Способ контроля герметичности замкнутых корпусов изделий

 

Сото з Советских

Социалистических

Республик

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

1 ii 905684 (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 09.06.80 (21) 2939006/25-28 с присоединением заявки РЙ (23) Приоритет

Опубликовано 15.02.82. Бюллетень № 6

Дата опубликования описания 17.02.82 (51)М. Кл.

G 01 М 3/40

3Ъеудароткнный комитет

СССР

R0 делам нзооретеннй и открытий (53) УДК 621. 165, 029 (088 8) (72) Авторы изобретения

Э. Д. Молчанов, И. B. Куликов и B. M, Иванов

1 (71) Заявитель (54) СПОСОБ КОНТРОЛЯ ГЕРМЕТИЧНОСТИ ЗАМКНУТЫХ

КОРПУСОВ ИЗДЕЛИЙ контроля. герметичности замкнутых корпусов изделий, например микросхем, бло ков радиоэлектронной аппаратуры.

Известен способ контроля герметично5 сти замкнутых корпусов изделий, заключающийся в том, что испытуемое изделие помещают в вакуумную камеру, устанавливают над ним электроды, обезгажи10 вают их поверхность, заполняют изделие контрольным веществом, повышают напряжение между электродами до возникновения пробоя между ними (1).

Наиболее близким к изобретению явля15 ется способ контроля герметичности замкнутых корпусов изделий, который заключается в том, что заполняют корпус контрольным газом, определякзг электрическую прочность последнего с помощью двух обезгаженных электродов путем измерения предпробойного напряжения на них до и после заполнения корпуса контрольным газом и по разности измеренных

Изобретение относится к испытательной технике и может быть использовано для напряжений определяют величину негерметичности (2) .

Однако известные способы не позволяют производить контроль герметичности замкнутых корпусов иэделий в процессе их хранения и эксплуатации, так как в замкнутый корпус готового действующего изделия невозможно подать контрольный газ и практически невозможно создать вокруг него вакуум.

Белью изобретения является обесп-"учение контроля герметичности замкнутых корпусов изделий в процессе их хранения и эксплуатации.

Указанная цель достигается тем, что согласно способу контроля герметичности замкнутых корпусов изделий, включающему заполнение корпуса контрольным газом, определение электрической прочности последнего с помощью двух обезгаженных электродов путем измерения предпробойного напряжения на них до и после заполнения корпуса контрольным газом и ! определение величины негерметичности

3 905684 по разности измеренных напряжений, электроды устанавливают в корпус иэделия, а заполнение контрольным газом ведут до величины минимального предпробойно- д го напряжения, после чего корпус изде- р с лия. герметизируют. B

При заполнении корпуса контрольным газом давление внутри корпуса следует э уменьшать за предел минимума предпро- в бойного напряжения, поскольку уменьше- 10 л ние давления повышает величину предпробойного напряжения и тогда в случае

4 предпробойного напряжения записывают паспорт изделия.

Натекание воздуха атмосферы через ефекты и неплотности корпуса микрохемы приводит к повышению давления нутри корпуса и к повышению величины предпробойного напряжения. Измерение той величины напряжения с помощью нешнего измерительного устройства в юбой момент эксплуатации изделия поволяет определить степень негерметичности замкнутого корпуса иэделия. Повышение предп напряжения от«

15 носительно паспортной величины является критерием негерметичности корпуса.

Предложенный способ позволяет проверить на герметичность замкнутые корпуса изделий в процессе их производ.-рва и эксплуатации, а также после их много летнего хранения.

Способ позволяет осуществлять 100 /ный контроль герметичности сложных и дорогостоящих изделий электронной техни25 ки в процессе их эксплуатации. Это существенно повысит надежность радиоэлектронной аппаратуры, в которой используются эти изделия.

Способ контроля герметичности замкнутых корпусов изделий, заключающийся в том, что заполняют корпус контрольным газом, определяют электрическую прочность последнего с помощью двух обезгаженных электродов путем измерения предпробойного напряжения на них до и после заполнения корпуса контрольным газом и по разности измеренных напряжений находят величину негерметичности, о т— лич ающийся тем,что, сцелью обеспечения контроля герметичности в процессе хранения и эксплуатации изделия, электроды устанавливают в корпус изделия, а заполнение контрольным газом ведут до величины минимального предпробойного напряжения, после чего корпус изделия гер метизируют.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР . N 168925, кл. G 01 М 3/40, 1963.

2. Авторское свидетельство СССР

% 64757., кл. G 01 М 3/40, 1976 (прототип). течи в корпусе изделия измерение величины предпробойного напряжения носит характер неопределенности. Одному значению предпробойного напряжения мсгут соответствовать два значения давления газа внутри корпуса.

В качестве контрольного вещества может быть использован воздух или смесь л1е + 0,1 А .

На фиг. 1 схематично показан корпус металлокерамической микросхемы с технологическими элементами, необходимыми для реализации способа, вид спереди; на фиг. 2 — сечение А-А на фиг. 1.

Микросхема состойт из керамического основания 1, на котором закреплен полупроводниковый канал, 2, с припаянными к нему проводниками от выводов 3. Два электрода 4 образуют разрядник с расстоянием между электродами l мм. На штатном месте одного из выводов смонтирована металлическая капиллярная трубка 5. Микросхема герметизирована металлической крышкой 6.

Способ реализуется следующим образом.

В процессе сборки изделия, например микросхемы, между основанием 1 и крышкой 6 устанавливают электроды 4 и металлическую капиллярную трубку 5. После этого вакуумируют корпус микросхемы и заполняют контрольным газом до величины минимального предпробойного напряжения на электродах 4. Затем кбрпус микросхемы герметизируют путем обжатия и запаивания внешнего конца трубки 5. Таким образом, в корпусе микросхемы создают постоянное давление на уровне минимального предпробойного напряжения на электродах. При использовании в качестве контрольного газа сухого воздуха давление находитс?я на уровне 30 — 300 Па, что соответствует предпробойному напряжению на электродах около 300 B. Величину минимального

Формула изобретения

905684

Составитель А. Корзина

Редактор М. Биткина Техред О.Легеза К орректор Н. Швыдкая

Эвказ 352/58 Тираж 882 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий !

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП Патент", г. Ужгород,, ул. Проектная, 4