äîëãîïîëoâ
Редактор О,Кузнецова Техред М.Моргентал Корректор M.Êåðåöìàí
Заказ 1955 Тираж Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5
Производственно-издательский комбинат "Патент", r. Ужгород, yn,Ãàãàðèíà, 101
Изобретение позволяет повысить точность отношения сопротивлений резисторов в делителе, расширить диапазон удельного сопротивления в низкоомной области, уменьшить геометрические размеры резисторов в делителе и повысить надежность 10 — 12-разрядных цифроаналоговых и аналого-цифровых преобразователей.
