Криогенный конденсационный насос

 

КРИОГЕННЫЙ КОНДЕНСА1ЩОННЫЙ НАСОС по авт.св. № 392268, отличающийся тем, что, с целью сокращения времени достижения предельного вакуума, кольцевая диафрагма имеет отверстие с клапаном принудительного действия.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (ц F 04 В 37/08

ГОСУДАРСТВБИНЫЙ КОМИТЕТ СССР

IlO ДЕЛАМ ИЭЯБРЕТЕКИЙ И ОТКРЫТИЙ

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСНОМЪ СЕИДЕ1ГЕЛЬСТВУ (61) 392268 (21) 3657666/25-06 (22) 28.10 ° 83 (46) 23.11.84. Бюл. №- 43 (72) И.Д.Абушенков, В.К.Чернецкий и В.Я.Ильмчев (71) Физико-технический институт низких температур АН Украинской ССР (53) 621.528.1(088.8) (56) 1 ° Авторское свидетельство СССР

¹ 392268, кл. F 04 В 37/08, 1971.

ÄÄSUÄÄ 1125403 А (54) (57) КРИОГЕННЬЙ КОНДЕНСАЦИОННЬ}Й

НАСОС по авт.св. ¹ 392268, о т л ив ч а ю шийся тем, что, с целью сокращения времени достижения предельного вакуума, кольцевая диафрагма имеет отверстие с клапаном принудительного действия.

1125403

Составитель O.ÒHøèèà Редактор Г.Волкова Техред N.Íàäü Корректор O. Билак

Заказ 8512/26 Тираж 623 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д.4/5

Филиал ППН "Патент", г,ужгород, ул.Проектная. 4

Изобретение относится к вакуумной технике.

По осйовному авт„св, Ф 392268 известен криогенный конденсационный насос, содержащий корпус с размещенным в нем внутри охлаждаемого экрана откачивающим элементом, выполненный в виде сосуда, заполненного жидким газом, например гелием. В зоне днища сосуда установлена с минимальным за- 10 зором кольцевая диафрагма, имеющая тепловой контакт с экраном 1).

Недостатком известного криогенного конденсационногс насоса является значительное время достижения пре- 15 дельного вакуума, вследствие длительного процесса переконденсации газа через узкую кольцевую щель между диафрагмой и днищем сосуда, чтс влияет a снижение эффективности откачки. 2п

Целью изобретения является сокращение времени достижения предельного

:.:акуума.

Указанная цель достигается тем, -;:то в криогенном конденсационном на- 25 сосе, содержащем корпус с размещенным н нем внутри охлаждаемого экрана откачинающим э=.ементом выполненным,в виде осуда, заполненного жидким газом, например гелием, установленную в зоне днища сосуда с минимальным зазорам кольцевую диафрагму, имеющую тепловой контакт с экраном, кольцевая диафрагма имеет отверстке с клапаном принудительного действия.

На чертеже изображен предлагаемый насос.

КриогенньпЪ конденсационный насос содержит корпус 1 с размещенным в нем внутри охлаждаемого экрана 2 от40 качивающим элементом, выполненным в виде сосуда З„заполненного жидким газом, например гелием. В зоне днища сосуда 3 установлена с минимальным зазором кольцевая диафрагма 4, имеющая тепловой контакт с экраном 2.

Кольцевая диафрагма 4 снабжена отверстием 5 с клапаном 6 принудительного действия. Залив жидкого газа осуществляется через патрубок 7.

Насос работает следующим образом.

Через патрубок 7 в сосуд 3 заливают ожиженный газ. 0ткачиваемый газ конденсируется на днище сосуда 3, имеющем наименьшую температуру.

В первоначальный период откачки, когда в откачиваемом объеме (на чертеже не показан) имеется повышенное давление газа, часть газа все же проникает через узкий кольцевой зазор между диафрагмой 4 и днищем и конденсируется на участках сосуда 3, у которых более высокая температура,чем самая низкая температура его днища.

По мере понижения давления в откачиваемом объеме происходит перекачка газа, первоначально сконденсировавшегося на относительно теплых поверхностях, через кольцевой зазор на наиболее холодную поверхность сосуда 3 (его днище).

Для того, чтобы сократить время переконденсации газа, в момент дости>кения давления в откачиваемом- объеме до величины 1 l0"3-1 .10 мм.рт.ст. открывается отверстие 5.

Поскольку отверстие 5 имеет достаточно большую площадь (в сотни раз превышающую площадь кольцевого зазора), то через него происходит ускоренная перекачка газа, ранее сконденсировавшегося на более теплых поверхнсстях сосуда 3, на днище этого сосуда. !

Таким образом. выполнение отверстия в кольцевой диафрагме позволяет значительно ускорить процесс переконденсации газа, а следовательно, повысить эффективность откачки,