Способ улавливания высокодисперсных частиц

 

1. СПОСОБ УЛАВЛИВАНИЯ ВЫСОКОДИСПЕРСНЫХ ЧАСТИЦ, вкл бчаюпщй насыщение газового потока парами воды с последующим укрупнением и осаждением частиц в зонес температурным градиентом , отличающийся VeM, что, с целью повышения степени улавливания частиц двуокиси кремния с размерами менее 0,05 мкм, в очищаемый поток перед подачей в зону с температурным градиентом вводят хлористый водород и .температурный градиент поддерживают в интервале 38 град/м. 2. Способ ПОП.1, отличающ и и с я тем, что температурный градиент поддерживают винтервапе57 град/м и насыщение парами воды ведут до 150-200 г/мз. о $ (Л с

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

NUWI

PECFMiЛИН р(д) В 01 Р 47/05

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

H ASXO Cv v CS xm CXev и: р

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМЙТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 3386302/23-26 (22) 08 ° 02.82 (46) 23.0?.84. Бюл. К- 27 (72) Л.Я.Шварцман, Н;В.Лейбенсон, А.И.Кравцов и А.И.Косарев (53) 621. 928. 97 (088. 8) (56) 1. Авторское свидетельство СССР

М- 210319, кл. В 01 D 47/04, 1963.

2. Авторское свидетельство СССР

Ф 546364, кл. В 01 D 47/05, 1975. (54)(57) 1. СПОСОБ УЛАВЛИВАНИЯ

ВЪ|СОКОДИСПЕРСНЪ|Х ЧАСТИЦ, включающий насыщение газового потока парами воды с последующим укрупнением и осаждени,SU.„1103 8 А ем частиц в зоне с температурным rpa" диентом, отличающийся тем, что, с целью повышения степени улавливания частиц двуокиси кремния с размерами менее 0,05 мкм, в очищаемый поток перед подачей в зону с температурным градиентом вводят хлористый водород и температурный градиент поддерживают в интервале 38 град/м.

2. Способ по п.1, о т л и ч а ю - шийся тем, что температурный градиент поддерживают в интервале 57 град/м и насыщение парами воды ведут до 150-200 г/м .

888 имение

150 Увеличи40 ваются габариты установки

150

150

1 1103

Изобретение относится к очистке

-газов от дисперсных частиц двуокиси кремния и может быть использовано в металлургической промьппленности при производстве полупроводниковых мате- 5 риалов.

Известен способ улавливания пыли из газового потока, включающий инжекционное контактирование жидкости с газом с последующим образованием пены газожидкостнн м потоком f1 ).

Способ не применим к улавливанию высокодисперсных частиц.

Наиболее близким к предлагаемому является способ улавливания высокодисперсных аэрозолей путем насыщения запыленного газового потока парами воды с последующими конденсационным укрупнением и осаждением аэрозольных частиц в зоне с температурным гради- 20 ентом 14-20 град/мм j.2).

Известный способ обеспечивает

997-ную степень улавливания частиц двуокиси кремния с размерами

0,05 мкм, однако степень улавливания более мелких частиц снижается до 20Х.

Цель изобретения — повьппение степени улавливания частиц двуокиси кремния с размерами менее 0,05 мкм.

Поставленная цель достигается согласно способу улавливания высокодисперсных частиц, включающему насыщение газового потока парами воды с последующим укрупнением и осаждением частиц в зоне .с температурным градиентом, в очищаемый поток перед нода35 чей в зону с температурным градиентом вводят хлористый водород и температурный градиент поддерживают в интервале 3-8 град/м.

Оптимально температурный градиент поддерживают в интервале 5-7 град/м и насыщение парами воды ведут до 150200 г/мз .

Отличие этого способа от известно45 го состоит во введении в очищаемый поток хлористого водорода перед подачей его в зону с температурным градиентом в интервале 3-8 град/м. Другое отличие состоит в том, что этот ин- тервал используют равным 5-7 град/м и насыщение парами воды ведут до 150200 г/м . пропускании газового потока в поле с температурным градиентом, куда одно" временно подают пары, происходит конденсация влаги на поверхности частиц и их укрупнение °

При температурном градиенте более

8 град/м и менее 3 град/м падает степень улавливания.

Пример. При паровом гидролизе в низкотемпературной плазме получили газовый поток, содержащий части" цы двуокиси кремния, 75Х которых имели размер « 0,02 мкм.

После создания в атмосфере потока

150 г/и и выдержки в атмосфере хлористого водорода загрязненный поток подавали в трубопровод с температурным полем, имеющим градиент

6 град/м. На этом участке частицы укрупнялись. Когда их размеры достигали более.5 мкм, газовый поток подавали в антициклон.

В табл.1 и 2 приведены результаты опытов с иными значениями температурного градиента и влажности.

Как следует из табл.1 и 2 предлагаемый способ позволяет повысить степень улавливания мелкодисперсных частиц до 40-92Х против 20Х в известном способе. При оптимальных режимах степень улавливания составляет 8992Х.

Таблица 1

150

150

150

На поверхности частиц двуокиси кремния образуется адсорбционный слой 5 хлористого водорода, который как бы притягивает влагу, улучшая смачиваемость частиц двуокиси кремния. При

3 1103888 .Таблица 2

Продолжение табл. 2

Э 4

200

210

59

150

Составитель Г.Винокурова

Редактор Е.Папп Техред А.Бабинец Корректор С.Черни

Заказ 5136/4 Тираж 682 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Иосква, Ж-35, Раушская наб., д.4/5

Филиал ППП "Патент", г,Ужгород, ул.Проектная, 4

54 Происходит конденса ция влаги в объеме, аппарат захлебывается