Раствор для травления меди
РАСТВОР ДЛЯ ТРАВЛЕНИЯ МЕДИ, преимущественно печатных плат, содержащий хлорную медь (П), хлорное железо (Ш), хлористый калий и соляную кислоту, отличающийся тем, что, с целью повышения качества травления печатных плат путем снижения подтравливания проводн1п :ов, он дополнительно содержит стержневой крепитель КОЗ и лигносульфонат при следующем соотношении компонентов, г/л; Хлорная медь (П) 150-350 Хлорное железо (Ш) 20-100 Хлористый калий 100-250 Соляная кислота40-50 Стержневой крепитель КОД 1,5-6 1-3 Лигносульфонат о S
СОЮЗ СОВЕТСНИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ
РЕСПУБЛИК.„Я0„„11 09476
3(5D С 23 Р 1/00; С 09 К 13/06//
Н 05 К 3/06
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
Н АВТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР
ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И OTHPbFHA (21) 3282599/22-02 (22) 24.02.81 (46) 23.08.84. Бюл. ¹ 31 (72) Ю.И.Наумов, Д.К.Юзефович, В.С.Епифанова, В.И.Кучеренко, В.Н.Флеров, А.M.Ïðàïoðîâ, В.П.Шустов и А.E.Ñû÷åâ (53) 62 1.794.42(088.8) (56) 1. "Обмен опытом в радиопромьппленности", 1975, № 4, с. 25.
2. РЖ "Коррозия и защита от коррозии", 1 970, ¹ 12, 12К167. (54)(57) РАСТВОР ДЛЯ ТРАВЛЕНИЯ МЕДИ, преимущественно печатных плат, содержащий хлорную медь (П), хлорное железо (Ш), хлористый калий и соляную кислоту, отличающийся тем, что, с целью повышения качества травления печатных плат путем снижения подтравливания проводников, он дополнительно содержит стержневой крепитель КОЗ и лигносульфонат при следующем соотношении компонентов, г/л:
Хлорная медь (П) 150-350
Хлорное железо (Ш) 20 — 100
Хлористый калий 100-250
Соляная кислота 40-50
Стержневой крепитель КО.J 1,5-6
Лигносульфонат 1-3
Изобретение от:-тос .(Тс))
ХИМИЧ ЕСК01 О ТТ)аВЛ«ЕНИЯ!! М(, Г(". !io«j
B частности 1(ед(:.3 "-(мо)(ет !):. Гь
3 О ванО lip!1 пзготовле iv!) Jip а : l ( с медью в качестве с»ье! f;Q. э «.::т;:.((,i, применяю(цихся В разт(!)гчн),с(-а1»ио е .-".. ческих, электротехни (еских гичных приборах и устройствах.
Известны растворы хло-)нэ)(:
КОХ ОРЫЕ ПР)(МЕНЯЮТС т(, (. )Л "(3 ГС"1 ()В (" 1: .!, печатных г;лат; 1 ).О»)на ЭТО ПрИ)ЗОдИт К НЕСТабИЛЬНОС гтн )IOCi", : .. са, больн)ому расходу реактивo, .:, по рям вытравленной меди, а )акл:» к з )а ч"тельным сбросам отработанны: ра воров. ЗЛЕ«КТРОХИМИт(ЕСКаЯ РЕГ«ЗНСРB!!11 В ХОДЕ КОтОРОй На КаТОДЕ (1:(т)1ЕКа. г ... стравленная медь, р. на аноде;".=.Pci!".рируется Ок)(слитель, позволяет в з :! чительнott степени устранить э Ги пе достатки, Однако проведение опера,-и травления в peIM)(Jiå с электр(:(I.»(:J÷еской регенерацией pBcTBopQH хлорно г.-. железа экономически оправдано )(и)(( при глубоком исто(цении травильпo! PBCTÂОPB., t(ÎÃÄB CI(OP QC Ь 11) т) ВЛЕ« и производительность ко..пл: c-" к(;i! Наиболее близк):и к изобретени! по техни-!Вской су()!вост).(яг:(яе :(.я РаСТВОР ". 2 ). СОГ(ЕР))(тт)Г«!И)1 Д)-!а («К-:,.,тс., (1 TPЛЯ ХЛО()НОЕ::((Е)IЕ =.C q . :. «, «( т Н т(Ю МЕд з (т .)C Lq; . ::..,г(OO«oi 1, Iия(() ЛЯНУIО КИС,Г)ОТ(ПР«тт) С,(! З! У(, .)B)(1))ен)(и ко; («п)опептoH,", I cC -„оН,0 )(0 ОЕ., 2((„C )! ii. КС (ЦОЕ ««ОТЯ BT!i P»J!. Гвс);,(,)!!) т! ЭЛЕ(3тр ОХИ «(И.т Е(К Ой,) Е ) Е т(Е-,).!",. i ) ХОД ПО ТОКУ В )(-) 3 З .".Iii )., !) =" C i . .Р НЕ ПРЕВ(т)()(аЕТ ),,"! ., (:) (гт ОР.;;.-;c!; ц(co елet(òr) охи.«)ич: (-;; -э)) раство)Q)3 и с ill) B "; прoi . По,:i. НОСТЬ ВС(1 )!i F ) тт))(! -(i!! J(«()т-.;, них пп (а! (!(!!. т:) (. !«г. ) . ) 1 !! « .:;! () (. т .(- ."»«п- =i- jjj ! " т 3 1 .! ! т " т, : (iii! i т тс. (т, тт ; О:( т i I (. :О.) ., (ЗГ:З()т,!;=! 1;)1; . О(.-- : (. j re!)1! 1. (! б ()чи:; (.г! О Tiio . .1: " . „пр ) :. B;Cr,)O)(«т :„. ЕС);О)! Р: (. ):-.!;-«)1 т!. С(С— -. )= ).(! П ) ", Г !(«,, " т),)т! ! ) ";. (); Г -т-:)":") ; i .!J;О- J il ) г.; )- О--,-К 1 Едос ГтlТI(B! ; !1ЗВЕ! .Тl(О(Г ) OTÍOCÅTCJt ГО, 1 ;. fii:1 ";!»1)Б1З !1-. TPB Br(If f3B(()Toß i PO1«OC(т1) ();! . «1" . - )" ">)Х ПЛат. КРОМЕ тОГф Зги.".. !)П("г«3(), ! !.! 1 У(.таНОВКаХ ЭГ(ЕКТГ«ОХ((М) 3--то;;;-, ра)(т("1 Н," тт!ав, я )(О«1-т"i.") » ОСВДКОВ (JB 7!! а JIO(3(тс» Ка ОЦ ) "" приводит к усложнс пнв .()И<","т)-,:, (. регенерато)ЗП ((с)i i;;; н1п!) i!!()О(: г(, тельност)-: «р(-(), с .--: гравле i!;.110 ;-,РС ВРO;«1-, цу —:, От;O-»Леп "-,ава;-; О 1 Хоа»»итra Д-,»1»ТЕЛЬС Оо,1 1 С . —,,а э с с В 1 С ., ЗО»сс »г ,л ос» —,1-;1»й паr —; 1,0-, »-, пя » рgÿ в 1»ен ttя 1»e-I i ч сгзвж»»е л го " ;o зпи еля КО " ли» " НОС l» (»01»а а позвО:IHeT г»ОЛ Л»эт"; 1»0 " Па»СТНЬ1Е Оса Ки 1 Е 1". На тнтаНО 0 i катоде - ð » элок-.pîõèìè÷åñêîé егене0 рации раствора при плОтнОсти ТО»са 2 25 /Лм - и температуре 20-lt0"С. Действие 1 ако» -либо единой добавки г отдельности является недостаточньг»., Так, введенле в железомеднохлоридный раствор только стержневого крспителя приводит к образованию ко»п»акт»»ого осадка на титгновом катоде при температуре до 30 С и плотности тока 2 — 20 Л/дь»" - а лигносульфоната — при температуре до 40 С и пло-ности тока ?--10 Л/дм . Нижние предепы количеств вводиьявс стерж»»евогo крепителя КОЭ (1,5 г/л) и лигносульфоната (1 г/л) ограничиваются видом осадка, когда образуется моногплтный катоцный осадок меди, а верхние пределы (6 и 3 г/л соответственно) — снижением скорости травления и ухудщением качества изВЕЛ »й Верхние пределы вводлмых в раствор хло" íîé меди, хлорного железа и хлорного калия ограничены пределами растворимости указанных кампонентотв,, а нижние обусловлены снижен» еМ скоростей травления и производительностью операции. уь-.еньг»ение ко»»пентрации соляной кислоты;»елее 30 г/л приводит к .-.идоатообв".ço-::à"";;---- =-.. ю и ".Оявлению в ваствостать при .::-»ной пробоя фогорезиста и брака гечатнь-.:.. Плат. Увеличение со9476 ф : ср»сан» я соляной к»»с.- оты бог»ес 60 1 /JI огра»н»чена летучестью . лорис гого водорода и загр".знением окружающей атмосферы. П р 1» м е р 1. Готовят раствор состава, .г /:»-: Мажорное железо (Уес(» *6Н О) 45 " »орная медь (Co C(: 2Н,, 0) 280 Со.1яная кислота л 2 X.- ористый калий 175 Стержневой крепитель КОЭ 1, 5 Л»»г нос льфОнат 3 Образец из меди в виде t;.Ititá»I QBx 42НЯ мм), закрепленнь»й в специальную оплавку, помещают в ячейку с раствором указанного состава объемом 250 мл таким образом, чтобы в соприкосновение с электролитом входила наружная цилиндрическая поверхность образца. В течение 10 мин при 30 С образец подвергают травлению, а затем по разности t»ec OI» образца до и после травления определяют скорость травления. Далее раствор подвергают электролизу для регенерации прн различных плотностях тока. Оказалось, что 5О при плотности тока не более 16 Л/пм2 на титановом катоде образуется компактный осадок. Одновременно определяют выхоп по току по мели путем сравнения осажденного количества меди с. количеством меди, тес ретически максимально возможным. Примеры 2 — 5 осу»»»ествляют аналогично примеру 1, меняя в растворе для травления меди количества вновь вводимых добавок — стержневого кре40 пителя КОЭ и лигносульфоната и их c0oтношение. Данные сведены в табли1(09476 I ре ! о 1 о 1:Е I ц 1 (б И k(clI v о >и х (-» о х (-» (— (а1 М 1 л d! Е Х 1 иХ I о х йЕ о д а о ю а 1 Ж И 1 Ц Р1 О! а Е и и о а Ь о У о с> с1 и (3 Е» х И Ф Е» а <б х х о >х я» о Р Э о а, х с>» а c, o () (: (>л 6 а о Р Е.» и cd а! э Еъ> »») C»> o o! 6 3 o o х м » ) I I 1 о I о I а 1 И 2 õz I cd а л Е cd I I Г о х ! 1=, х ) ) I Х х 5 Е» Е ,а 1 v о к а х о х х е О ) о î о о — — o С4» C) С> Е х И Q) о! х х о )х Е! о Kl (0) х и с С>э а х о м )> 6 х о Л 1109476 Ц 1 ! » Ф ф а 1 о л ъ Х о 1» о А Р Б Е» о Х о П с а о И и о C) СЧ о х и х 1» 1 Е и o a o e сО л c»!»вЂ” Ц Г» л 1 cd а о Ф ! » ccj а Х о Я cd Ю о tf с ) о Q) QJ с с Р cd E о о O с> =! O о м о о c: о k(Х 1 Ф1 1 1 — — -4 5 5 а Е л х 1 v Х о х Ц 1 Х 1(о m к а о в а х х х И I Д t(а I lQ о I Pi v I и 1 1 х о х а! (б 1 х е Ц Х Р Е а л 1 E. cd! tf Х а л СЧ С4 » А cQ х Е 1 и (У Е» о а и о ЭЯ о 2 l4 Г Д Q) о Е а х х О O N О 1 со - л Г4
