Криогенный вакуумный насос

 

КРИОГЕННЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС, содержащий корпус и размещенный в нем внутри охлаждаемого экрана откачивающий элемент, выполненный в виде сосуда с криагентом, отличающийся тем, что, с целью повыщения быстроты откачки, сосуд снабжен .гофрированной вставкой, прижатой к его внутренней боковой поверхности при помощи распорных колец с. образованием вертикальных каналов и имеющей с наружной стороны покрытие из теплоизоляционного материала.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (19) (11) 1076621 A

g(g1) F 04 В 37/08

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н ABTOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ

1 cia

CO 3 (:Ь

1Ь

К) ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

IlO ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3549014 25-06 (22) 04.02.83 (46) 28.02.84. Бюл. № 8 (72) В. И. Иванов, А. Д. Шнырев, Г. Д. Мартынова и Н. Е. Алексеева (71) Ленинградский орде Трудового Красного Знамени технол еский институт холодильной промышл(и (53) 621.527. 8 (088.8) (56) 1, Авторское свидетельство СССР № 964226, кл. F 04 В 37/08, 1981.

2. Патент США № 3364654, кл. 62-55.5, опублик. 1968. (54) (57) КРИОГЕННЫЙ ВАКУУМНЪ|И

НАСОС, содержащий корпус и размещенный в нем внутри охлаждаемого экрана откачивающий элемент, выполненный в виде сосуда с криагентом, отличающийся тем, что, с целью повышения быстроты откачки, сосуд снабжен .гофрированной вставкой, прижатой к его внутренней боковой поверхности при помощи распорных колец с. образованием вертикальных каналов и имеющей с наружной стороны покрытие из теплоизоляционного материала.

1

Изобретение относится к вакуумной технике.

Известен криогенный насос, содержащий корпус и откачивающий элемент (11.

В известном насосе обеспечивается интенсивное охлаждение только части поверхности откачивающего элемента, что ограничивает быстроту действия насоса, Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности и достигаемому результату является криогенный вакуумный насос, содержащий корпус и размещенный в нем внутри охлаждаемого экрана откачивающий элемент, выполненный в виде сосуда с криагентом (2).

При снижении уровня криагента режим кипения в известном насосе переходит в пленочный, вследствие чего резко уменьшается коэффициент теплоотдачи, что ведет к снижению быстроты откачки.

Цель изобретения — повышение быстроты откачки.

Указанная цель достигается тем, что в криогенном вакуумном насосе, содержащем корпус и размещенный в нем внутри охлаждаемого экрана откачивающий элемент, выполненный в виде сосуда с криагентом, сосуд снабжен гофрированной вставкой, прижатой к его внутренней боковой поверхности при помощи распорных колец с образованием вертикальных каналов и имеющей с наружной стороны покрытие из теплоизоляционного материала.

На фиг. 1 изображен предлагаемый насос продольный разрез; на фиг. 2 — разрез А-А на фиг. 1.

Криогенный вакуумный насос содержит корпус 1 и размещенный в нем внутри охлаждаемого экрана 2 откачивающий эле076621 мент, выполненный в виде сосуда 3 с криагентом. Сосуд 3 снабжен гофрированной вставкой 4, прижатой к его внутренней боковой поверхности при помощи распорных колец 5 с образованием вертикальных каналов 6 и имеющей с наружной стороны покрытие 7 из теплоизоляционного материала.

Насос работает следующим образом.

После откачки полости насоса до давления ниже 100 Па в полость экрана 2 за10 ливают жидкий азот, а в откачивающий элемент — более низкотемпературный криагент, например, жидкий гелий. Откачиваемый газ проходит к сосуду 3 и конденсируется на его днище и боковых стенках.

Отдаваемая откачиваемым газом теплота вызывает кипение криагента в каналах 6.

Образующиеся отдельные мелкие пузырьки пара сливаются в крупные и течение потока приобретает поршневой характер. При этом каждый паровой поршень двигает перед собой жидкостную пробку.

Поскольку плотность криагента в каналах 6 меньше, чем в самом сосуде 3 откачивающего элемента, то циркуляция не прекращается и по мере снижения уровня жидкого

25 гелия в сосуде 3.

Таким образом, обеспечивается интенсивное охлаждение боковых стенок откачивающего элемента циркулирующим жидким гелием, кипящим по всей высоте каналов 6. Покрытие из теплоизоляционного ма30 териала ? уменьшает отвод теплоты от стенок каналов 6 и тем самым повышает в них интенсивность циркуляции парожидкостной смеси криагента, а следовательно, и интенсивность охлаждения боковых стенок откачивающего элемента.

Составитель О. Тишина

Редактор Ю. Ковач Техред И. Верес Корректор М. Шароши

Заказ 704/31 Тираж 624 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий! 13035, Москва; )К вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП «Патент», г. Ужгород, ул. Проектная, 4