Способ изготовления акусто-оптических устройств

 

1. СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ АКУСТООПТИЧЕСКИХУСТРОЙСТВ, включающий подготовку . поверхностей акустооптического кристалла и пьезопреобразователя , нанесение, на контактную поверхность каждого из них связующего слоя индия , соединение контактных поверхностей и механическую обработку пьезопреобразователя , отличающийся тем, что, с целью повыщения качества соединения в случае использования в качестве акустооптического кристалла галогенидов таллия, на контактную поверхность преобразователя предварительно наносят адгезирующий слой кобальта . 2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что, с целью повыщения надежности изготавливаемых устройств, механическую обработку пьезопреобразователя производят до нанесения на его контактную поверхность адгезирующего и связующего слоев. S

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

„„SU„„1127723 A

3(50 В 23 20 00

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ "

К ABTOPGHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3589699/25-27 (22) 15.02,83 (46) 07.12.84. Бюл. № 45 (72) А. А. Симановский, С. В. Столярова и Г. П. Упит (71) Институт физики АН Латвийской ССР (53) 621.79! .66 (088.8) (56) 1: Авторское свидетельство СССР № 204043, кл. В 06 В 1/06, 1966.

2. Патент США № 3798746, кл. 228 — 116, 1974 (прототип). (54) (57) l. СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ

АКУСТООПТИЧЕСКИХ УСТРОЙСТВ, включающий подготовку . поверхностей акустооптического кристалла и пьезопреобразователя, нанесение,на контактную поверхность каждого из них связующего слоя индия, соединение контактных поверхностей и механическую обработку пьезопреобразователя, отличающийся тем, что, с целью повышения качества соединения в случае использования в качестве акустооптического кристалла галогенидов таллия, на контактную поверхность преобразователя предварительно наносят адгезирующий слой кобальта.

2, Способ по п. I, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности изготавливаемых устройств, механическую обработку пьезопреобразователя производят до нанесения на его контактную поверхность адгезирующего и связующего слоев.

1127723

ВНИИПИ Заказ 8811/10

Филиал ППП «Патент», г.

Изобретение относится к электронному приборостроению, в частности к соединению акустооптического элемента с пьезопреобразователем для изготовления акустооптических устройств, и может быть использовано при изготовлении оптических дефлекторов, ультразвуковых линий задержки и других устройств, включающих соединение твердых тел при помощи металлической прослойки.

Известен способ соединения твердых тел при помощи металлической прослойки.

В качестве металлической прослойки используется индий либо сплавы на основе индия (1).

Однако индий не всегда обеспечивает необходимую прочность сцепления с соединяемыми материалами.

Известен способ изготовления акустооптических устройств, включающий подготовку поверхностей акустооптического крис20 талла и пьезопреобразователя, нанесение на контактную поверхность каждого из них связующего слоя индия, соединение контактных поверхностей и механическую обработку пьезопреобразователя. Согласно известному способу на контактную поверхность 2s акустооптического кристалла (моли бдената свинца) в вакууме наносят адгезируюший слой молибдена, затем на обе контактные поверхности наносят проводящий слой золота и связующий слой индия, соединяют

30 контактные поверхности сваркой и производят шлифовку пьезопреобразователя до толщины 15 мкм (2).

Однако применение молибдена и золота в составе металлической прослойки не обеспечивает надежности адгезионных свойств и достаточной прочности соединения в случае, когда в качестве акустооптического кристалла используют галогенид, в частности галогенид таллия, обладающий уникальными оптическими свойствами.

Вследствие высокой диффузионной и ре- 40 акционной способности галогенидов таллия между их компонентами и молибденом и золотом возникают процессы взаимной диффузии, сопровождающиеся химическими реакциями, в результате чего прочность соединения падает и оно разрушается либо при окончательной механической обработке последнего, либо при его эксплуатации.

Указанные процессы, кроме того, приводят к возрастанию электрического сопротивления прослойки дь значений, превышаю- 50 ших сопротивление индия, вследствие чего применение драгоценного металла золота становится нецелесообразным.

Кроме того, окончательная механическая обработка пьезопреобразователя после

его соединения с акустооптическим кристаллом приводит в ряде случаев к разрушению соединения, препятствует достижению его точных размеров.

Целью изобретения является повышение качества соединения в случае использования в качестве акустооптического кристалла галогенидов таллия.

Поставленная цель достигается тем, что согласно способу изготовления акустооптических устройств, включающему подготовку поверхностей акустооптического кристалла и пьезопреобразователя, нанесение на контактную поверхность каждого из них связующего слоя индия, соединение контактных поверхностей и механическую обработку пьезопреобразователя, на контактную поверхность пьезопреобразователя предварительно наносят адгезируюший слой кобальта.

Кроме того, с целью повышения надежности изготавливаемых устройств, механическую обработку пьезопреобразователя производят до нанесения на его контактную поверхность адгезируюшего и связуюшего слоев.

Способ осуществляется следующим образом.

Проводят окончательную механическую обработку и подготовку поверхностей соединяемых кристаллов. Поверхность акустооптического кристалла промывают дистиллированной водой, этиловым спиртом и изопропиловым спиртом. Окончательно сошлифованный пьезопреобразователь промывают раствором питьевой соды или хромпиком, дистиллированной водой, этиловым спиртом, изопропиловым спиртом. Соединяемые кристаллы помещают на устройстве для соеди-6 нения в вакуумной камере. В вакууме 10 торр на соединяемую поверхность пьезопреобразователя наносят слой кобальта толшиной 500 Л, а затем слой индия толшиной !

000 Я, на соединяемую поверхность акустооптического кристалла наносят индий толшиной 8000 A. Не нарушая вакуум, соединяемые поверхности приводят в контакт и прикладывают нагрузку 0,4 кг/мм . Прочг ность адгезионного соединения при испытании на нормальный отрыв составляет

1,3 кг/ммг, Технико-экономическая эффективность складывается из экономии дорогостояших кристаллов (например, бромида — йодида таллия и ниобата лития) при уменьшении процента брака при производстве акустооптических устройств на 80 />, а также из экономии золота при замене системы Аи3г1 на Со - 3ю.

Тираж 1036 Подписное

Ужгород, ул. Проектная, 4