Способ управления процессом регенерации водорода из парогазовой смеси

 

Способ управления процессом регенерации водорода из парогазовой смеси в производстве полупроводникового кремния, заключающийся в ступенчатом низкотемпературном охлаждении парогазовой смеси и регулировании расхода хладагента в зависимости от температуры парогазовой смеси на выходе вымораживателя, отличающийся тем, что, с целью повышения выхода регенерированного водорода, дополнительно измеряют рН раствора в смесителе, по величине которого определяют общую концентрацию хлористого водорода в смеси, определяют по температуре смеси, измеряемой на выходе вымораживателя, концентрацию хлористого водорода, соответствующую состоянию насыщения при данной температуре, по разности указанных концентраций определяют содержание хлористого водорода в смеси в виде аэрозоля и в зависимости от отношения концентрации хлористого водорода в виде аэрозоля к его концентрации в состоянии насыщения корректируют расход хладагента, подаваемого в конденсатор предыдущей степени охлаждения, при этом расход хладагента изменяют в зависимости от перепада температур между парогазовой смесью, измеряемой на выходе конденсатора предыдущей ступени охлаждения, и хладагентом на входе вымораживателя.