Устройство для измерения малых зазоров между двумя поверхностями,одна из которых прозрачная

 

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ МАЛЫХ ЗАЗОРОВ МЕЖДУ ДВУМЯ ПОВЕРХНОСТЯМИ , ОДНА ИЗ КОТОРЫХ ПРОЗРАЧНАЯ, содержащее оптически связанные источник света, светоделитель, светофильтр и фотоприемник и регистратор , отличающееся, тем, что, с целью повьппения точности измерений, оно снабжено пьезовибратором , связанным с непрозрачной . поверхностыо, и блоком формирования сигналов, включенным между фотоприемником и регистратором и содержащим последовательно связанные управляемый усилитель и два канала информационный и эталонный. Q S

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИН уц4 С 01 В 21/16

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ,.

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

flO ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 3659882/24-28 (22) 05. 11. 83 (46) 30. 10.85. Бюл. № 40 (71) Институт повышения квалификации специалистов народного хозяйства ЛитССР (72) В.В. Печкис, Л-Л.Ю. Маченис и К.Б. Бручас (53) 531. 7 (088. 8) (56) Авторское свидетельство СССР

¹ 954812, кл. G 01 В 11/14 1981. (54) (57) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ

МАЛЫХ ЗАЗОРОВ МЕЩЦУ ДВУМЯ ПОВЕРХ„„SU„„1188539 A

НОСТЯМИ, ОДНА ИЗ КОТОРЫХ ПРОЗРАЧНАЯ, содержащее оптически связанные источник света, светоделитель, светофильтр и фотоприемник и регистратор, о т л и ч а ю щ е е с я . тем, что, с целью повышения точности измерений, оно снабжено пьезовибратором, связанным с непрозрачной поверхностью, и блоком формирования сигналов, включенным между фотоприемником и регистратором и содержащим последовательно связанные управляемый усилитель и два канала— информационный и эталонный. как об абсолютной величине зазора, так и об амплитуде эталонного калибровочного сигнала, получаемого с помощью пьезовибратора 7. Световой поток светоделителем 2 направляется через светофильтр 3, пропускающий лучи лишь определенной частоты, на вход фотоприемника 4, который колебания интенсивности интерференционной картины преобразует в колебания электрического сигнала.

Цалее электрический сигнал поступает на вход фильтра 9, который не пропускает сигнал с эталонной частотой, а пропускает все частоты полезного информационного сигнала на вход эталонного фильтра 10, на выходе которого появляется калибровочный сигнал с эталонной частотой, соответствующей частоте колебаний пьезовибратора 7. Сигнал, прошедший через фильтр 9,.несет информацию об абсолютной величине зазора и поступает на один вход управляемого усилителя 12. Сигнал, прошедший через фильтр 10, несет информацию об изменении величины амплитуды сигнала эталонных колебаний, который далее детектируется детектором 11 и поступает на другой вход усилителя 12. Управляемый усилитель 12 усиливает информационный сигнал, прошедший через фильтр 9, и одновременно производит его калибровку с помощью эталонного калибровочног0 сигнала, поступающего с выхода амплитудного детектора 11. Таким образом, при изменении коэффициента передачи всей системы автоматически поддерживается калибровка информационного сигнала. Например, если увеличивается коэффициент передачи системы вследствие, например, увеличения напряжения питания или режима работы фотоприемника 4, то в соответствующее число раз увеличивается амплитуда информационного сигнала, свидетельствующего о величине зазора, и амплитуда эталонного (калибровочного) сигнала, последнее на столько же раз уменьшает коэффициент усиления в усилителе 12.

Откалиброванный сигнал поступает на регистратор 13, по осциллограмме которого определяют измеряемый зазор.

650 Подписпое

1 1188539

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано для измерения малых зазоров между двумя поверхностями, в частности для измерения S динамического неконтакта между маг" нитной головкой и поверхностью диска в устройствах магнитной записи и дисковых накопителях 3ВМ.

Цель изобретения — повышение 10 точности измерений.

На чертеже изображена блок-схема устройства для измерения малых зазоров между двумя поверхностями, одна из которых прозрач- 15 ная.

Устройство содержит оптически связанные источник 1 света, светоделитель 2, светофильтр 3 и фотоприемник 4, светоделитель устанавливается перед исследуемым зазором, образованным прозрачной поверхностью 5, обращенной в сторону падения светового потока, и непрозрачной поверхностью 6, жестко

25 связываемой с пьезовибратором 7, подключенным к источнику 8 питания, блок формирования сигналов, содержащий последовательно связанные измерительный канал в виде фильтра 9 информационной частоты, эталонный канал в виде фильтра 10 эталонной частоты и детектора 11 и управляемый усилитель 12, подключенный входами к выходам каналов, выход управ35 ляемого усилителя 12 связан с регистратором 13, а вход каналов свя зан с выходом фотоприемника 4.

Устройство работает следующим образом.

Излучаемый источником 1 света световой поток проходит через светоделитель 2 и направляется на зазор, образуемый поверхностями 5 и 6. Непрозрачная поверхность

6 соединена с пьезовибратором 7, подключенным к источнику 8 питания, который сообщает эталонные периодические механические колебания поверхности 6, тем самым периодически (частота колебаний 20 + 30 КГц) меняя величину зазора. Отраженный от поверхностей 5 и 6 световой поток после интерференции между плоскостями 5 и 6 несет информацию у5

ВНИИПИ Заказ 6733/41 Тираж

Филиал ППП "Патент", г.Ужгород, ул.Проектная, 4