Адсорбционный вакуумный насос

 

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (51) O F 04 В 37 02

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИР ":

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ юо

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3711864/25-06 (22) 14.03.84 (46) 15.01.86. Бюл. № 2 (72) С. Л. Кудрявцев, Ю. А. Гоголин, А. И. Духов и Ю. П. Котик (53) 621.528.3 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР № 1084485, кл. F 04 В 37/02, 1980. (54) (57) АДСОРБЦИОННЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС, содержащий корпус с крышкой, коаксиально расположенные в нем сосуд с хладагентом, снабженный П-образными продольными выступами и размещенным на его наружной поверхности слоем адсорбента, и адсорбционную кассету, жестко закрепленную верхним торцом на внутренней поверхности крышки, а также

„„SU„„1204786 A расположенные между выступами сосуда каналы для подачи регенерирующей среды в слой адсорбента, отличающийся тем, что, с целью упрощения технологии изготовления и повышения быстроты откачки, насос дополнительно содержит установленную на крышке герметичную емкость с трубками для засыпки адсорбента и залива хладагента, подключенными соответственно к слою адсорбента и сосуду, причем трубки для засыпки адсорбента снабжены отверстиями и перекрывающими их фильтрующими элемента ми, нижним торец адсорбционной кассеты расположен с зазором относительно корпуса, сосуд выполнен в виде гофрированной обечайки, а каналы размещены в слое адсорбента.

1204786

Фиг Р

Составитсгн О. Тишина

Техред И. Берес Корректор В. Синицкая

Тираж 585 Под иси()e

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытии! 13035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал Г!ПП «Патент», г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Редактор В. Ковтун

Заказ 8504!33

Изобретение относится к вакуумной технике.

Цель изобретения — упрощение технологии изготовления и повышение быстроты откачки.

На фиг. 1 изображен предлагаемый насос, продольный разрез; на фиг. 2 то же, разрез; на фиг. 3 — узел 1 на фиг. 1.

Адсорбционный вакуумный насос содержит корпус 1 с крышкой 2, коаксиально расположенные в нем сосуд 3 с хладагентом, снабженный П-образными продольными выступами 4 и размещенным на его наружной поверхности слоем 5 адсорбента, и адсорбционную кассету 6, жестко закрепленную верхним торцом на внутренней поверхности крышки 2, а также расположенные между выступами 4 сосуда 3 каналы 7 для подачи регенерирующей среды в слой 5 адсорбента. Насос дополнительно содержит установленную на крышке 2 герметичную емкость 8 с грубками 9 и 10 для засыпки адсорбента и залива хладагента, подключенными соответственно к слою 5 адсорбента и сосуду 3, причем трубки 9 для засыпки адсорбента снабжены отверстиями 11 и перекрывающими их фильтрующими элементами, нижний торец адсорбционной кассеты 6 расположен с зазором о относительно корпуса 1, сосуд 3 выполнен в виде гофрированной обечайки, а каналы 7 размещены в слое 5 адсорбент и

Насос работает следующим образом.

Газ из откачиваемого объема поступает во внутренний объем корпуса 1, где происходит поглощение его адсорбентом.

При этом легкосорбируемые вещества откачиваемого газа поглощаются адсорбционной кассетой 6, а трудносорбируемые — слоем 5 адсорбента, размещенным на поверхности сосуда 3, заполненного хладагентом. Выступы 4 обеспечивают эффективное охлаждение адсорбента вследствие развитой поверхности теплообмена между сосудом 3 и слоем 5 адсорбента. Прй этом в емкости 8, сообщенной отверстием 11 с внутренней полостью корпуса 1, создается вакуум и емкость 8 выполняет функцию теплоизоляции.

Таким образом, потери хладагента на охлаждение минимальные. После насыщения адсорбента насос отсекается от откачиваемого объема и проводится процесс регенерации путем подачи регенерируемой среды, например кислородсодержащего газа или жидкости, в каналы 7. Затем производится сушка адсорбента подачей нагретого газа.

Адсорбционный вакуумный насос Адсорбционный вакуумный насос 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к вакуумной и криогенной технике и может быть использовано как в вакуумных насосах для получения глубокого вакуума, так и в рефрижераторах криосорбционной откачки рабочего тела, в частности для откачки 3He в рефрижераторах растворения

Изобретение относится к системам ультравысокого вакуума для обработки полупроводникового изделия, к геттерным насосам, используемым в них, и к способу обработки полупроводникового изделия
Изобретение относится к способам вакуумирования гермообъемов и преимущественно может быть использовано в холодильной, морозильной технике и устройствах кондиционирования и осушения воздуха с использованием термоэлектрических модулей на эффекте Пельтье, а также в измерительной технике, радиоэлектронной аппаратуре электровакуумных приборах и т.д
Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к сорбционным (геттерным) насосам, и может быть использовано в вакуумных системах водородных стандартов частоты

Изобретение относится к криогенной технике, а именно к адсорбционным насосам, предназначенным для поддержания вакуума путем поглощения молекул газа из замкнутых объемов

Изобретение относится к насосам, работа которых основана на хемосорбции и предназначенным для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов

Изобретение относится к области криогенной техники, а именно к устройствам адсорбционных насосов, предназначенным для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов из замкнутых объемов

Изобретение относится к области криогенной техники, а именно к устройствам адсорбционных насосов, предназначенных для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов из замкнутых объемов

Изобретение относится к области криогенной техники, а именно к устройствам адсорбционных насосов, предназначенных для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов из замкнутых объемов
Наверх