Устройство для контроля шероховатости поверхности

 

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (19) (И) (sg 4 О 01 В 7/34! ц ц

Jc.) т

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н ABTOPCHOIVIY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3728520/25-28 (22) 19.04.84 (46) 23.01.86.июл. К 3 (71) Одесский ордена Трудового Красного Знамени государственный университет им. И.И.Мечникова (72) А.Л.Шенкевич, О.П.Канчуковский, П.П.Фастыковский и С.И.Медведева (53) 621.317.39:531.71(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

11 75389, кл. G 01 В 7/34, )947. (54)(57)УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ШЕРОХОВАТОСТИ ПОВЕРХНОСТИ, содержащее чувствительный элемент, подключенные к нему блок питания и регистрирующий прибор и средства приложения давления к чувствительному элементу для прижатия его к контролируемой поверхности в процессе измерения, о.т л ич а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения разрешающей способности и точности измерения и обеспечения контроля также и диэлектрических поверхностей, чувствительный элемент выполнен в виде мезаструктуры с барьером

Шоттки.

1206608 .

Составитель С.Скрыпник

Редактор К.Николайчук Техред О.Ващишина Корректор М.Пожо

Заказ 8696/4„1, Тираж 671 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", r ° Ужгород, ул.Проектная, 4

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля шероховатости поверхностей в большом диапазоне классов шероховатостей.

Целью изобретенИя является повышение разрешающей способности и точности измерения и обеспечение контроля также и диэлектрических .поверхностей, На чертеже схематически представлено устройство для контроля шероховатости поверхности.

Устройство содержит чувствительный элемент, выполненный в виде мезаструктуры 1 с барьером Шоттки, имеющей металлические электроды выпрямляющего 2 и омического 3 контактов.

К этим контактам подключены блок 4 питания - источник напряжения смещения диодной мезаструктуры и регистрирующий прибор — измеритель 5 тока.

Для контроля шероховатости мезаструктура должна быть прижата выпрямляющим контактом 2 к контролируемой поверхности 6. Для обеспечения более плотного их прилегания производят небольшое поджатие мезаструктуры к этой поверхности в процессе измерения, для чего предусмотрены соответствующие средства приложения давления Р не показаны) со стороны омического контакта 3.

Устройство работает следующим образом.

Более шероховатая контролируемая поверхность по сравнению с менее me5 роховатой определяется, как известно, большими средними высотами выступов профиля шероховатости. Увеличиваются при этом и средние расстояния между выступами, что приводит к

1Р уменьшению их плотности (среднего числа выступов на единицу площади поверхности) . Давление,.производимое каждым выступом на электрод выпрямляющего контакта 2 (аналогичное давлению иглы), при этом возрастает при одном и том же давлении Р, что приводит к увеличению тока, регистрируемого прибором 5. Таким образом, с уменьшением высоты выступов (уве"

2О личением класса шероховатости) ток уменьшается.

Форма меэаструктуры 1 предотвращает возможность контактирования полупроводникового тела с контролируемой поверхностью за пределами выпрямляющего контакта 2, что может привести к понижению точности измерения. При достаточно глубокой "мезе" можно контролировать поверх3О ности в достаточно широком диапазоне классов шероховатости от 6 до 13.

Преимуществами данного устройства являются также отсутствие движущихся частей, малые габариты и вес, простота конструкции.