Вакуумная установка для нанесения покрытий

 

ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ, содержащая корпус рабочей камеры, откачной патрубок, фланец с патрубкоми эакрепленными на одной его стороне испарителями и подложкодержателями, установленный с возможностью возвратно-поступательного и вращательного движений, отличающаяся тем, что, с целью повышения производительности , она снабжена дополнительным патрубком с испарителями и подложкодержателями , закрепленными на противополоя ной стороне фланца, причем дополнительный патрубок установлен на флаице соосно основному

СОЮЗ COBETCHHX

00UW

РЕСПУБЛИК

ИЮ 00

3459 С 23 С 13/12

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ЛЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

/ (21) 3372785/24-21 (22) 18. 12. 81 (46) 23,. 11. 84. Бюл. У 43 (72) А.Б.Димант, Ю.С.Трушин, Ф.А.Глускин и N.Â.Åãîðîâ (71) Научно-исследовательский и экспериментальный институт автомо" бильного электрооборудования и автоприборов (53) 621. 793. 14 (088. 8) (56) 1. Каталог фирмы "Leybold-Heraens", Вакуумная технология, Уста..новка модели А 650 В 2 К, 1978, с.4.

2. Nachtrichfentechnik, 18, Н.З, S. 18, 1968 (прототип). (54)(57) ВАКУУИНАЯ УСТАНОВКА ДЛЯ НА"

НЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ, содержащая корпус рабочей камеры, откачной патрубок, фланец с патрубком и закрепленными . на одной его стороне испарителями и подложкодержателями, установленный с возможностью возвратно-поступательного и вращательного движений, о т л и .ч а ю щ а я с я :тем, что, с целью повышения производительнос. ти, она снабжена дополнительным пат" рубком с испарителями и подлоакодержателями, закрепленными на противоположной стороне фланца, причем дополнительный патрубок установлен на фланце соосно основному, е

112529

Изобретение относится к нанесению покрытий в вакууме и может быть использовано в оптической и автомобильной промышленности для нанесения отражающих покрытий осветительных устройств, например, на рефлекторы. автомобильных фар, фонарей, светильников.

Известна однокамерная установка для нанесения покрытий в вакууме, 10 содержащая рабочую камеру, соединенную со средствами откачки, испарители и кассеты для размещения изделий крышку с фланцем и механизмом перемещения фланца вдоль оси камеры (1) . 1

Недостатком указанной установки является низкая производительность из-sa потерь времени, связанных с подготовкой камеры между рабочими циклами в момент загрузки-выгрузки изделий и доэагрузкой испарителей.

Наиболее близкой к изобретению является вакуумная установка для нанесения покрытий, содержащая корпус рабочей камеры, систему от" качки и фланец с патрубком и закрепленными на одной его стороне испарителями и подложкодержателями, причем фланец установлен с возмож" ностью возвратно-поступательного перемещения вдоль оси камеры и вращательного движения относительно своей оси (2) .

Недостатком известной установки является недостаточно высокая про35 изводительность, обусловленная потерями времени на подготовку камеры к новому циклу работы.

Цель изобретения — повышение производительности установки.

Поставленная цель достигается тем, что вакуумная установка для. нанесения покрытий, содержащая корпус рабочей камеры, откачной патрубок, фланец с патрубком и закреп ленными на одной его стороне испа. рителями, установленный с возможностью возвратно-поступательного и вращательного движений, снабжена дополнительным патрубком с испарите50 лями и подложкодержателями, закрепленными на противоположной стороне фланца, причем дополнительный патрубок установлен на фланце соосно основному.

На фиг. 1 представлена принципиальная схема вакуумной установки; на фиг. 2 — то же, вид сбоку. о 2

Вакуумная установка для нанесения покрытий содержит корпус рабочей камеры 1, соединенный с откачным патрубком 2 и патрубком 3, закрепленным на фланце 4. На одной стороне фланца 4 установлены испарители 5 и подложкодержатели 6, снабженные приводом планетарного вращения.

Фланец 4 снабжен также механизмом 7 для поворота вокруг своей оси (вращения) и механизмом 8 для возвратнопоступательного перемещения по направляющим 9 вдоль оси камеры. Иепротивоположной стороне фланца 4 соосно основному патрубку 3 герметично . установлен дополнительный патрубок

10 с испарителями 11 и подложкодержателями 12, также смонтированными с возможностью их планетарного вращения.

Установка для нанесения покрытий работает следующим образом.

Фланец с загруженными испарителями 5 и подложкодержателями 6 с помощью механизма 8 перемещения устанавливается в положение А. После откачки рабочей камеры 1 осуществляется процесс металлиэации изделий, закрепленных в подложкодержателях 6 путем испарения материала испарителей

5 на предварительно очищенные в тлеющем разряде обрабатываемые поверхности изделий. После разгерметизации камеры 1 фланец 4 по направляющим 9 отходит на позицию в положение Б, поворачивается вокруг своей оси механизмом 7 вращения и подходит к рабочей камере 1 дополнительным патрубком 10, вновь занимая положение А. Цикл обработки изделий повторяется.

Во время обработки очередной паргии изделий в патрубке 3, оказавшимся после поворота разгерметизированным, осуществляется разгрузка обработанных изделий и доэагруэка испарителей 5, чем сокращается время на подготовку установки к работе и, соответственно, повышается ее производительность. Кроме того, загрузка — разгрузка подложкодержателей производится всегда в одном и том же положении А, что удобно для автоматизации погрузочно-разгрузочных работ, также снижающих потери ра бочего времени. Такая компоновка установки облегчает ее встраивание в автоматическую линию.

1125290

Составитель С.Мирошкин

Редактор Н.Бобкова ТехредМ.Гергель .Корректор С. Черни

Заказ 8439/20 Тираж 899 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д.4/5

Филиал ППП "Патент", г.ужгород,ул.Проектная,4