Способ юстировки электромагнитной зондоформирующей системы
СПОСОВ ЮСТИРОВКИ ЭЛЕКТРОМАГНИТНОЙ ЗОВДОФОРМИРУЮЩЕЙ СИСТЕМА, включающий перемещение юстируемых элементов до положений, при которых изображения в плоскости объектодержателя , полученные для прямой и обратной полярностей тока возбуждения системы, совмещены, отличающийся тем, что, с цельюповьшге ния точности юстировки при уменьшении времени ее проведения, перед получе .кием изображений между юстируемьвчи элементами и объектодержателем устанавливают вспомогательную электромагнитнзда линзу, а изменение полярности тока осутествляют только во вспомогательной линзе. ,0-t сл
СОЮЗ СОВЕТСНИХ
СООИ4ЛИСТИЧЕСНИХ
РЕСПУБЛИК (19) (11) 4(511Н 01 Л 37/26
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР пО делАм изОБРетений и ОтнРытий
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
К ABTOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ.(21) 3615078/24-21 (22) 01.07.83 (46) 23.05.85. Вюл. Р 19 (72) В.В,Панкратов, В.В.Рыбалко и А.Н.Тихонов (71) Московский институт электронного машиностроения (53) 621.325.833(088,8) (56) Патент ГЛР 11 114316, кл. Н Ol Ю 37/30 опублик. 1 975.
Патент ФРГ N- 1614188, кл. Н 01 J 37/26, опублик. 1972 (54)(57) СНОСОВ К1СТИРОВКИ ЭЛЕКТРО"
МАГНИТНОЙ ЗОНДОФОРМИРУЮЩЕИ СИСТЕИИ, включающий перемещение юстируемых элементов до положений, при которых изображения в плоскости объектодержателя, полученные для прямой и обратной полярностей тока возбуждения системы, совмещены, о т л и ч а юшийся тем, что, с целью повышения точности юстировки при уменьшении времени ее проведения, перед олуче.кием изображений между юстируемыми элементами и обьектодержателем уста" навливают вспомогательную электромагнитную линзу, а изменение полярности тока осуществляют только во вспомогательной линзе.
Составитель В. Гаврюшин
Редактор А.Шишкина Техред М.Надь Корректор И.Эрдейи
Заказ 3383/50 - Тираж 679 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений н открытий
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5 ьилиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4
1 11 5758
Изобретение относится к микрозондовой технике и может быть использовано при эксплуатации приборов в электронной и ионной микроскопии.
Целью изобретения является повышение точности юстировки при уменьшении времени ее проведения.
Сущность способа заключается в следующем.
Электронный зонд, генерированяый 10 источником электронов, фокусируют в плоскости объектодержателя неюстируемой вспомогательной электромагнитной линзой н формируют растр с помощью отклоняющей системы. На эк- 1 ране индихатора формируют изображение участка обьекта с характеристи ческим элементом топологии в центре растра.
После этого включают первый юсти- 2О руемый элемент, производят подфокусировку электронного зонда на объекте и изменяют полярность тока возбуждения обмоток вспомогательной линзы.
При этом на экране регистрируется Zg смещение изображения на величину а соответствующую величине разъюстировки осей вспомогательной линзы и юстируемого элемента. С помощью какого-либо устройства юстируемый элемент перемещают на величину, вызывающую соответствуюшее перемещение изображения на экране: а2 =-0,5> Эти операции повторяют до того момента, когда а. дМ, где йМ- погрешность
1 35 определения перемещения иэображения на экране при данном масштабе увеличения. После этого увеличивают силу тока возбуждения поля юстируемого элемента и масштаб увеличения изображения и повторяют все операции до того момента, когда а 1Ь.
Аналогичным образом осуществляют юстировку остальных элементов ЭЭС, Примером конкретной реализации способа является юстировка растрового микроскопа. В качестве неюстируемой вспомогательной линзы использована последняя по ходу пучка формирующая лияза. Юстировку койденсоров проводят; начиная от ближайшего к источни" ку электронов для значений тока возбуждения.
Е 0,1 Тмакс Т2 0,51макс Тз Тм«с где I «, — максимальное значение тока возбуждения конденсора. Соответственно выбирают масштабы увеличения
М, *50, М 250 и М 1250. Для каждого следующего конденсора масштабы увеличения увеличиваются в 5 раа.
Таким образом, проведение юстировки с введением вспомогательной линзы, фиксирующей минимальное расстояние от ее центра до плоскости объектодержателя, позволяет поддерживать его постоянньи4 независимо от того, какой элемент Э ЬС юстируется. Это и позволяет увеличить точность юстировкн sa счет соизмеримости смещений изображений (растра ) относительно базовой вспомогательной линзы. Кроме того, поскольку центр качания зонда находится выше главной плоскости вспомогательяой линзы, то уменьшается общая величияа смешения растра при разъюстировке, что снижает общее время юстировкн sa счет уменьшения времени на перенастройку возбуждения.
