Устройство для поверки электромагнитного толщиномера покрытий

 

1. УСТРОЙСТВО .ДЛЯ ПОВЕРКИ ЭЛЕКТРОМАГНИТНОГО ТОЛЩИНОМЕРА ПОКРЫТИЙ , содержащее основание, установленный на нем кронштейн для крепления преобразователя тол1циномера, основную металлическую подложку, расположенную на основании, и микрометрический винт, отличающееся тем, что, с целью повьш1ения точности, оно снабжено дополнительной металлической подложкой, основная и дополнительная металлические подложки выполнены клиновидными и сопряжены наклонными поверхностями так,- что их стороны противоположные сопряженным-, параллельны , преобразователь закреплен на кронштейне перпендикулярно параллельной стороне дополнительной подложки, последняя подпружинена вдоль оси преобразователя толщиномера, а.основ«Л ная подложка связана с подвижной частью микрометрического винта и установлена с возможностью возвратнопоступательного перемещения по основанию перпендикулярно оси преобразователя толщиномера. 7/ Ю i IOOOOOOQ о у ооооо oooooi

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК

„„Я0„„1112225 А (51) Q 01 В 7/06

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

llG ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ

1;.

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ (54)(57) 1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОВЕРКИ

ЭЛЕКТРОМАГНИТНОГО ТОЛЩИНОМЕРА ПОКРЫТИЙ, содержащее основание, установК ABTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 3623571/25-28 (22) 14.07.83 (46) 07.09.84. Бюл . У 33 (72) Д.И, Косовский, Ф.И. Конжуков, А.Д. Подречнев и В.П. Прудовский (71) Научно-исследовательский институт интроскопии

I (53) 531.717.11(088.8) (56) 1. Поверка мер и механических приборов для .измерения длин и углов.

Сборник инструкций. M., Изд-во Государственного комитета стандартов мер и измерительных приборов СССР, 1965, с. 598.

2. Грешников В.А. Поверка некоторых типов электромагнитных толщино-, меров покрытий с использованием воздушного зазора. — "Измерительная техника", 1916, У 5 (прототип). ленный на нем кронштейн для крепления преобразователя толщиномера, основную металлическую подложку, расположенную на основании, и микрометрический винт о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения точности, оно снабжено дополнительной металлической подложкой, основная и дополнительная металлические подложки выполнены клиновидными и сопряжены наклонными поверхностями так,: что их стороны противоположные сопряженным; параллельны, преобразователь закреплен на кронштейне перпендикулярно параллельной стороне дополнительной подложки, последняя подпружинена вдоль оси преобразователя толщиномера, а.основная подложка связана с подвижной частью микрометрического винта и установлена с возможностью возвратнопоступательного перемещения по основанию перпендикулярно оси преобразователя толщиномера.

1112225

2. Устройство по п. 1, о т личающееся тем, что, с целью расширения диапазона повеИзобретение относится к измерительной технике, а именно к метрологическому обеспечению электромагнитных приборов, измеряющих толщину покрытий, и может быть применено в 5 различных областях машиностроения.

Известно устройство для поверки электроконтактного датчика, содержащее кронштейн, датчик, подвижныи

Г „.10 стол, клин и отсчетное устроиство (1).

Устройство позволяет достаточно точно осуществлять поверку датчика, однако не может быть применено для. поверки электромагнитных толщиномеров покрытий.

Наиболее близким по технической сущности к изобретению является устройство для поверки электромагнитного толщиномера покрытий, содержащее основание, установленный на нем кронштейн для крепления преобразователя толщиномера, основную металлическую подложку, расположенную на основании, и микрометрическии винт Г„ ).

Г„2).

Однако известное устроиство обла- 25 дает недостаточной точностью, поскольку измерения в диапазоне толщин покрытий до 10 мкм характеризуются значительной погрешностью (до 20X).

Цель изобретения — повышение точ- jg ности, I

Поставленная цель достигается тем, что устройство для поверки, электромагнитного толщиномера покрыМ тий, содержащее основание, установленный на нем кронштейн для крепле" ния преобразователя толщиномера, основную металлическую подложку, расположенную на основании, и микромет40 рический викт, снабжено дополнительной металлической подложкой, основная и дополнительная металлические подложки,выполнены клиновидными и сопряжен ы наклонными поверхностями так, что

45 их стороны, противоположные сопряженным, параллельны, преобразователь ряемых толщин, сопрягаемые поверхности подложек выполнены многогранными. закреплен на.кронштейне перпендикулярно параллельной стороне дополнительной подложки, последняя подпружинена вдоль оси преобразователя толщиномера, а основная подложка связана с подвижной частью микрометрического винта и установлена с возможностью возвратно-поступательного перемещения по основанию перпендикулярно оси преобразователя толщиномераэ

С целью расширения диапазона поверяемых толщин сопрягаемые поверхности подложек выполнены многогранныМИ.

На чертеже представлено устройство для поверки электромагнитного толщиномера покрытий.

Устройство для поверки электромагнитного толщиномера покрытий содержит основную металлическую клиновидную подложку 1, расположенную на основании 2 и дополнительную металлическую клиновидную подложку 3.

Основная и дополнительная металлические подложки 1 и 3 сопряжены наклонными поверхностями таким образом, что их стороны, противоположные сопряженным, параллельны. Преобразователь 4 закреплен на кронштейне 5 перпендикулярно параллельной стороне дополнительной;подложки 3. Устройство ,содержит также втулку 6 и пружину 7 для обеспечения вертикального перемещения дополнительной металлической подложки 3, а для обеспечения возвратно-поступательного перемещения по основанию 2 перпендикулярно оси преобразователя 4 толщиномера — микP ометричеЬкий винт 8 с отсчетной шкалой, толкатель 9 микрометрического винта, направляющий стержень 10 и пружину 11.

Горизонтальное перемещение основной металлической подложки 1„ измерительная поверхность которой наклоне1112225 на относительно вертикальной оси преобразователя 4, позволяет многократно уменьшить погрешность поверки толщиномера при контроле покрытий малой толщины (до 10 мкм), наиболее широко применяемых для защиты изделий. Это объясняется тем, что для изменения воздушного зазора h между преобразователем 4 и измерительной поверхностью дополнительной подложки 10

3 основная подложка должна быть пе- ремещена на расстояние в и раз большее. Таким образом, точность перемещения подложки 1 характеризуется в и раз меньшей погрешностью установления необходимой величины воздушного зазора h

Поверка электромагнитного толщиномера покрытий осуществляется следующим образом. 20

На основании 2 устанавливают основную металлическую подложку 1 длиной и мм. При этом толкатель 9 . микрометрического винта 8 выдвинут, на максимально возможную длину, а показание его шкалы соответствует началу отсчета. Преобразователь 4 толщиномера устанавливают без зазора на дополнительную металлическую подложку 3 и в этом положении фиксируют начальное показание толщиномера пОкрытий. Вращением барашка микрометрического винта 8 уменьшают длину выдвижения его толкателя 9 и соответст -. венно в этом направлении по основанию под действием пружины 11 смещается основная подложка 1. Дополнительная подложка 3 под действием пружины

7 прижимается к основной подложке 1, и в результате образуется зазор h между подложкой 3 и преобразователем

4. Величина зазора и определяется по формуле

h =1 tgk

45 где 1 — показание по отсчетной шкале микрометрического винта; . 4 — угол наклона сопрягаемой по1 верхности основной металлической подложки 1.

Сопоставляя значения получаемых зазоров и между преобразователем 4 и дополнительнбй подложкой 3 и показа ния толщиномера покрытий; судят о 55 его точностных. характеристиках в соответствующем диапазоне измерений.

При поверке электромагнитного толщиномера в другом диапазоне на основании устанавливают основную подложку

3, имеющую другой угол наклона сопрягаемых поверхностей и длину ф, и повторяют все операции аналогично и в том же порядке, что и в первом диапазоне.

Выполнение сопрягаемых поверхностей подложек 1 и 3 многогранными позволяет поверять толщиномеры покрытий в различных диапазонах беэ увеличения при этом линейных размеров используемых подложек и, следовательно, без увеличения размеров самого устройства.

Например, для поверки метрологических параметров толщиномера покрытий контролирующего покрытия в пределах 0-0,1 мм наклон измерительной поверхности основной подложки 1 должен быть таким, чтобы изменение зазора h в пределах 0 — 100 мкм между этой поверхностью и преобразователем

4-обеспечивался, например, перемещением основной подложки 1 в горизонтальном направлении на 25 мм. Тогда для изменения зазора b на 1 мкм основная подложка 1 должна быть перемещена на расстояние в 250 раэ большее, т.е. на 0,25 мм. Перемещение и контроль горизонтального перемещения основной подложки 1 осуществляется микрометрическим винтом 8. В качестве микрометрического винта 8 можно применять микрометры с ценой делений

0,01 мм, что позволяет очень точно устанавливать необходимые значения зазоров и между дополнительной подлож" кой 3 и преобразователем 4. Таким образом, погрешность выставления минимального зазора, равного 1 мкм, что является наиболее трудным, не превышает величины 2Х, в то время как в известном устройстве выставление того же зазора характеризуется погрешностью, равной 207..

Если выполнять сопрягаемые поверхности подложек 1 и 3 одногранными, то для получения зазоров в пределах до 2 мм длина основной подложки 1 должна соответствовать 500 мм. Для уменьшения длины подложки 1 и возможности получения зазоров в диапазоне

О, 1-2 мм необходимо, чтобы наклон сопрягаемых поверхностей подложек 1 и

3 бып большим, чем при получении зазора в диапазоне 0-0,1 мм. Общая длина подложки 1 для получения зазо1112225

Составитель И. Рекунова

Редактор Т. Кугрышева Техред М.Надь Корректор М, Максимишннец

Заказ 6445/27

Тираж 586 Подписное

ЯНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ПИП "Патеят", r. Ужгород, ул. Проектная, 4

5 ров b в диапазонах О-О, 1 мм и О, 12 мм составит 75 мм.

Изобретение позволяет повысить точность измерений при поверке электромагннтного-толщиномера покрытий, а

1 также расширить диапазон поверяемых толщин без значительного увеличения при этом размеров устройства.

Устройство для поверки электромагнитного толщиномера покрытий Устройство для поверки электромагнитного толщиномера покрытий Устройство для поверки электромагнитного толщиномера покрытий Устройство для поверки электромагнитного толщиномера покрытий 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к измерительной технике и может найти широкое применение в системах неразрушающего контроля и измерений толщины пленочных покрытий

Изобретение относится к области измерительной техники, в частности к области измерения геометрических размеров плоских изделий, и может быть использовано при измерении толщины плоских изделий из диэлектриков, полупроводников и металлов, в том числе полупроводниковых пластин, пластических пленок, листов и пластин

Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для контроля толщины металлических покрытий в процессе их образования, например, на металлических деталях, в частности, при нанесении покрытий из паровой фазы пиролитическим способом

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для определения деформирующей способности технологических остаточных напряжений в поверхностном слое изделий из металлов и сплавов с различными электромагнитными свойствами

Изобретение относится к неразрушающим методам контроля качества и геометрических размеров изделий и может быть использовано для измерения толщины проводящих покрытий
Изобретение относится к электронной технике и электротехнике и может быть использовано, в частности, в качестве датчиков магнитного поля или тензодатчиков

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано для измерения толщины различных покрытий на цилиндрических металлических основах

Изобретение относится к измерительной технике, а более конкретно к методам и техническим средствам для контроля толщины твердых и полутвердых защитных покрытий, изоляционных слоев, жировых отложений, смазочных и лакокрасочных пленок на электропроводящей, в частности, металлической основе
Наверх