Устройство для управления технологическим процессом

 

УСТРОЙСТВО ДЛЯ УПРАВЛЕНИЯ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИМ ПРОЦЕССОМ по авт. св. № 924660, отличающееся тем, что, с целью повышения точности устройства , в него дополнительно введены два инвертора, второй генератор, второй и третий элементы совпадения, реверсивный счетчик и последовательно .соединенные цифроаналоговый преобразователь, второй усилитель и третий компаратор, выход которого непосредственно связан с вторым входом второго элемента совпадения и через один из инверторов - с входом третьего элемента совпадения, а второй вход подключен к источнику опорного напряжения, выход первого компаратора через второй и третий элементы совпадения соединен с входами реверсивного счетчика, выход которого соединен с цифровым входом цифроаналогового преобразователя, а через первый инвертор - с вторым входом первого элемента совпадения, аналоговый вход цифроаналогового преобразователя соединен с выходом первого усилителя, а второй генератор - с третьими входами второго и третьего элементов совпадения.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

3(50 G 05 В 11/01

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (61) 924660 (21) 3529751/18-24 (22) 03.01.83 (46) 23.04.84. Бюл. № 15 (72) А. С. Хайнацкий, Н. П. Кохан, В. М. Долгополов и В. В. Гусев (53) 62-50(088.8) (56) 1. Авторское свидетельство СССР № 924660, кл. G 05 В 11/01, 1981 (прототип) . (54) (57) УСТРОИСТВО ДЛЯ УПРАВЛЕНИЯ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИМ ПРОЦЕССОМ по авт. св. № 924660, отличающееся тем, что, с целью повышения точности устройства, в него дополнительно введены два инвертора, второй генератор, второй и третий элементы совпадения, реверсивный счетчик и последовательно соединенные цифро„„SU„„1087957 А аналоговый преобразователь, второй усилитель и третий компаратор, выход которого непосредственно связан с вторым входом второго элемента совпадения и через один из инверторов — с входом третьего элемента совпадения, а второй вход подключен к источнику опорного напряжения, выход первого компаратора через второй и третий элементы совпадения соединен с входами реверсивного счетчика, выход которого соединен с цифровым входом цифроаналогового преобразователя, а через первый инвертор — с вторым входом первого элемента совпадения, аналоговый вход цифроаналогового преобразователя соединен с выходом первого усилителя, а второй генератор — с третьими входами второго и третьего элементов совпадения. ф с

1087957

Изобретение относится к автоматике и может быть использовано в системах управления технологическими процессами.

По основному авт. св. Ме 924660 известно устройство, содержащее фотоэлемент, вых".д которого подключен через усилитель к первому входу первого компаратора, первый и второй ключи, первую и вторую RC-цепочки, сумматор, генератор, второй компаратор элемент совпадения, блок выделения максимума и аттенюатор, вход которого подклю- 1О чен через блок выделения максимума к выходу усилителя и к входам первого и второго ключей, а выход — к второму входу первого компаратора, выход которого соединен с первым входом элемента совпадения, 15 управляющие входы первого и второго ключей соединены соответственно с первым и вторым выходами генератора, а выходы— соответственно через первую и вторую

RC-цепочки с первым и вторым входами сумматора, первый и второй входы второго 2О компаратора соединены соответственно с выходами сумматора и источника опорного напряжения, а выход — с вторым входом элемента совпадения (1).

Недостатком известного устройства является наличие ложных срабатываний, выз- 25 ванных некоторыми особенностями процесса плазмохимического травления: запыление смотрового окна реакционной камеры, вызванное осаждением на поверхность стекла продуктов реакции; измерение степени разряженности в реакционной камере, вызванное нестабильностью натекания рабочих газов; изменение мощности ВЧ-генератора.

Влиянием этих факторов на точность работы устройства в ходе одного цикла обработки полупроводниковых пластин можно З5 пренебречь, ибо изменение интенсивности излучения продуктов реакции, на которое они влияют, достаточно мало. Однако при более длительном периоде работы влияние этих факторов приводит к появлению ложных срабатываний, т. е. к недостаточной 4о точности работы устройства.

Целью изобретения является повышение точности устройства.

Эта цель достигается тем, что в устройство дополнительно введены два инвертора, второй генератор, второй и третий элементы совпадения, реверсивный счетчик и последовательно соединенные цифроаналоговый преобразователь, второй усилитель и третий компаратор, выход которого непосредственно связан с вторым входом второго 5р элемента совпадения и через один из инверторов — с входом третьего элемента совпадения, а второй вход подключен к источнику опорного напряжения, выход первого компаратора через второй и третий элементы совпадения соединен с входами реверсивно- 55 го счетчика, выход которого соединен с цифровым входом цифроаналогового преобразователя, а через первый инвертор — с вторым входом первого элемента совпадения, аналоговый вход соединен с выходом первого усилителя, а второй генератор — с третьими входами второго и третьего элементов совпадения.

На чертеже изображена структурная схема устройства.

Устройство для управления технологическим процессом содержит фотоэлемент 1, первый усилитель 2, первый компаратор 3, схему 4 выделения максимума, аттенюатор 5, первый и второй ключи 6 и 7, первую и вторую RC-цепочку 8 и 9, сумматор 10, второй компаратор 11, первый элемент совпадения 12, первый генератор 13, первый инвертор 14, второй генератор 15, второй 16 и третий 17 элементы совпадения, реверсивный счетчик 18, цифроаналоговый преобразователь (ЦАП) 19, второй усилитель 20, третий компаратор 21, второй инвертор 22.

Устройство работает следующим образом.

После начала процесса на выходе фотоэлемента 1 повышается уровень сигнала, который через усилитель 2 поступает на входы блока 4 выделения максимума, первого компаратора 3 и аналоговый вход ЦАП

19, задачей которого является установление такого коэффициента усиления сигнала по аналоговому входу, который бы обеспечивал в момент времени срабатывания первого компаратора 3 равенство сигналов с выхода второго усилителя 20 и опорного сигнала на входе третьего компаратора 21. После этого полученное значение коэффициента усиления на ЦАП (который фиксируется с выхода реверсивного счетчика 18) фиксируется на постоянном уровне до окончания процесса. Происходит это следующим образом. В момент начала процесса запускается второй генератор 15, сигналы с которого через второй элемент совпадения 16 подаются на вход прямого счета реверсивного счетчика 18, в то время как первый элемент совпадения 17 закрыт логическим

«О» с второго инвертора 22. Напряжение на выходе второго усилителя 20 увеличивается до момента равенства опорному сигналу на выходе третьего компаратора 21. В этот момент сработает компаратор 21 и импульсы с второго генератора 15 будут поступать на вход обратного счета реверсивного счетчика 18 через первый элемент совпадения

17. Это будет продолжаться до момента срабатывания первого компаратора 3, когда элементы совпадения 16 и 17 закрываются, фиксируя тем самым коэффициент усиления ЦАП на постоянном уровне, а на вход элемента совпадения 12 через первый инвертор 14 поступает сигнал, подготавливающий систему к срабатыванию. Сигнал с выхода второго усилителя 20 дифферен1087957

Соста витель Г. Н ефедо ва

Техред И. Верес Корректор А. Зимокосов

Тираж 842 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП «Патент», г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Редактор С. Лыжова

Заказ 2672!44 цируется и при достижении определенного значения вызывает срабатывание второго компаратора 11. Дифференцирование происходит следующим образом. Сигнал с выхода второго усилителя 20 через первый и второй ключи 6 и 7 поочередно подается на первую и вторую КС-цепочки 8 и 9. На выходе сумматора 10 будет выделяться напряжение, пропорциональное производной.

Использование изобретения позволяет вести технологические процессы при одина5 ковых, фиксированных условиях, обеспечивающих существенное увеличение точности окончания процессов.