Способ изготовления многовитковых интегральных магнитных головок

 

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МНОГОВИТКОВЫХ ИНТЕГРАЛЬНЫХ МАГНИТНЫХ ГОЛОВОК, включающий масочное напыление на подложку первого магнитопровода , витков обмотки с изолирующими слоями, второго магнитопровода и контрольных меток, а также установку напыленной структуры в корпус и вскрытие рабочего зазора с контролем его глубины, отличающийся тем, что, с целью повышения экономичности процесса изготовления и процента .выхода годных интегральных головок, контрольные метки напыляют посредством дополнительных окон в масках в виде меток совмещения и меток для контроля обработки рабочей поверхности головок, причем метки совмещения напыляют одновременно с напылением соответствующего упомянутого функционального слоя и по толщине, и электромагнит ным параметрам равными параметрам соответствующих функциональных слоев , а метки для контроля обработки рабочей поверхности головок напыляют одновременно с напылением витков обмотки и изоляционных слоев, при этом контроль толщины и электромагнитных параметров напыленной структуры головки и выполнение пазов для визуального контроля высоты меток обработки рабочей поверхности головки в од (Л ном из полублоков корпуса осуществляют перед установкой блока в корпус.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

„„SU„„1103284

3 @ G 11 В 5/42

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ЮЦ@,ЦИц:: и ., 1 2

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3544943/18-10 (22) 26.01.83 (46) 15.07.84. Бюл. № 26 (72) И. М. Брызгин, В. А. Сагайдак, Л. Н. Герасимук и Е. А. Шейгас (53) 534.852.2 (088.8) (56) 1. Патент Японии № 53-690, кл. 102 Е

502, 1978.

2. Авторское свидетельство СССР № 838723, кл. G 11 В 5/42, 1979 (прототип) . (54) (57) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МНОГОВИТКОВЫХ ИНТЕГРАЛЬНЫХ МАГНИТНЫХ ГОЛОВОК, включающий масочное напыление на подложку первого магнитопровода, витков обмотки с изолирующими слоями, второго магнитопровода и контрольных меток, а также установку напыленной структуры в корпус и вскрытие рабочего зазора с контролем его глубины, отличаюи1ийся тем, что, с целью повышения экономичности процесса изготовления и процента ,выхода годных интегральных головок, контрольные метки напыляют посредством дополнительных окон в масках в виде меток совмещения и меток для контроля обработки рабочей поверхности головок, причем метки совмещения напыляют одновременно с напылением соответствующего упомянутого функционального слоя и по толщине, и электромагHHTHblM параметрам равными параметрам соответствующих функциональных слоев, а метки для контроля обработки рабочей поверхности головок напыляют одновременно с напылением витков обмотки и изоляционных слоев, при этом контроль толщины и электромагнитных параметров напыленной структуры головки и выполнение пазов для визуального контроля высоты меток об- @

O работки рабочей поверхности головки в одном из полублоков корпуса осуществляют перед установкой блока в корпус.

1103284

Изобретение относится к технике магнитной записи, а именно к способам изготовления головок.

Известен способ изготовления многовитковых интегральных магнитных головок, включающий последовательное нанесение на изолированную магнитную пластину проводящих и изолирующих слоев и формирование головки методом фототравления (1) .

Однако данным способом невозможно из. готовить геликоидальные интегральные магнитные головки с достаточно большим количеством витков обмотки.

Наиболее близким по технической сущности и достигаемому эффекту к предлагаемому является способ изготовления многовитковых интегральных магнитных головок, включающий масочное напыление на подложку первого магнитопровода, витков обмотки с изолирующими слоями, второго магнитопровода и, контрольных меток, а также установку напыленной структуры в корпус и вскрытие рабочего зазора с контролем его глубины (2).

Недостатком известного способа является низкая экономичность процесса изготовления и невысокий процент выхода годных интегральных головок, вызванных отсутствием возможности объективного контроля толщины и электромагнитных параметров напыленных слоев до операции вскрытия рабочего зазора головок, в результате чего операции вскрытия подвергались как годные, так и бракованные магнитные головки.

Кроме того, по известному способу сложно осуществить контроль меток обработки рабочей поверхности головок при операциях шлифования и вскрытия рабочего зазора.

Цель изобретения — повышение экономичности процесса изготовления и процента выхода годных интегральных головок.

Поставленная цель достигается тем, что согласно способу изготовления многовитко: вых интегральных магнитных головок, включающему масочное напыление на подложку первого магнитопровода, витков обмотки с изолирующими слоями, второго магнитопровода и контрольных меток, а также установку напыленной структуры в корпус и вскрытие рабочего зазора с контролем его глубины, контрольные метки напыляют посредством дополнительных окон в масках в виде меток совмещения и меток для контроля обработки рабочей поверхности головок, причем метки совмещения одновременно с напылением соответствующего упомянутого функицонального слоя и по толщине, и электромагнитным параметрам равными параметрам соответствующих функциональных слоев, а метки для контроля обработки рабочей . поверхности головок напыляют одновременно с напылением витков обмотки и изоляционных слоев, при этом контроль толщины и электромагнитных параметров напыленной структуры головки и выполнение пазов для визуального контроля высоты меток обработки рабочей поверхности головки в одном из полублоков корпуса осуществляют перед установкой блока в корпус.

На фиг. 1 изображена многовитковая интегральная магнитная головка, поперечное сечение; на фиг. 2 — часть полублока корпуса с выполненными в нем пазами.

Способ осуществляется следующим образом.

10

Изобретение позволяет снизить трудоемкость изготовления интегральных головок за счет своевременного выявления бракованных головок с тем, чтобы не подвергать их трудоемким операциям шлифования и вскрытия рабочего зазора, а также за счет упро55

На подложку 1 через маску напыляют первый магнитопровод 2 и одновременно с ним на подложку через отверстие в маске напыляют контрольный элемент 3, затем через маску напыляют изолирующий слой 4, который образует рабочий зазор, и одновременно с ним контрольный элемент 5. После этого через маску напыляют первый виток обмотки 6 и одновременно с ним контрольный элемент 7. Затем поочередно напыляют изолирующие и проводящие слои 8—

12 с одновременным поочередным напылением соответствующих им контрольных элементов 13 — 17. После этого напыляют второй магнитопровод 18 и одновременно с нимконтрольный элемент 19. В результате получают многослойную тонкопленочную структуру интегральной магнитной головки и разнесенные в плоскости подложки контрольные элементы, толщина и электромагнитные параметры которых соответствуют параметрам соответствующих им слоев интегральЗО ной головки. Сформированные на подложке контрольные элементы служат как для определения и отбраковки некондиционных напыленных структур, так и для контроля взаимного смещения слоев. После этого измеряют параметры каждого из напыленных

35 контрольных элементов и тем самым определяют параметры каждого из слоев напыленной многослойной структуры головки: толщину, коэрцитивную силу, поле анизотропии, магнитную проницаемость, перекос осей

4 анизотропии относительно заданного направления и другие параметры. Одновременно с напылением одного из проводящих слоев обмотки напыляют метки для контроля обработки рабочей поверхности головки в процессе вскрытия рабочего зазора. Подложку

45 со сформированной структурой интегральных магнитных головок устанавливают в корпус и вскрывают рабочий зазор, причем визуальный контроль меток обработки рабочей поверхности головки. осуществляют через выполненные в одном из полублоков корпуса пазь 20, ширина которых соответствует размеру меток обработки рабочей поверхности головки.

1103284

Составитель Ю.. Кузовлев

Техред И. Верес Корректор Г. Решетник

Тираж 575 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и оч крытий

113035, Москва, ж — 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП «Патент», г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Редактор М. Петрова

Заказ 4825 40 щения процесса вскрытия рабочего зазора и облегчения, процесса обработки рабочей поверхности головки при контролировании последних с помощью упомянутых меток через соответствующие пазы в одном из полублоко в.